【技术实现步骤摘要】
一种金合金键合丝及其制备方法
[0001]本专利技术涉及键合金丝领域,具体涉及一种金合金键合丝及其制备方法。
技术介绍
[0002]键合丝是半导体器件和集成电路组装时,为使芯片内电路的输入/输出键合点与引线框架的内接触点之间实现电气链接的微细金属丝内引线。键合金丝的使用需要具有良好的韧性和抗断裂强度;当金合金键合丝中的金含量下降后,金丝整体的性能也会随着下降,为了可以达到降低金含量的同时,键合丝的性能不会降低较多或者不变或者有所提高,本专利技术提出了一种金合金键合丝及其制备方法。
技术实现思路
[0003]针对上述存在的问题,本专利技术提出了一种金合金键合丝及其制备方法。
[0004]为了实现上述的目的,本专利技术采用以下的技术方案:
[0005]一种金合金键合丝,所述金丝按质量含量包括以下化学组成成分:
[0006]银:7.5
‑
9%;
[0007]钯:3
‑
4.5%;
[0008]铜:0.0028
‑
0.0032%;
[0009]镍:0.0018
‑
0.0022%;
[0010]钴:0.0018
‑
0.0022%;
[0011]硅:0.0001%
‑
0.005%;
[0012]铟:0.0001%
‑
0.005%;
[0013]钙:0.0001%
‑
0.005%;
[00 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种金合金键合丝,其特征在于,所述金丝按质量含量包括以下化学组成成分:银:7.5%
‑
9%;钯:3%
‑
4.5%;铜:0.0028%
‑
0.0032%;镍:0.0018%
‑
0.0022%;钴:0.0018%
‑
0.0022%;硅:0.0001%
‑
0.005%;铟:0.0001%
‑
0.005%;钙:0.0001%
‑
0.005%;镧:0.0001%
‑
0.005%;铈:0.0001%
‑
0.005%;余量为金和不可比避免的杂质元素。2.根据权利要求1所述的金合金键合丝,其特征在于:所述金丝按质量含量包括以下化学组成成分:银:7.9%
‑
8.5%;钯:3.4%
‑
4.1%;铜:0.0028%
‑
0.0032%;镍:0.0018%
‑
0.0022%;钴:0.0018%
‑
0.0022%;硅:0.0001%
‑
0.005%;铟:0.0001%
‑
0.005%;钙:0.0001%
‑
0.005%;镧:0.0001%
‑
0.005%;铈:0.0001%
‑
0.005%;余量为金和不可比避免的杂质元素。3.根据权利要求1所述的金合金键合丝,其特征在于,所述金丝按质量含量包括以下化学组成成分:银:8.2%;钯:3.8%;铜:0.003%;镍:0.002%;钴:0.002%;硅:0.005%;铟:0.005%;钙:0.005%;镧:0.005%;铈:0.005%;余量为金和不可比避免的杂质元素。4.根据权利要求1所述的金合金键合丝的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以
下步骤:(1)熔炼、拉铸:在惰性保护气体的保护下,将金、银、钯、铜、镍、钴、硅、铟、钙、镧、铈的金属原料放入11...
【专利技术属性】
技术研发人员:周钢,范传勇,张知行,郑华贵,
申请(专利权)人:上杭县紫金佳博电子新材料科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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