扫片装置和晶圆传输设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例公开了一种扫片装置和晶圆传输设备，其中，所述扫片装置例如包括：移动组件；安装支架，安装在所述移动组件上；对射传感器和反射传感器，所述对射传感器和所述反射传感器可选择性的安装在所述安装支架上；其中，所述安装支架可随所述移动组件的移动而移动。本实用新型专利技术实施例通过设置安装支架，使得扫片装置能够同时兼容对射传感器和反射传感器，可依照实际应用场景的需求选择合适的传感器，满足用户的不同需求。满足用户的不同需求。满足用户的不同需求。

【技术实现步骤摘要】
扫片装置和晶圆传输设备


[0001]本技术涉及晶圆扫片装置领域，尤其涉及一种扫片装置和一种晶圆传输设备。

技术介绍

[0002]在晶圆检测设备检测晶圆的过程中，在对晶圆进行取片之前，首先需要确认片盒内每一层是否有晶圆存在，这个过程就是扫片。扫片一般需要通过传感器根据传感器反射的光以及接收到光的距离来判断片盒内是否存在有晶圆。
[0003]但是，目前的扫片功能在检测环境下有局限性：容易受环境干扰、检测距离受限以及难以适应多尺寸晶圆兼容等缺点。因此，亟需提供一种扫片装置以满足多种情况下对晶圆的检测方式。

技术实现思路

[0004]因此，为了克服现有技术中的部分缺陷，本技术实施例提供了一种扫片装置和一种晶圆传输设备。
[0005]一方面，本技术实施例提供了一种扫片装置，包括：移动组件；安装支架，安装在所述移动组件上；对射传感器和反射传感器，所述对射传感器和所述反射传感器可选择性的安装在所述安装支架上；其中，所述安装支架可随所述移动组件的移动而移动。
[0006]在本技术的一个实施例中，所述安装支架包括连接部，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫片装置(1)，其特征在于，包括：移动组件(11)；安装支架(12)，安装在所述移动组件(11)上；对射传感器(13)和反射传感器(14)，所述对射传感器(13)和所述反射传感器(14)可选择性的安装在所述安装支架(12)上；其中，所述安装支架(12)可随所述移动组件(11)的移动而移动。2.根据权利要求1所述的扫片装置(1)，其特征在于，所述安装支架(12)包括：连接部(122)，所述连接部(122)安装在所述移动组件(11)上；第一安装部(121)，与所述连接部(122)远离所述移动组件(11)的一侧连接；所述反射传感器(14)与所述第一安装部(121)可拆卸连接；第二安装部(123)，位于所述第一安装部(121)的远离所述连接部(122)的第一方向(101)上；所述对射传感器(13)与所述第二安装部(123)可拆卸连接。3.根据权利要求2所述的扫片装置(1)，其特征在于，所述反射传感器(14)可拆卸连接在所述第一安装部(121)，所述反射传感器(14)位于第二方向(102)上，且设置在所述第一安装部(121)远离连接部(122)的一侧上；所述对射传感器(13)位于所述第一方向(101)上、且设置在第二安装部(123)远离所述第一安装部(121)的一侧上。4.根据权利要求2所述的扫片装置(1)，其特征在于，所述第二安装部(123)包括位于所述第一安装部(121)相对的两端且朝所述第一安装部(121)远离所述连接部(122)一侧凸出的两个凸出部(1231)；所述对射传感器(13)包括发射部(131)和接收部(132)，所述发射部(131)可拆卸连接在所述两个凸出部(1231)...

【专利技术属性】
技术研发人员：王乐，张龙，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：