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本实用新型实施例公开了一种扫片装置和晶圆传输设备，其中，所述扫片装置例如包括：移动组件；安装支架，安装在所述移动组件上；对射传感器和反射传感器，所述对射传感器和所述反射传感器可选择性的安装在所述安装支架上；其中，所述安装支架可随所述移动组件...
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