一种用于扫描电镜样品台的限位锁定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于扫描电镜样品台的限位锁定装置，涉及扫描电镜样品台技术领域，包括样品台基座，所述样品台基座包括有扫描电镜样品台，所述扫描电镜样品台的两侧外壁设置有滑杆，所述滑杆的外壁滑动连接有活动板固定块，所述活动板固定块的前侧外壁固定安装有活动板，所述扫描电镜样品台的底部外壁固定安装有样品台底杆，所述样品台底杆的外壁固定安装有底杆螺纹。本实用新型专利技术通过安装扫描电镜样品台时先将样品台底杆放入样品台基座内腔，再通过捏住两侧活动板并旋转，利用底杆螺纹与基座内螺纹的螺纹连接对扫描电镜样品台进行限位锁定，达到了利用活动板方便对扫描电镜样品台进行拆卸的效果。品台进行拆卸的效果。品台进行拆卸的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于扫描电镜样品台的限位锁定装置


[0001]本技术涉及扫描电镜样品台
，具体涉及一种用于扫描电镜样品台的限位锁定装置。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜(SEM)，简称为扫描电镜，其是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察用电子设备，其利用聚焦得很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。扫描电镜检测，简称SEM检测，是利用扫描电镜进行检测的一种测试方法，其具有两个基本功能：一是可以将样品表面放大25倍至100万倍；二是可以对样品表面的微区域中的元素进行定性和定量分析。如果将样品放入扫描电镜设备中，则需要一个符合设备的标准尺寸的固定装置。目前市场上的固定装置不适合观察硅晶片的横截面，因此需要一种设计成能将被测样品安装在更稳定、更大面积上的固定装置，例如样品台。针对现有技术存在以下问题：
[0003]根据公开专利号CN217359684U所述：本技术提供一种扫描电镜样品台(1)，其包括基座(2)和可拆卸地固定连接到所述基座的样品台本体(3)，所述样品台本体(3)具有用于粘贴样品(S)的贴样部(4)和用于将该样品台本体(3)连接到该基座(2)的圆柱形连接部(5)，其中所述贴样部(4)由垂直于所述圆柱形连接部的上端面向上延伸直多棱柱构成，以提供至少三个竖直的平面贴样区(40)，所述直多棱柱与所述圆柱形连接部一体形成。这种扫描电镜样品台可将样品侧向垂直粘贴，观察量更多，粘贴面积更大，效果更稳定，速度更快，可节省大量时间，提高观察效果。
[0004]在公开专利中的样品台采用螺纹旋转上紧的方式进行限位锁定，虽然能有效地对样品台进行固定，但由于样品台与基座之间保持水平位置，导致出现很难将样品台进行旋转拆卸的问题。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种用于扫描电镜样品台的限位锁定装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：
[0007]一种用于扫描电镜样品台的限位锁定装置，包括样品台基座，所述样品台基座包括有扫描电镜样品台，所述扫描电镜样品台的两侧外壁设置有滑杆，所述滑杆的外壁滑动连接有活动板固定块，所述活动板固定块的前侧外壁固定安装有活动板，所述扫描电镜样品台的底部外壁固定安装有样品台底杆，所述样品台底杆的外壁固定安装有底杆螺纹，所述样品台基座的内壁固定安装有基座内螺纹，所述基座内螺纹的外壁与底杆螺纹的外壁螺纹连接。
[0008]采用上述技术方案，通过该方案中的卡槽、活动板、样品台底杆、底杆螺纹、基座内
螺纹之间的相互配合，使扫描电镜样品台方便手动旋转安装和拆卸。
[0009]本技术技术方案的进一步改进在于：所述样品台基座的顶部两侧外壁开设有卡槽。
[0010]本技术技术方案的进一步改进在于：所述卡槽的内壁与活动板的外壁卡接。
[0011]采用上述技术方案，通过该方案中的活动板、卡槽之间的相互配合，使活动板在扫描电镜样品台旋转安装完成后可方便卡入卡槽固定，防止松动，以及不妨碍扫描电镜样品台的使用。
[0012]本技术技术方案的进一步改进在于：所述样品台基座的顶部内壁固定安装有弹扣。
[0013]本技术技术方案的进一步改进在于：所述弹扣的顶部外壁固定安装有压板。
[0014]本技术技术方案的进一步改进在于：所述压板的外壁与活动板的外壁搭接。
[0015]采用上述技术方案，通过该方案中的弹扣、压板之间的相互配合，使活动板卡入卡槽后更加稳定。
[0016]由于采用了上述技术方案，本技术相对现有技术来说，取得的技术进步是：
[0017]1、本技术提供一种用于扫描电镜样品台的限位锁定装置，采用扫描电镜样品台、样品台底杆、底杆螺纹、基座内螺纹、活动板的配合，安装扫描电镜样品台时先将样品台底杆放入样品台基座内腔，再通过捏住两侧活动板并旋转，利用底杆螺纹与基座内螺纹的螺纹连接对扫描电镜样品台进行限位锁定，解决了在公开专利中的样品台采用螺纹旋转上紧的方式进行限位锁定，虽然能有效地对样品台进行固定，但由于样品台与基座之间保持水平位置，导致出现很难将样品台进行旋转拆卸的问题，达到了利用活动板方便对扫描电镜样品台进行拆卸的效果。
[0018]2、本技术提供一种用于扫描电镜样品台的限位锁定装置，采用活动板、卡槽、活动板固定块、滑杆、弹扣、压板的配合，在扫描电镜样品台旋转完成后，将活动板利用活动板固定块在滑杆上的滑动向下按压，使活动板卡入卡槽内，并通过挤压压板，使压板通过弹扣对活动板进行挤压固定，使活动板稳定卡在卡槽内，达到了防止误触到活动板造成扫描电镜样品台发生旋转松动，提高扫描电镜样品台稳定性的效果。
附图说明
[0019]图1为本技术结构的整体示意图；
[0020]图2为本技术结构的样品台基座剖面示意图；
[0021]图3为A处地放大示意图；
[0022]图4为本技术结构的样品台基座俯视剖面示意图。
[0023]图中：1、样品台基座；11、基座内螺纹；12、卡槽；13、弹扣；131、压板；2、扫描电镜样品台；21、样品台底杆；211、底杆螺纹；22、活动板；221、活动板固定块；23、滑杆。
具体实施方式
[0024]下面结合实施例对本技术做进一步详细说明：
[0025]实施例1
[0026]如图1
‑
4所示，本技术提供了一种用于扫描电镜样品台的限位锁定装置，包括
样品台基座1，样品台基座1包括有扫描电镜样品台2，扫描电镜样品台2的两侧外壁设置有滑杆23，滑杆23的外壁滑动连接有活动板固定块221，活动板固定块221的前侧外壁固定安装有活动板22，扫描电镜样品台2的底部外壁固定安装有样品台底杆21，样品台底杆21的外壁固定安装有底杆螺纹211，样品台基座1的内壁固定安装有基座内螺纹11，基座内螺纹11的外壁与底杆螺纹211的外壁螺纹连接。
[0027]在本实施例中，安装扫描电镜样品台2时先将样品台底杆21放入样品台基座1内腔，再通过捏住两侧活动板22并旋转，利用底杆螺纹211与基座内螺纹11的螺纹连接对扫描电镜样品台2进行限位锁定。
[0028]实施例2
[0029]如图1
‑
4所示，在实施例1的基础上，本技术提供一种技术方案：优选的，样品台基座1的顶部两侧外壁开设有卡槽12，卡槽12的内壁与活动板22的外壁卡接。
[0030]在本实施例中，在扫描电镜样品台2旋转完成后，将活动板22利用活动板固定块221在滑杆23上的滑动向下按压，使活动板22卡入卡槽12内，活动板22的长度比卡槽12长度要长，拆卸时通过向上提拉活动板22，并捏住两侧活动板22对扫描电镜样品台2进行反方向旋转，即可使扫描电镜样品台2脱离样品台基座1，完成拆卸。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于扫描电镜样品台的限位锁定装置，包括样品台基座(1)，其特征在于：所述样品台基座(1)包括有扫描电镜样品台(2)，所述扫描电镜样品台(2)的两侧外壁设置有滑杆(23)，所述滑杆(23)的外壁滑动连接有活动板固定块(221)，所述活动板固定块(221)的前侧外壁固定安装有活动板(22)，所述扫描电镜样品台(2)的底部外壁固定安装有样品台底杆(21)，所述样品台底杆(21)的外壁固定安装有底杆螺纹(211)，所述样品台基座(1)的内壁固定安装有基座内螺纹(11)，所述基座内螺纹(11)的外壁与底杆螺纹(211)的外壁螺纹连接。2.根据权利要求1所述的一种用于扫描电镜样品台的限位锁...

【专利技术属性】
技术研发人员：觉罗云泽，徐中义，赵秀琴，徐夜雨，
申请(专利权)人：克拉玛依禾鑫石油科技有限公司，
类型：新型
国别省市：