一种高分辨率扫描电镜固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及扫描电镜技术领域，尤其涉及一种高分辨率扫描电镜固定装置，本实用新型专利技术的创新点是：更加样品外形自动固定，避免样品在扫描时移动，提高扫描范围，实用新型专利技术通过主箱体上端面设有开口向上的移动槽，可以使支撑块进行移动，进而可以使样品在扫描时移动，进而提高可扫描样品的范围，同时提高扫描效率，本实用新型专利技术在支撑块上端面均匀分布有开口向上且贯穿滑槽的平移腔，可以根据样品的外形自动改变支撑杆的位置，进而使得样品固定得更加牢固，同时通过透明压板完全固定样品，避免样品滑动，进而提高扫描精度。进而提高扫描精度。进而提高扫描精度。

【技术实现步骤摘要】
一种高分辨率扫描电镜固定装置


[0001]本技术涉及扫描电镜
，具体为一种高分辨率扫描电镜固定装置。

技术介绍

[0002]扫描电镜全称扫描电子显微镜，扫描电子显微镜技术的出现，使人类对物质表面微观世界的观察能力发生了质的飞跃，近年来，这一技术已经应用于各种学科领域，如冶金、材料、医学、地质学、生物学、机械加工、半导体制造及陶瓷品的检验等领域。
[0003]公开号为CN207163940U的专利公开了一种固定效果好的扫描电镜，包括工作台，所述工作台的底部固定连接有底箱，所述底箱底部的两侧均固定连接有滚轮，所述工作台的顶部固定连接有图像采集基台。该技术通过按压连接板使伸缩柱和复位弹簧伸缩，使样品放置台底部的减震弹簧下压，通过插杆一端的卡块与样品放置台两侧的卡槽卡合，并通过夹持装置固定插杆，使样品放置台更加稳定，保证其样品不会位移，达到固定效果好的目的，但是该技术不能完全固定样品，对于一些异型的样品还是会产生位移，同时通过弹簧减震只能用于较轻的样品，对于较重的样品还是会产生位移。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高分辨率扫描电镜固定装置，包括主箱体(11)，其特征在于：所述主箱体(11)右侧上端面固定设有支撑柱(13)，所述支撑柱(13)左端面固定设有支撑横梁(14)，所述支撑横梁(14)左端面固定设有扫描相机(15)；在所述主箱体(11)上端面上设有可移动的支撑块(20)，所述支撑块(20)上端面内设有滑移腔(31)，所述滑移腔(31)后壁固定设有滑移磁铁(28)，所述支撑块(20)左右两端面均匀分布有四个下压块(22)，所述下压块(22)上端面固定设有下压磁铁(36)。2.根据权利要求1所述的一种高分辨率扫描电镜固定装置，其特征在于：所述主箱体(11)上端面设有开口向上的移动槽(23)，所述移动槽(23)下壁设有移动腔(25)。3.根据权利要求2所述的一种高分辨率扫描电镜固定装置，其特征在于：所述移动腔(25)内设有可移动的移动板(26)，所述移动板(26)上端面与所述支撑块(20)下端面之间连接设有联动块(34)，所述移动板(26)前后贯穿设有螺纹孔(35)。4.根据权利要求3所述的一种高分辨率扫描电镜固定装置，其特征在于：所述主箱体(11)前端面固定设有旋转电机(12)，所述移动腔(25)前后两壁之间穿过所述螺纹孔(35)转动设有旋转杆(24)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄德坤，
申请(专利权)人：南京利源芯科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：