一种回转密封结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种回转密封结构，属于电镜样品台技术领域，回转密封结构包括回转密封板，适于转动安装在电镜腔室的门板上，所述回转密封板与电镜腔室内的样品台连接；密封圈，设置在所述回转密封板与门板密封孔之间；门板，适于安装回转密封板与密封圈形成密封，所述门板上开设有适于安装回转密封板的密封孔。本实用新型专利技术提供的回转密封结构，在回转密封板与电镜腔室的门板之间设置密封圈，回转密封板与门板之间形成动密封，在回转密封板进行转动时，可以带动样品台进行转动，并且回转密封板与门板之间为动密封，可以保证回转密封板与门板之间的密封性。与门板之间的密封性。与门板之间的密封性。

【技术实现步骤摘要】
一种回转密封结构


[0001]本技术涉及电镜样品台
，具体涉及一种回转密封结构。

技术介绍

[0002]扫描电镜是一种电子光学仪器，利用聚焦电子束在样品表面进行逐行扫描，电子束轰击样品表面产生二次电子或背散射电子，其产生的效率与样品表面形貌或材料相关，将样品表面产生的二次电子或背散射电子收集起来，并将样品表面电子束扫描的位置和产生的二次电子或背散射电子的数量用二维图像的形式表示，即得到扫描电镜的二次电子图像或背散射电子图像。
[0003]扫描电镜主要是在样品室真空状态对样品进行观察，被观察的样品需要通过样品台运动调整其位置以保证其可在合适的位置并保证真空不被破坏的情况下进行观察与检测，其运动通常是倾斜回转调整，故急需一种既能起到密封作用又可以带动样品台运动的装置。

技术实现思路

[0004]因此，本技术提供一种回转密封结构。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供了一种回转密封结构，包括：
[0006]回转密封板，适于转动安装在电镜腔室的门板上，所述回转密封板与电镜腔室内的样品台连接；
[0007]密封圈，设置在所述回转密封板与门板的密封孔之间；
[0008]门板，适于安装回转密封板与密封圈形成密封，所述门板上开设有适于安装回转密封板的密封孔。
[0009]可选的，所述回转密封板伸入至门板的端部开设有倒角，所述倒角形成避让部。
[0010]可选的，所述回转密封板远离避让部的一端开设有适于容纳轴承的第一环形槽；所述门板倒角端也开设有适于容纳轴承的容纳槽。
[0011]可选的，还包括有挡板，适于与回转密封板连接，所述挡板的端面上开设有第二环形槽，所述第一环形槽和第二环形槽共同形成适于容纳轴承内圈的第一环形凹槽；
[0012]还包括有压板，适于与门板连接，所述压板与门板的容纳槽共同形成适于容纳轴承外圈的第二环形凹槽。
[0013]还提供了设计方法，包括上述的回转密封结构，还包括以下步骤：
[0014]设计运动副间隙量δ和倒角，并设计密封圈挡间厚度DH，界定适宜的倒角参数α工程范围：
[0015]根据不同回转直径选择合适的密封圈直径d，确定密封圈槽宽CW，并根据运动密封要求，设计选定合理的密封压缩量p；
[0016]确定密封圈挡肩厚度DH、轴承挡肩空位ZJ、导台厚DT、密封圈槽宽CW、轴承槽厚BH；
[0017]根据密封圈挡肩厚度DH、密封圈直径d和倒角α确定安全密封槽位DL；
[0018]根据上述参数设计回转密封板及门板的相应结构的尺寸。
[0019]可选的，倒角α的取值范围为：
[0020]αDH≤α≤90
°
－2＊arctan(1－2＊(δ+p)/d)。
[0021]可选的，安全密封槽位DL的取值为：
[0022]DL≥DH+d＊(1－tg(α/2))/2。
[0023]可选的，门板厚WH的取值为：
[0024]WH≥BH+ZJ+DL+CW。
[0025]可选的，回转密封板厚度NH的取值为：
[0026]NH＝DT+DH+CW+DL+ZJ+BH。
[0027]可选的，轴承槽厚BH取值为：
[0028]BH≥DH+CW+DL+ZJ。
[0029]本技术技术方案，具有如下优点：
[0030]1.本技术提供的回转密封结构，在回转密封板与电镜腔室的门板之间设置密封圈，回转密封板与门板之间形成动密封，在回转密封板进行转动时，可以带动样品台进行转动，并且回转密封板与门板之间为动密封，可以保证回转密封板与门板之间的密封性。
[0031]2.本技术提供的回转密封结构，在回转密封板伸入至门板的端部开设有倒角，倒角形成避让部，倒角可以让回转密封板的端部更容易进入至门板的密封孔内，避免回转密封板与密封孔内的密封面产生摩擦，保证密封圈与密封面之间的密封性。
[0032]3.本技术提供的回转密封结构，安全密封槽位可以使装配后的密封圈处于安全密封面范围，进一步保证密封圈的良好密封性。
[0033]4.本技术提供的回转密封结构，在回转密封板外侧设有挡板，挡板与回转密封板通过螺栓进行连接，在挡板和回转密封板的连接位置处，开设有可以容纳轴承的环形凹槽，轴承内圈安装在第一环形凹槽内，轴承外圈安装在门板的第二环形凹槽内。
[0034]5.本技术提供的设计方法，设计运动副间隙量δ和倒角，并且设计密封圈挡肩厚度DH，界定适宜的倒角参数α工程范围，通过设计运动副间隙量δ及倒角，可以在装配过程中不损伤密封面并实现自定位装配，回转密封板具有倒角后具有一定锥度，在进入密封孔时可以在密封圈与密封孔滑动接触时自动校准定位，使回转密封板与密封孔同轴，实现回转密封板自定位装配。
[0035]6.本技术提供的设计方法，通过对倒角α、安全密封槽位DL、门板厚WH和回转密封板厚NH等参数的设计，使密封圈在装配过程中可以实现自对位校准，同时保证密封性良好。
附图说明
[0036]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0037]图1为本技术实施例1提供的回转密封结构的结构示意图；
[0038]图2为本技术实施例1提供的回转密封结构的主视图；
[0039]图3为图2中A－A处剖视图；
[0040]图4为本技术实施例1提供的回转密封板的结构示意图；
[0041]图5为本技术实施例1提供的回转密封板的主视图；
[0042]图6为本技术实施例2提供的各参数示意图。
[0043]附图标记说明：
[0044]1、压板；2、挡板；3、轴承；4、密封圈；5、回转密封板；51、避让部；52、安装槽；53、轴肩；54、第一环形槽；6、门板；7、O圈；8、电镜腔室；9、样品台。
具体实施方式
[0045]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0046]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种回转密封结构，其特征在于，包括：回转密封板，适于转动安装在电镜腔室的门板上，所述回转密封板与电镜腔室内的样品台连接；密封圈，设置在所述回转密封板与门板的密封孔之间；门板，适于安装回转密封板与密封圈形成密封，所述门板上开设有适于安装回转密封板的密封孔。2.根据权利要求1所述的回转密封结构，其特征在于，所述回转密封板伸入至门板的端部开设有倒角，所述倒角形成避让部。3.根据权利要求1所述的回转密封结构，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘其武，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：新型
国别省市：