一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉制造技术

本实用新型专利技术公开了topcon电池片生产用扩散炉技术领域的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉，包括扩散炉，扩散炉左侧壁通过转轴安装设有炉门，扩散炉内设有隔板，隔板右侧设有搅动机构，扩散炉右侧壁贯穿连通设有第一进气管和第二进气管，抽气泵进气端连接设有抽气管，抽气管一端位于扩散炉内部，抽气泵出气端连接设有出气管，本实用在搅动机构的配合下能够对气体进行充分混合，然后在抽气管、抽气泵和出气管的配合下能够将混合气体抽送到出风套管内，然后在均风板的作用下能够将混合气体均匀的扩散到扩散炉内，出风口呈圆台状设置，能够使得混合气体排出的时候更加均匀，从而能够对扩散炉内的topcon电池片扩散均匀，提高扩散均匀性。高扩散均匀性。高扩散均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉


[0001]本技术涉及topcon电池片生产用扩散炉
，具体为一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉。

技术介绍

[0002]topcon电池片是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触的太阳能电池，topcon电池片在生产的时候需要使用扩散炉进行扩散，扩散工序是整个topcon电池片制备中的最关键的工序，扩散工序生成PN结，而PN结的均匀性、可控性一直是太阳能电池研究领域的重点，通常使用三氯氧磷作为磷源进行气源携带扩散，扩散炉在对topcon电池片进行扩散的时候，因为扩散需要氧气和其他气体，现有扩散炉不方便对气体进行混合，导致在其进行扩散时，扩散不够均匀，扩散均匀性较差，因此，需要一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉，包括扩散炉，所述扩散炉底部设有四组支撑腿，四组支撑腿在所述扩散炉底部呈矩形阵列分布，所述扩散炉左侧壁通过转轴安装设有炉门，所述扩散炉内设有隔板，所述隔板右侧设有搅动机构，所述扩散炉右侧壁贯穿连通设有第一进气管和第二进气管，所述隔板左侧设有出风套管，所述出风套管底部设有均风板，所述扩散炉顶部设有抽气泵，所述抽气泵进气端连接设有抽气管，所述抽气管一端位于扩散炉内部，所述抽气泵出气端连接设有出气管，所述出气管一端与出风套管内部相连通。
[0005]进一步的，所述均风板顶部均开设有出风口，所述出风口呈圆台状设置。
[0006]进一步的，所述出风套管顶部左右两侧均设有连接杆，两组连接杆一端均与扩散炉内顶部相连接。
[0007]进一步的，所述抽气管一端位于隔板右侧。
[0008]进一步的，所述搅动机构包括隔板右侧设有的搅动杆，所述搅动杆一端贯穿扩散炉内顶部与外部设有的从动齿轮相连接，所述搅动杆外壁均匀设有搅动片，所述搅动杆顶部设有从动齿轮，所述扩散炉顶部设有电机，所述电机输出端连接设有与从动齿轮相啮合的主动齿轮。
[0009]进一步的，所述扩散炉顶部开设有通孔，所述搅动杆外壁套接安装设有轴承，轴承与通孔内壁相匹配。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本实用在搅动机构的配合下能够对气体进行充分混合，然后在抽气管、抽气泵和出气管的配合下能够将混合气体抽送到出风套管内，然后在均风板的作用下能够将混合气体均匀的扩散到扩散炉内，出风口呈圆台状
设置，能够使得混合气体排出的时候更加均匀，从而能够对扩散炉内的topcon电池片扩散均匀，提高扩散均匀性。
附图说明
[0011]图1为本技术结构示意图；
[0012]图2为本技术出风套管和均风板结构示意图。
[0013]图中：1、扩散炉；2、第一进气管；3、第二进气管；4、隔板；5、搅动机构；50、电机；51、主动齿轮；52、从动齿轮；53、搅动片；54、搅动杆；6、抽气管；7、抽气泵；8、出气管；9、出风套管；10、连接杆；11、炉门；12、均风板；13、出风口。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]实施例1：
[0016]请参阅图1，本技术提供一种技术方案：一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉，包括扩散炉1，扩散炉1底部设有四组支撑腿，四组支撑腿在扩散炉1底部呈矩形阵列分布，扩散炉1左侧壁通过转轴安装设有炉门11，扩散炉1内设有隔板4，隔板4右侧设有搅动机构5，扩散炉1右侧壁贯穿连通设有第一进气管2和第二进气管3，隔板4左侧设有出风套管9，出风套管9顶部左右两侧均设有连接杆10，两组连接杆10一端均与扩散炉1内顶部相连接，在连接杆10的作用下使得出风套管9更加稳定，出风套管9底部设有均风板12，扩散炉1顶部设有抽气泵7，抽气泵7进气端连接设有抽气管6，抽气管6一端位于扩散炉1内部，抽气管6一端位于隔板4右侧，从而能够对混合气体进行抽取，抽气泵7出气端连接设有出气管8，出气管8一端与出风套管9内部相连通。
[0017]请参阅图2，均风板12顶部均开设有出风口13，出风口13呈圆台状设置，出风口13呈圆台状设置，能够使得混合气体排出的时候更加均匀，从而能够对扩散炉1内的topcon电池片扩散均匀。
[0018]请参阅图1，搅动机构5包括隔板4右侧设有的搅动杆54，搅动杆54一端贯穿扩散炉1内顶部与外部设有的从动齿轮52相连接，扩散炉1顶部开设有通孔，搅动杆54外壁套接安装设有轴承，轴承与通孔内壁相匹配，在轴承的配合下使得搅动杆54转动更加稳定，搅动杆54外壁均匀设有搅动片53，搅动杆54顶部设有从动齿轮52，扩散炉1顶部设有电机50，电机50输出端连接设有与从动齿轮52相啮合的主动齿轮51，气体通过第一进气管2和第二进气管3输送到扩散炉1内，在电机50的作用下带动主动齿轮51进行转动，主动齿轮51带动从动齿轮52进行转动，从动齿轮52带动搅动杆54进行转动，搅动杆54带动搅动片53进行转动，从而能够对气体进行混合。
[0019]工作原理：topcon电池片生产时需要使用扩散炉1进行扩散，工作人员打开炉门11，然后将放置topcon电池片的放置架放入到扩散炉1内，气体通过第一进气管2和第二进气管3输送到扩散炉1内，在电机50的作用下带动主动齿轮51进行转动，主动齿轮51带动从
动齿轮52进行转动，从动齿轮52带动搅动杆54进行转动，搅动杆54带动搅动片53进行转动，从而能够对气体进行混合(隔板4将扩散炉1隔开)，然后在抽气泵7和抽气管6的作用下能够将混合气体输送到出风套管9内，然后从均风板12上的出风口13排出，从而能够对topcon电池片进行扩散，出风口13呈圆台状设置，能够使得混合气体排出的时候更加均匀，从而能够对扩散炉1内的topcon电池片扩散均匀。
[0020]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉，包括扩散炉(1)，所述扩散炉(1)底部设有四组支撑腿，四组支撑腿在所述扩散炉(1)底部呈矩形阵列分布，所述扩散炉(1)左侧壁通过转轴安装设有炉门(11)，其特征在于：所述扩散炉(1)内设有隔板(4)，所述隔板(4)右侧设有搅动机构(5)，所述扩散炉(1)右侧壁贯穿连通设有第一进气管(2)和第二进气管(3)，所述隔板(4)左侧设有出风套管(9)，所述出风套管(9)底部设有均风板(12)，所述扩散炉(1)顶部设有抽气泵(7)，所述抽气泵(7)进气端连接设有抽气管(6)，所述抽气管(6)一端位于扩散炉(1)内部，所述抽气泵(7)出气端连接设有出气管(8)，所述出气管(8)一端与出风套管(9)内部相连通。2.根据权利要求1所述的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉，其特征在于：所述均风板(12)顶部均开设有出风口(13)，所述出风口(13)呈圆台状设置。3.根据权利要求1所述的一种扩散均匀的topcon电...

【专利技术属性】
技术研发人员：张靖，何飞，何其金，
申请(专利权)人：扬州新瑞光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：