一种电机内置式抛光机转台制造技术

本发明专利技术涉及抛光设备技术领域，特别是关于一种电机内置式抛光机转台。支撑轴承安装于轴承座和托盘之间，抛光盘安装于托盘上，支撑轴承为托盘提供一个高精度的旋转支撑；中间轴两端分别与托盘和悬伸轴联接，形成转轴组件；直驱电机转子套装于中间轴上，直驱电机定子通过支撑盘与轴承座固联，直驱电机通过转轴组件驱动抛光盘；圆光栅和读数头分别安装在悬伸轴外端和轴承盖上，用以完成转台的反馈控制；集液槽安装于抛光盘外沿下方，挡液围栏套装在集液槽上，用于液体的收集。本发明专利技术所述抛光机转台结构紧凑、精度高、稳定性好且拆装方便可广泛应用于精密抛光设备。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及抛光设备
，特别是关于一种电机内置式抛光机转台。
技术介绍
抛光设备是一种精加工设备，其中转台用以承载待加工工件，并依靠抛光盘 和抛光头之间的相对转动为材料的去除提供相对运动。转台台面的回转精度尤其 是端面跳动(轴向跳动)直接影响工件的抛光质量。由于转台台面尺寸较大，工 作压力较大且一般为偏载，因而转台承受的载荷比较复杂。抛光设备的转台是一 种高精度、高承载能力的关键部件。由于抛光过程中会使用带有腐蚀性的抛光液，因而需要考虑转台结构的密封 问题，防止液体进入转台的内部，同时需要考虑液体的收集。目前，抛光机转台一般采用多个精密机械轴承支撑，由变频电机或伺服电机 经过齿轮传动或皮带传动来驱动转台的旋转。由于传动链长，并且会引入额外的 径向力，转台的回转精度不会特别高。而且由于工作转速不高，电机还需要配备 减速器，电机和减速器一般置于转台的外部，使得转台结构不够紧凑。气浮转台 虽然精度高，但承载能力一般有限，对于大台面大载荷的情况应用较少。直驱电机(力矩电机)是一种新型电机，这种电机能够直接提供较大转矩， 而且转速不高，不需要配备减速器。直驱技术可以省略中间的传动环本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电机内置式抛光机转台，其特征在于，支撑轴承（２）的内圈安装在托盘（３）上，支撑轴承（２）的外圈安装于轴承座（１）内；抛光盘（６）安装于托盘（３）上，托盘（３）为抛光盘（６）提供一个高精度的旋转支撑；中间轴（７）与托盘（３）和悬伸轴（８）之间分别用螺栓联接，形成转轴组件（９９）；直驱电机（９）安装在轴承座（１）与转轴组件（９９）之间的空腔，其中，直驱电机转子（９１）套装于中间轴（７）上，并用螺栓与悬伸轴（８）的端面联接，直驱电机定子（９２）用螺栓安装于与轴承座（１）下端固联的支撑盘（１０）上，直驱电机（９）通过转轴组件（９９）驱动抛光盘（６）；小轴承（１１）安装于悬伸轴（８）与支撑盘（１０）...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：路新春，赵德文，王同庆，雒建斌，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]