【技术实现步骤摘要】
静压式电液伺服驱动三轴重载高响应承载台
[0001]本专利技术涉及一种静压式电液伺服驱动三轴重载高响应承载台,属于液压
技术介绍
[0002]当被承载对象需要实现快速实时的在X、Y、Z三个坐标轴方向运动、进而形成所需要的复杂轨迹时,并且兼顾针对大功率重载荷承载对象在空间范围内高速、精确、大刚度动、静态工作时候的恶劣工况,一般的承重和电机驱动单元难以胜任;此时,电液伺服驱动系统的功率体积比大、响应速度快、高精度控制容易实现、负载刚度大等的优势就非常的明显,可以实现快速、小自重、高精度、稳定可靠地驱动大/超大惯量负载在空间三个自由度往复组合步进和连续运动。
技术实现思路
[0003]针对上述问题,本专利技术所设计的静压式电液伺服驱动三轴重载高响应承载台,采用电液伺服控制系统作为驱动单元,发挥它功重比大、响应速度快、系统刚度大抗干扰能力强等优势,以及静压导轨承载能力强、润滑和散热效果好、运动平稳性好、启停动特性好等特性;并采用高精度传感器检测承载台在三个方向的运动信号,反馈到电液伺服控制系统的控制器中,便 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种静压式电液伺服驱动三轴重载高响应承载台,其特征在于,包括:由X轴液压缸(1),第一层平板(2),Y向静压导轨(3),第二层平板(4),Y轴液压缸(5),轴承(6),导柱(7),螺钉(8),第三层平板(9),X向静压导轨(10),1号伺服阀(11),1号控制器(12),1号位移传感器(13),3号控制器(14),3号伺服阀(15),3号位移传感器(16),2号伺服阀(17),2号控制器(18),2号位移传感器(19),Z轴液压缸(20)组成;其中X轴液压缸(1)的活塞杆与第一层平板(2)固定连接,X轴液压缸(1)的缸筒通过联接件与地面固联,且第一层平板(2)安放在X向静压导轨(10)上,静压导轨(10)与地面固定连接,第一层平板(2)可在液压缸(1)的推动作用下实现第一层平板(2)相对于地面的X轴往复移动,1号位移传感器(13)安装在X轴液压缸(1)上,用来精确检测并反馈该活塞杆的位移量,1号伺服阀(11)安装在X轴液压缸(1)上,1号控制器(12)根据1号位移传感器(13)反馈的信号和输入指令信号,形成偏差信号,来控制1号伺服阀(11),从而实现对进入X轴液压缸(1)的液压油的压力、流量和方向的控制;Y向静压导轨(3)通过螺钉(8)与第一层平板(2)固定连接,并在Y向静压导轨(3)上安放第二层平板(4),Y轴液压缸(5)的活塞杆与第二层平板(4)固定连接,Y轴液压缸(5)的缸筒通过联接件与第一层平板(2)固联,可实现第二层平板(4)在第一层平板(2)上相对于地面的Y轴方向往复移动,2号位移传感器(19)安装在Y轴液压缸(5)上,用来精确检测并反馈该活塞杆的位移量,2号伺服阀(17)安装在Y轴液压缸(5)上,2号控制器(18)根据2号位移传感器(19)反馈的信号和输入指令信号,形成偏差信号,来控制2号伺服阀(17),从而实现对进入Y轴液压缸(5)的液压油的压力、流量和方向的控制;Z轴液压缸(20)的缸筒与第二层平板(4)固定连接,Z轴液压缸(20)的活塞杆与第三层平板(9)固定连接,轴...
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