坩埚生产装置及坩埚生产方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种坩埚生产装置及坩埚生产方法，涉及拉晶坩埚制备技术领域。坩埚生产装置包括：一组石墨电极；各个石墨电极均包括：柱状主体、与柱状主体的端部连接的圆台、以及与圆台圆滑连接的球弧状的端部，柱状主体、圆台和球弧状的端部沿石墨电极的轴线方向依次连接；柱状主体的直径为φ1，X为所生产的坩埚的最大外径值，U为一组石墨电极在生产所述坩埚过程中所加的三相电的电压值U；J为柱状主体上的平均电流密度。热应力在石墨电极的端部分布均匀，减少了迸溅，φ1在上述范围内，确保石墨电极承载电流密度不超过石墨电极的承载极限，有效控制石墨电极掉块迸溅，同时还能保证有足够的电流密度进行起弧，适应性强，适用性广。性广。性广。

【技术实现步骤摘要】
坩埚生产装置及坩埚生产方法


[0001]本专利技术涉及拉晶坩埚制备
，特别是涉及一种坩埚生产装置及坩埚生产方法。

技术介绍

[0002]拉制单晶硅的坩埚通常采用电弧法制备，具体是，通过生产坩埚用石墨电极之间产生高温电弧对砂料进行熔融，电弧的核心温度往往超过5000℃。由于温度较高，石墨电极在熔融砂料的过程中容易迸溅，迸溅的石墨电极将造成坩埚内壁黑斑、凹坑、气泡等缺陷，导致坩埚质量下降甚至废弃。
[0003]目前，减少生产坩埚用石墨电极迸溅的坩埚生产装置为：将圆柱形的石墨电极中，易迸溅部分直接去除。
[0004]然而，直接将石墨电极中，易迸溅部分去除，依然无法杜绝石墨电极在熔融砂料过程中迸溅。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供一种坩埚生产装置及坩埚生产方法，旨在解决坩埚生产装置中的石墨电极，在熔融砂料过程中发生迸溅的问题。
[0006]本专利技术的第一方面，提供一种坩埚生产装置，包括：一组石墨电极；各个所述石墨电极均包括：柱状主体、与所述柱状主体的端部连接的圆台、以及与所述圆台圆滑连接的球弧状本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚生产装置，其特征在于，包括：一组石墨电极；各个所述石墨电极均包括：柱状主体、与所述柱状主体的端部连接的圆台、以及与所述圆台圆滑连接的球弧状的端部，所述柱状主体、所述圆台和所述球弧状的端部沿所述石墨电极的轴线方向依次连接；所述柱状主体的直径为φ1，为所生产的坩埚的最大外径值，U为一组所述石墨电极在生产所述坩埚过程中所加的三相电的电压值U；J为单根所述石墨电极在生产所述坩埚过程中，所述柱状主体上的平均电流密度；n为一组所述石墨电极中石墨电极的总数除以3得到的商；X的单位为吋，U的单位为v，的单位与J的单位中的面积单位对应的单位保持一致。2.根据权利要求1所述的坩埚生产装置，其特征在于，沿所述石墨电极的轴线方向，所述球弧状的端部由至少两个球弧体相互连接形成；所述圆台与靠近所述圆台的第一球弧体内切，相邻的球弧体之间内切。3.根据权利要求1所述的坩埚生产装置，其特征在于，一个所述石墨电极中，所述圆台中位置相对的两条母线之间的夹角为α；相邻的石墨电极的球弧状的端部相接触的情况下，所述相邻的两个石墨电极中，柱状主体之间的夹角为β，2
°
≤β
‑
α≤5
°
。4.根据权利要求2所述的坩埚生产装置，其特征在于，所述第一球弧体的直径为φ3，5.根据权利要求2或4所述的坩埚生产装置，其特征在于，在所述球弧状的端部由两个球...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈永康，李侨，郭华盈，刘阳，任伟康，张桥清，晏美仁，梅富然，李济和，段慧芳，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：