一种外延首次通H下标确保安全的方法技术

本发明专利技术公开了一种外延首次通H2确保安全的方法，其确保安全的方法包括以下步骤：S1、首先需要进行实时准备好相应的喷氦和吸氦以及通氢的设备，并且将主机台、阀门分配箱、主机煤气面板、腔体排气管、水箱、燃烧洗涤器和附属设备之间通过管道以及导线进行实时连通和信号连接导通，同时制定相应的检测测试方案和相应检测方法，对各个器件之间管路和线路连接导通运行情况进行实时的测试，S2、然后通过进行实时吸氦和喷氦、保压的方法确保每一段管路和机台内部通氢过程中无盲点，实时保证通氢的安全可靠性。本发明专利技术通过实现外延首次通氢和严格制定日常维护后通氢的安全性检测，有效的降低了通氢安全事故发生次数和概率。通氢安全事故发生次数和概率。通氢安全事故发生次数和概率。

【技术实现步骤摘要】
一种外延首次通H下标确保安全的方法


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，具体为一种外延首次通H2确保安全的方法。

技术介绍

[0002]常压外延设备有很多种，但就其主要结构而论是大同小异的，分子束外延的设备较其他外延技术的设备复杂，要包括超高真空系统努森箱及各种分析仪器，从MBE技术的发展过程看，当初主要是为开发以GaAs为中心的
Ⅲ‑
V族化合物半导体，而后是针对
Ⅱ‑Ⅵ
族和
Ⅳ‑Ⅵ
族化合物半导体，最近正转向针对Si半导体器件的应用开发，从MBE装置的角度看，逐步从单纯研究用装置向批量生产用装置进展。
[0003]目前常压外延设备使用易燃易爆的H2为载体气体，单台使用H2量为200slm，在流氢过程中，有泄露问题，容易产生爆炸，危险系数大，需要在装机和日常维护的过程当中实现一种首次通H2确保安全的方法

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种外延首次通H2确保安全的方法，以解决上述
技术介绍
中提出的常压外延设备使用易燃易爆的H2为载体气体，单台使用H2量为200slm，在流氢过程中，有泄露问题，容易产生爆炸，危险系数大的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种外延首次通H2确保安全的方法，其确保安全的方法包括以下步骤：
[0006]S1、首先需要进行实时准备好相应的喷氦和吸氦以及通氢的设备，并且将主机台、确保安全的方法、主机煤气面板、腔体排气管、水箱、燃烧洗涤器和附属设备之间通过管道以及导线进行实时连通和信号连接导通，同时制定相应的检测测试方案和相应检测方法，对各个器件之间管路和线路连接导通运行情况进行实时的测试。
[0007]S2、然后通过进行实时吸氦和喷氦、保压的方法确保每一段管路和机台内部通氢过程中无盲点，实时保证通氢的安全可靠性，实时检测确保安全的方法至主机台管路通过喷氦和保压确保无泄漏，实时检测主机煤气面板至腔体排气管出进行喷氦和吸氦、保压确保无泄露，实时检测排气管至水箱和燃烧洗涤器处进行喷氦和吸氦、保压确保无泄漏。
[0008]S3、最后需要进行通氢前实时确认主机和附属设备fault信号串联联动，如果出现问题立马能进行停止运行操作，并且通氢前需要对每个接口进行确认易碎标签和锁紧程度，当全部检测确认合格正常后并对数据进行实时记录即可。
[0009]优选的，所述制定相应的检测测试方案的内容包括对每个接口锁紧后增加易碎标签的方案，以及水箱和burn的压差规则制定。
[0010]优选的，所述制定的相应检测方法内容包括进行对每段管路检漏的方法制定，以及对设备之间的线路信号连接导通检测的方法制动。
[0011]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术通过实现外延首次通氢和严格制定日常维护后通氢的安全性检测，有效的降低了通氢安全事故发生次数和概率，大大的提
高了外延设备通氢使用的整体安全性。
附图说明
[0012]图1为本专利技术的整体设备连接导通平面示意图。
[0013]附图中：1、进气管；2、主机；3、内联管；4、酸排压力器；5、氦检封堵口：6、三通阀；7、旁路烧伤器；8、BUM；9、水箱；10、阀门分配箱。
具体实施方式
[0014]下面对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0015]实施例一：
[0016]参阅图1，本实施例的确保安全的方法包括以下步骤：
[0017]一种外延首次通H2确保安全的方法，其确保安全的方法包括以下步骤：
[0018]S1、首先需要进行实时准备好相应的喷氦和吸氦以及通氢的设备，并且将主机台、阀门分配箱、主机煤气面板、腔体排气管、水箱、燃烧洗涤器和附属设备之间通过管道以及导线进行实时连通和信号连接导通，同时制定相应的检测测试方案和相应检测方法，对各个器件之间管路和线路连接导通运行情况进行实时的测试，可避免操作过程器件和设备之间无法进行连通和信号的实时传输，从而导致设备操作无法顺利正常的进行。
[0019]S2、然后通过进行实时吸氦和喷氦、保压的方法确保每一段管路和机台内部通氢过程中无盲点，实时保证通氢的安全可靠性，实时检测确保安全的方法至主机台管路通过喷氦和保压确保无泄漏，实时检测主机煤气面板至腔体排气管出进行喷氦和吸氦、保压确保无泄露，实时检测排气管至水箱和燃烧洗涤器处进行喷氦和吸氦、保压确保无泄漏，能够大大提升整体操作结果的精确性和可靠性。
[0020]S3、最后需要进行通氢前实时确认主机和附属设备fault信号串联联动，如果出现问题立马能进行停止运行操作，并且通氢前需要对每个接口进行确认易碎标签和锁紧程度，当全部检测确认合格正常后并对数据进行实时记录即可，可方便后期直观的进行数据对比和分析得出结论。
[0021]本实施例中，制定相应的检测测试方案的内容包括对每个接口锁紧后增加易碎标签的方案，以及水箱和burn的压差规则制定，能够有效的确保H2有稳定流场。
[0022]本实施例中，制定的相应检测方法内容包括进行对每段管路检漏的方法制定，以及对设备之间的线路信号连接导通检测的方法制动，有效的确保过程中操作的整体安全性。
[0023]实施例二：
[0024]与实施例一的区别特征在于：
[0025]本实施例的确保安全的方法包括以下步骤：
[0026]一种外延首次通H2确保安全的方法，其确保安全的方法包括以下步骤：
[0027]S1、首先需要进行实时准备好相应的喷氦和吸氦以及通氢的设备，并且将主机台、
确保安全的方法、主机煤气面板、腔体排气管、水箱、燃烧洗涤器和附属设备之间通过管道以及导线进行实时连通和信号连接导通，对各个器件之间管路和线路连接导通运行情况进行实时的测试。
[0028]S2、然后通过进行实时吸氦和喷氦、保压的方法确保每一段管路和机台内部通氢过程中无盲点，实时保证通氢的安全可靠性，实时检测确保安全的方法至主机台管路通过喷氦和保压确保无泄漏，实时检测主机煤气面板至腔体排气管出进行喷氦和吸氦、保压确保无泄露。
[0029]S3、最后需要进行通氢前实时确认主机和附属设备fault信号串联联动，如果出现问题立马能进行停止运行操作，并且通氢前需要对每个接口进行确认易碎标签和锁紧程度，当全部检测确认合格正常后并对数据进行实时记录即可。
[0030]综上：本专利技术实施例一中的本专利技术实验结果表明，相比于实施例二中工艺实验结果，本专利技术通过实现外延首次通氢和严格制定日常维护后通氢的安全性检测，有效的降低了通氢安全事故发生次数和概率，大大的提高了外延设备通氢使用的整体安全性。
[0031]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外延首次通H2确保安全的方法，其特征在于：其确保安全的方法包括以下步骤：S1、首先需要进行实时准备好相应的喷氦和吸氦以及通氢的设备，并且将主机台、阀门分配箱、主机煤气面板、腔体排气管、水箱、燃烧洗涤器和附属设备之间通过管道以及导线进行实时连通和信号连接导通，同时制定相应的检测测试方案和相应检测方法，对各个器件之间管路和线路连接导通运行情况进行实时的测试；S2、然后通过进行实时吸氦和喷氦、保压的方法确保每一段管路和机台内部通氢过程中无盲点，实时保证通氢的安全可靠性，实时检测确保安全的方法至主机台管路通过喷氦和保压确保无泄漏，实时检测主机煤气面板至腔体排气管出进行喷氦和吸氦、保压确保无泄露，实时检测排气管至水箱...

【专利技术属性】
技术研发人员：王瀚，杨振域，郑岳亮，王超，龚塞，杜金生，刘园，周迎朝，王彦君，孙晨光，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：