一种细线路蚀刻补偿装置制造方法及图纸

本申请提供一种细线路蚀刻补偿装置，涉及蚀刻线路领域，一种细线路蚀刻补偿装置，包括真空蚀刻机、AOM检测机与CAM线路补偿计算机，所述真空蚀刻机设置有PLC控制器，所述真空蚀刻机设置有多个喷嘴，所述喷嘴连接有电磁阀，所述真空蚀刻机包含有多个蚀刻喷嘴，本实用新型专利技术在使用时，通过真空蚀刻机进行蚀刻处理，AOM检测机对蚀刻的电路板进行检测，本实用新型专利技术可通过CAM线路补偿计算机控制多个喷嘴的打开或关闭，AOM检测机也会自动反馈数据，供CAM线路补偿计算机自动调整工作片线路补偿，让蚀刻效率与线路尺寸精度较提高，适合细线路高效生产。产。产。

【技术实现步骤摘要】
一种细线路蚀刻补偿装置


[0001]本申请涉及蚀刻线路领域，具体而言，涉及一种细线路蚀刻补偿装置。

技术介绍

[0002]有的线路板制备工艺，在形成图形时候，采取的主要方法是在覆铜的刚性或者柔性基材上覆上光敏薄膜(俗称“干膜”)，之后经过曝光显影，将菲林片上的图形转移到干膜上。之后利用干膜图形选择性刻蚀其下层的铜，形成导电线路。但是，该方法在一般铜厚下，仅能制备线宽、线距大于75μm的导电线路图形，而难以制备更细线条线路，因为其主要受限于蚀刻均匀性现有的蚀刻的准确性较差，需要对其进行改进。

技术实现思路

[0003]本申请实施例的目的在于提供一种细线路蚀刻补偿装置，其能够解决蚀刻机精度较差的技术问题。
[0004]本申请实施例提供一种细线路蚀刻补偿装置，其特征在于：包括真空蚀刻机、AOM检测机与CAM线路补偿计算机，所述真空蚀刻机、所述AOM检测机均与所述CAM线路补偿计算机电性连接，所述真空蚀刻机设置有PLC控制器，所述真空蚀刻机设置有多个喷嘴，所述喷嘴连接有电磁阀，所述电磁阀与所述PLC控制器电性连接，所述真空蚀刻机包含有多个蚀刻喷嘴，每个所述蚀刻喷嘴均包含有独立的控制阀，所述控制阀与所述PLC控制器电性连接。
[0005]作为优选，所述真空蚀刻机外接有储存单元，所述储存单元与所述PLC控制器电性连接。
[0006]作为优选，所述喷嘴均匀分别与所述真空蚀刻机内，所述喷嘴下端设置有安装部。
[0007]作为优选，所述AOM检测机内部设置有相机组件，所述相机组件为高清相机。
[0008]作为优选，所述AOM检测机用于蚀刻参数的测量。
[0009]本技术的有益效果：
[0010]本技术提供的一种细线路蚀刻补偿装置，其特征在于：包括真空蚀刻机、AOM检测机与CAM线路补偿计算机，所述真空蚀刻机、所述AOM检测机均与所述CAM线路补偿计算机电性连接，所述真空蚀刻机设置有PLC控制器，所述真空蚀刻机设置有多个喷嘴，所述喷嘴连接有电磁阀，所述电磁阀与所述PLC控制器电性连接，所述真空蚀刻机包含有多个蚀刻喷嘴，每个所述蚀刻喷嘴均包含有独立的控制阀，所述控制阀与所述PLC控制器电性连接，本技术在使用时，通过真空蚀刻机进行蚀刻处理，AOM检测机对蚀刻的电路板进行检测，本技术可通过PLC控制器控制多个喷嘴的打开或关闭，可根据电路板的雕刻需求进行合适位置喷嘴的打开或关闭，蚀刻效率与线路尺寸精度较高，适合细线路高效生产。
附图说明
[0011]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对
范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0012]图1为本技术的结构示意图；
[0013]图2为本技术的喷嘴结构示意图。
[0014]附图标记分别为：
[0015]1、真空蚀刻机；2、AOM检测机；3、CAM线路补偿计算机；4、蚀刻喷嘴；5、PLC控制器。
具体实施方式
[0016]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0017]因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0018]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0019]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0020]此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0021]在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0022]如图1
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2所示，一种细线路蚀刻补偿装置，其特征在于：包括真空蚀刻机1、AOM检测机2与CAM线路补偿计算机3，所述真空蚀刻机1、所述AOM检测机2均与所述CAM线路补偿计算机3电性连接，所述真空蚀刻机1设置有PLC控制器5，所述真空蚀刻机1设置有多个喷嘴，所述喷嘴连接有电磁阀，所述电磁阀与所述PLC控制器5电性连接，所述真空蚀刻机1包含有多个蚀刻喷嘴4，每个所述蚀刻喷嘴4均包含有独立的控制阀，所述控制阀与所述PLC控制器5电性连接，本技术在使用时，通过真空蚀刻机1进行蚀刻处理，AOM检测机2对蚀刻的电路板进行检测，本技术可通过PLC控制器5控制多个喷嘴的打开或关闭，可根据电路板
的雕刻需求进行合适位置喷嘴的打开或关闭，蚀刻效率与线路尺寸精度较高，适合细线路高效生产。
[0023]如图1
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2所示，本实施例中，所述真空蚀刻机1外接有储存单元，所述储存单元与所述PLC控制器5电性连接，储存单元用于储存真空蚀刻机1运行产生的中间数据与控制数据。
[0024]如图1
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2所示，本实施例中，所述喷嘴均匀分别与所述真空蚀刻机1内，所述喷嘴下端设置有安装部，安装于用于卡接电路板。
[0025]如图1
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2所示，所述AOM检测机2用于蚀刻参数的测量，且可将AOM检测机2检测数据发送至PLC控制器5进行反馈处理，使得PLC控制器5对喷嘴的腐蚀液的流速、流量进行调整。
[0026]如图1
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2所示，所述AOM检测机2用于蚀刻参数的测量，本技术的AOM检测机2对蚀刻的电路板进行二次的抽查检测，且可将AOM检测机2检测数据发送至本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种细线路蚀刻补偿装置，其特征在于：包括真空蚀刻机、AOM检测机与CAM线路补偿计算机，所述真空蚀刻机、所述AOM检测机均与所述CAM线路补偿计算机电性连接，所述真空蚀刻机设置有PLC控制器，所述真空蚀刻机设置有多个喷嘴，所述喷嘴连接有电磁阀，所述电磁阀与所述PLC控制器电性连接，所述真空蚀刻机包含有多个蚀刻喷嘴，每个所述蚀刻喷嘴均包含有独立的控制阀，所述控制阀与所述PLC控制器电性连接。2.根据权利要求1所述的一种细线路蚀刻补偿...

【专利技术属性】
技术研发人员：林萬禮，鄭嘉振，鄭人方，陳聖為，
申请(专利权)人：敬鹏常熟电子有限公司，
类型：新型
国别省市：