一种单晶炉中保温支撑装置制造方法及图纸

技术编号:38431390 阅读:34 留言:0更新日期:2023-08-11 14:18
本实用新型专利技术公开了一种单晶炉中保温支撑装置,具体涉及支撑装置领域,包括单晶炉炉筒,所述单晶炉炉筒的两侧均插设有第一螺纹杆,两个所述第一螺纹杆相对的一侧均转动连接有连接块,所述连接块远离第一螺纹杆的一侧固定设有固定板。本实用新型专利技术通过设置固定板,中保温桶移动下去之后,转动第一螺纹杆,直到缓冲板与中保温桶接触,然后继续转动第一螺纹杆,推动固定板继续进行挤压,然后停止转动第一螺纹杆,有利于在单晶炉炉筒进行工作时,对中保温桶的固定,防止中保温桶与单晶炉炉筒的内壁产生磕碰,同时可以对中保温桶进行缓冲,有利于防止外层碳毡被破坏,延长其使用寿命。延长其使用寿命。延长其使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉中保温支撑装置


[0001]本技术涉及支撑装置
,更具体地说,本技术涉及一种单晶炉中保温支撑装置。

技术介绍

[0002]单晶生长过程包括,拆清、熔料、稳温、引晶、扩肩、转肩、等径、收尾、停炉,单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]现有申请号为CN201821400831.8的技术,公开了一种单晶炉中保温支撑装置,包括固定部、连接部和调节部,固定部与单晶炉炉筒连接,连接部一端与固定部连接,连接部另一端与调节部连接,调节部与连接部均与中保温桶支撑环接触。该技术的有益效果是使得单晶炉中保温支撑装置结构简单,耐用不易损坏,采用分体式结构,便于拆卸维修,且调节部的设置,便于中保温筒在热场中对中,保证中保温筒在热场中同心同轴,对中可靠。
[0004]但是在该实际使用时,因为该结构中的支撑装置只能对中保温桶起到支撑的作用,不能对其进行固定,在使用时,会导致中保温桶外层碳毡松弛,保温性能变差,影响单晶寿命,单晶质量变差

技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉中保温支撑装置,包括单晶炉炉筒(1),其特征在于:所述单晶炉炉筒(1)的两侧均插设有第一螺纹杆(2),两个所述第一螺纹杆(2)相对的一侧均转动连接有连接块(3),所述连接块(3)远离第一螺纹杆(2)的一侧固定设有固定板(4),所述固定板(4)远离连接块(3)的一侧固定设有多个弹簧(5),所述弹簧(5)远离固定板(4)的一侧固定设有缓冲板(6);所述单晶炉炉筒(1)的内腔两侧均转动连接有第二螺纹杆(7),所述第二螺纹杆(7)上套设有滑动块(8),两个所述滑动块(8)之间固定设有移动板(9),所述移动板(9)的顶部两侧均开设有滑槽(10),所述滑槽(10)的内部滑动连接有滑块(11),移动板(9)的顶部设有中保温桶(15),所述中保温桶(15)位于两个滑块(11)的中部。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉中保温支撑装置,其特征在于:所述滑块(11)的两侧均固定设有固定块(12),所述固定块(12)上插设有第三螺纹杆(13),所述移动板(9)的顶部两侧均开...

【专利技术属性】
技术研发人员:华伟陈伟潘国庆董永军
申请(专利权)人:南京光宝晶体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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