【技术实现步骤摘要】
一种具有测温功能的晶体生产炉
[0001]本技术涉及生产炉
,具体为一种具有测温功能的晶体生产炉。
技术介绍
[0002]晶体生长炉是单晶制品的生产设备,由于各晶体生长温度可从1000℃到2000多℃,所以晶体生长炉炉腔精准的温度控制至关重要,内保持一定的高温,因此需要对炉内的温度进行检测监控,目前的晶体生产炉通常是通过安装热电偶来对炉腔内进行温度监控的,热电偶本身是易耗品,在对生产炉的长期使用中需要进行更换。
[0003]目前现有具有测温功能的晶体生产炉内安装的热电偶是通过安装法兰来进行固定安装与连接操作,在进行对热电偶安装与拆卸前,均需要对法兰进行安装与拆卸步骤较为繁琐,降低了对热电偶的安装效率。
[0004]针对上述问题,为此,提出一种具有测温功能的晶体生产炉。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种具有测温功能的晶体生产炉,解决了
技术介绍
中在进行对热电偶安装与拆卸前,均需要对法兰进行安装与拆卸步骤较为繁琐,降低了对热电偶安装效率的问题。
[0006]为实现上述目的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有测温功能的晶体生产炉,包括炉体(1)以及设置在所述炉体(1)内部的保温内层(4),所述炉体(1)的顶部设置有延伸至所述炉体(1)内部的籽晶提拉线(2),所述炉体(1)的底部设置有延伸至所述炉体(1)内部的支撑轴(3),所述保温内层(4)的内部底端设置有加热装置(5),所述炉体(1)的底部设置有延伸至所述保温内层(4)内部的热电偶(7),其特征在于:所述炉体(1)的底部设置有连接机构(6),所述连接机构(6)包括有固定连接在所述炉体(1)底部的安装块(601),所述热电偶(7)的外壁固定连接有连接杆(602),所述安装块(601)的内部设置有延伸至所述安装块(601)外壁的限位槽(604),所述安装块(601)的内部设置有延伸至所述安装块(601)底部的条形滑槽(606),通过设置所述连接机构(6)来完成所述热电偶(7)与所述炉体(1)之间的快速安装与拆卸操作。2.根据权利要求1所述的一种具有测温功能的晶体生产炉,其特征在于:所述连接机构(6)还包括有固定连接在所述热电偶(7)外壁,并位于所述连接杆(602)顶部的顶环(603),所述炉体(1)的底部固定连接有套接有弹簧(6...
【专利技术属性】
技术研发人员:华伟,陈伟,潘国庆,董永军,
申请(专利权)人:南京光宝晶体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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