一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉制造技术

本实用新型专利技术属于单晶炉技术领域，尤其是一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉，针对现有的一体式的结构使得加热器需要进行整体更换，成本较高，造成资源浪费的问题，现提出如下方案，其包括加热组件；多个U型加热架，加热组件由环状分布的多个U型加热架拼接而成；多组连接机构，连接机构设于相邻的两个U型加热架之间用以拼接U型加热架；多组定位机构，加热组件的下侧设有连接环，多组定位机构分别设于多个U型加热架与连接环之间；电极，电极固定连接于连接环内，提升了工作效率，以及降低了维修加热组件的成本。组件的成本。组件的成本。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉


[0001]本技术涉及单晶炉
，尤其涉及一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]现有技术中单晶炉加热器结构大多如图8所示为一体式结构，体积较大，在加热器发生损坏时，需要进行整体更换，由于体积较大，不方便进行拆卸维修，同时加热器发生损坏时，大多不是整体结构大面积损坏，但由于一体式的结构使得加热器需要进行整体更换，成本较高，造成资源浪费。
[0004]针对上述问题，本技术文件提出了一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉。

技术实现思路

[0005]本技术提供了一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉，解决了现有技术中存在一体式的结构使得加热器需要进行整体更换，成本较高，造成资源浪费的缺点。
[0006]本技术提供了如下技术方案：
[0007]一种单晶炉热场加热器组件，包括加热组件；多个U型加热架，所述加热组件由环状分布的多个U型加热架拼接而成；多组连接机构，连接机构设于相邻的两个U型加热架之间用以拼接U型加热架；多组定位机构，所述加热组件的下侧设有连接环，多组定位机构分别设于多个U型加热架与连接环之间；电极，所述电极固定连接于连接环内。
[0008]在一种可能的设计中，每组所述连接机构均包括固定连接于U型加热架侧端的连接卡块，所述U型加热架的另一侧端开设有连接卡板，所述连接卡块和连接卡板相卡接。/>[0009]在一种可能的设计中，每组所述定位机构均包括开设于连接环顶端的定位槽，所述U型加热架的底端固定连接有定位块，所述定位槽和定位块相匹配，所述定位块内开设有第一凹槽，所述第一凹槽内滑动连接有两个卡接板，两个所述卡接板之间固定连接有卡接弹簧，两个所述卡接板相远离的端部均固定连接有卡接块，所述定位槽的两侧内壁均开设有卡接槽，两个所述卡接块分别与两个卡接槽相卡接。
[0010]在一种可能的设计中，所述U型加热架内开设有与连接卡板相连通的第二凹槽，所述第二凹槽内滑动连接有挡板。
[0011]在一种可能的设计中，所述挡板的顶端固定连接有拨片，所述第二凹槽内开设有四个定位卡槽，所述拨片的两端均固定连接有弹性卡接部，两个所述弹性卡接部分别与相对应的两个定位卡槽相卡接。
[0012]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本技术。
[0013]本技术中，通过将连接卡块插接进入连接卡板内，以达到连接两个U型加热架
的目的；连接卡块插接进入连接卡板内，连接卡块未完全填充满连接卡板，通过推动挡板在第二凹槽内滑动，将挡板推动至连接卡板内，挡板位于连接卡块的上侧对连接卡块进行限位，使两个U型加热架连接稳定；
[0014]本技术中，两个弹性卡接部在挡板位于第二凹槽内时保持挡板的稳定，在挡板位于连接卡块的上侧时，也可使挡板保持稳定，在无外力干涉的情况下，能够保证多个U型加热架连接的稳定；
[0015]本技术中，本装置通过将多个U型加热架通过连接机构进行拼接，并将其通过定位机构同连接环相连接，在需要进行更换时，只需解除两个U型加热架之间连接机构的连接，在加热组件出现故障时便于进行拆卸，能够进行局部的快速拆卸更换，提升了工作效率，以及降低了维修加热组件的成本。
附图说明
[0016]图1为本技术实施例所提供的一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉的主视立体图；
[0017]图2为本技术实施例所提供的一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉的第一局部剖视图；
[0018]图3为本技术实施例所提供的一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉的第一局部爆炸图；
[0019]图4为本技术实施例所提供的一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉的第二局部爆炸图图；
[0020]图5为本技术实施例所提供的一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉图4中A处的局部放大图；
[0021]图6为本技术实施例所提供的一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉的仰视图；
[0022]图7为本技术实施例所提供的一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉图6中B处的局部放大图；
[0023]图8为现有技术中单晶炉加热组件的结构示意图。
[0024]附图标记：
[0025]1、加热组件；101、U型加热架；102、连接环；2、电极；3、定位槽；4、定位块；5、卡接槽；6、卡接块；7、卡接板；8、第一凹槽；9、卡接弹簧；10、连接卡块；11、连接卡板；12、第二凹槽；13、挡板；14、拨片；15、弹性卡接部；16、定位卡槽。
具体实施方式
[0026]下面结合本技术实施例中的附图对本技术实施例进行描述。
[0027]在本技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语、“连接”、“安装”应做广义理解，例如，“连接”可以是可拆卸地连接，也可以是不可拆卸地连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接。此外“连通”可以是直接连通，也可以通过中间媒介间接连通。其中，“固定”是指彼此连接且连接后的相对位置关系不变。本技术实施例中所提到的方位用语，例如，“内”、“外”、“顶”、“底”等，仅是参考附图的方向，
因此，使用的方位用语是为了更好、更清楚地说明及理解本技术实施例，而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术实施例的限制。
[0028]本技术实施例中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0029]在本技术实施例中，“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0030]在本说明书中描述的参考“一个实施例”或“一些实施例”等意味着在本技术的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。术语“包括”、“包含”、“具有”及它们的变形都意味着“包括但不限于”，除非是以其他方式另外特别强调。
[0031]实施例1
[0032]参照图1
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图7，一种单晶炉热场加热器组件，包括加热组件1；多个U型加热架101，加热组件1由环状分布的多个U型加热架101拼接而成；多组连接机构，连接机构设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉热场加热器组件，其特征在于，包括：加热组件(1)；多个U型加热架(101)，所述加热组件(1)由环状分布的多个U型加热架(101)拼接而成；多组连接机构，连接机构设于相邻的两个U型加热架(101)之间用以拼接U型加热架(101)；多组定位机构，所述加热组件(1)的下侧设有连接环(102)，多组定位机构分别设于多个U型加热架(101)与连接环(102)之间；电极(2)，所述电极(2)固定连接于连接环(102)内。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场加热器组件，其特征在于，每组所述连接机构均包括固定连接于U型加热架(101)侧端的连接卡块(10)，所述U型加热架(101)的另一侧端开设有连接卡板(11)，所述连接卡块(10)和连接卡板(11)相卡接。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述U型加热架(101)内开设有与连接卡板(11)相连通的第二凹槽(12)，所述第二凹槽(12)内滑动连接有挡板(13)。4.根据权利要求3所述的一种单晶炉...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡璋榕，郑珠兰，
申请(专利权)人：福建鑫睿晶学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：