【技术实现步骤摘要】
一种硅单晶炉晶棒定位机构
[0001]本技术涉及单晶炉晶棒相关
,尤其涉及一种硅单晶炉晶棒定位机构。
技术介绍
[0002]晶棒是指整个的单晶硅,因为单晶硅棒的制作是用直拉法区熔法制作完成的,其成品均为棒状,故称为晶棒,在众多前沿科技的生产中一个重要组成部分就是芯片,而单晶硅就是生产芯片的核心,作为科技发展的基石,其生产过程也是尤为重要。
[0003]经检索,公告号为CN212895076U的技术公开了一种单晶炉晶棒定位装置,包括连接板、底板、定位块、挡块、定位口和固定机构,连接板上端与底板相连接,底板与定位块底部竖直固定,定位块上端与挡块竖直固定,并且定位块上端中部开设有定位口,定位块内部设置有固定机构,通过设置了固定机构,拉动拉块使齿条右移,此时齿轮带动螺纹套转动,使螺纹杆将夹环推出从而将棒体夹紧固定,解决了现有定位装置在放入棒体后容易因外部因素发生位移,导致定位出现偏差,固定性较差的问题,通过设置了限位环,齿条左右滑动进行传动的同时,中部能够通过限位环进行限位,增加滑动稳定性。
[0004]但是在 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅单晶炉晶棒定位机构,其特征在于,包括装置箱体(1),所述装置箱体(1)的底部固定连接有两两对称的四个U型板(27),所述U型板(27)的两侧内壁之间转动连接有同一个转轴(28),所述转轴(28)的外壁固定套设有移动轮(14),所述装置箱体(1)的顶部开设有对称设置的两个定位口(2),所述装置箱体(1)的底部固定连接有对称设置的两个安装箱(3),所述安装箱(3)的顶部固定连接有安装块(4),所述安装块(4)的顶部开设有第二凹槽(18),所述第二凹槽(18)的内壁滑动连接有承接板(10),所述承接板(10)的底部与安装箱(3)的顶部之间固定连接有同一个弹簧(19),所述装置箱体(1)的两侧内壁转动连接有对称设置的两组用于固定晶棒的夹紧组件,所述装置箱体(1)的两侧均滑动贯穿有用于固定承接板(10)的固定组件,所述安装箱(3)的顶部滑动连接有用于控制移动轮(14)转动的制动组件。2.根据权利要求1所述的一种硅单晶炉晶棒定位机构,其特征在于,所述夹紧组件包括转动连接在装置箱体(1)两侧内壁的同一个双向丝杆(7),所述双向丝杆(7)的外壁螺纹套设有对称设置的两个夹臂(6),所述双向丝杆(7)的外壁固定套设有齿轮(9),两个所述夹臂(6)相互靠近的一侧固定连接有连接块(16),所述连接块(16)的一侧固定连接有弧形夹(5),所述夹臂(6)与安装块(4)的顶部滑动连接,所述承接板(10)的一侧固定连接有齿条(11),所述齿条(11)与第一凹槽(8)的两侧内壁滑动连接并与齿轮(9)啮合。3.根据权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员:蔡璋榕,郑珠兰,
申请(专利权)人:福建鑫睿晶学科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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