一种硅单晶炉晶棒定位机构制造技术

技术编号:37761766 阅读:26 留言:0更新日期:2023-06-05 23:55
本实用新型专利技术属于单晶炉晶棒相关技术领域,尤其是一种硅单晶炉晶棒定位机构,针对现有的将晶棒放置在指定位置时,需要人工进行多步操控才能使整个晶棒进行固定,使用不便,放置晶棒时,由于移动设备反生移动导致放置过程中出现偏差的问题,现提出如下方案,其包括装置箱体,所述装置箱体的底部固定连接有两两对称的四个U型板,所述U型板的两侧内壁之间转动连接有同一个转轴,所述转轴的外壁固定套设有移动轮,所述装置箱体的顶部开设有对称设置的两个定位口,本实用新型专利技术中,通过夹紧组件使得在晶棒下降的过程中可以带动两侧的组件进行夹持,并且到达底部后自动固定,同时触发制动组件解除对底部移动装置的控制,方便实用。方便实用。方便实用。

【技术实现步骤摘要】
一种硅单晶炉晶棒定位机构


[0001]本技术涉及单晶炉晶棒相关
,尤其涉及一种硅单晶炉晶棒定位机构。

技术介绍

[0002]晶棒是指整个的单晶硅,因为单晶硅棒的制作是用直拉法区熔法制作完成的,其成品均为棒状,故称为晶棒,在众多前沿科技的生产中一个重要组成部分就是芯片,而单晶硅就是生产芯片的核心,作为科技发展的基石,其生产过程也是尤为重要。
[0003]经检索,公告号为CN212895076U的技术公开了一种单晶炉晶棒定位装置,包括连接板、底板、定位块、挡块、定位口和固定机构,连接板上端与底板相连接,底板与定位块底部竖直固定,定位块上端与挡块竖直固定,并且定位块上端中部开设有定位口,定位块内部设置有固定机构,通过设置了固定机构,拉动拉块使齿条右移,此时齿轮带动螺纹套转动,使螺纹杆将夹环推出从而将棒体夹紧固定,解决了现有定位装置在放入棒体后容易因外部因素发生位移,导致定位出现偏差,固定性较差的问题,通过设置了限位环,齿条左右滑动进行传动的同时,中部能够通过限位环进行限位,增加滑动稳定性。
[0004]但是在使用过程中仍然会出现本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅单晶炉晶棒定位机构,其特征在于,包括装置箱体(1),所述装置箱体(1)的底部固定连接有两两对称的四个U型板(27),所述U型板(27)的两侧内壁之间转动连接有同一个转轴(28),所述转轴(28)的外壁固定套设有移动轮(14),所述装置箱体(1)的顶部开设有对称设置的两个定位口(2),所述装置箱体(1)的底部固定连接有对称设置的两个安装箱(3),所述安装箱(3)的顶部固定连接有安装块(4),所述安装块(4)的顶部开设有第二凹槽(18),所述第二凹槽(18)的内壁滑动连接有承接板(10),所述承接板(10)的底部与安装箱(3)的顶部之间固定连接有同一个弹簧(19),所述装置箱体(1)的两侧内壁转动连接有对称设置的两组用于固定晶棒的夹紧组件,所述装置箱体(1)的两侧均滑动贯穿有用于固定承接板(10)的固定组件,所述安装箱(3)的顶部滑动连接有用于控制移动轮(14)转动的制动组件。2.根据权利要求1所述的一种硅单晶炉晶棒定位机构,其特征在于,所述夹紧组件包括转动连接在装置箱体(1)两侧内壁的同一个双向丝杆(7),所述双向丝杆(7)的外壁螺纹套设有对称设置的两个夹臂(6),所述双向丝杆(7)的外壁固定套设有齿轮(9),两个所述夹臂(6)相互靠近的一侧固定连接有连接块(16),所述连接块(16)的一侧固定连接有弧形夹(5),所述夹臂(6)与安装块(4)的顶部滑动连接,所述承接板(10)的一侧固定连接有齿条(11),所述齿条(11)与第一凹槽(8)的两侧内壁滑动连接并与齿轮(9)啮合。3.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员:蔡璋榕郑珠兰
申请(专利权)人:福建鑫睿晶学科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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