下载一种硅单晶炉晶棒定位机构的技术资料

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本实用新型属于单晶炉晶棒相关技术领域,尤其是一种硅单晶炉晶棒定位机构,针对现有的将晶棒放置在指定位置时,需要人工进行多步操控才能使整个晶棒进行固定,使用不便,放置晶棒时,由于移动设备反生移动导致放置过程中出现偏差的问题,现提出如下方案,其包...
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