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一种硅单晶炉晶棒定位机构制造技术
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文档序号:37761766
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本实用新型属于单晶炉晶棒相关技术领域,尤其是一种硅单晶炉晶棒定位机构,针对现有的将晶棒放置在指定位置时,需要人工进行多步操控才能使整个晶棒进行固定,使用不便,放置晶棒时,由于移动设备反生移动导致放置过程中出现偏差的问题,现提出如下方案,其包...
该专利属于福建鑫睿晶学科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建鑫睿晶学科技有限公司授权不得商用。
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