一种晶体生长炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶体生长炉，包括晶体生长炉以及切割卸料装置；切割卸料装置包括伸缩机构、夹持机构以及切割机构。该晶体生长炉利用切割卸料装置能够对籽晶杆的下端进行切割，从而获得生长好的晶体球，无需每次打开晶体生长炉进行人工取出切割，进一步提高晶体的生产效率；利用夹持机构对籽晶杆的下端进行包裹式夹持，一方面能够减少切割粉尘的飞扬，另一方面能够确保切割时的稳定性。另一方面能够确保切割时的稳定性。另一方面能够确保切割时的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶体生长炉


[0001]本技术涉及一种晶体生产设备，尤其是一种晶体生长炉。

技术介绍

[0002]在现有的人工晶体制备方法中，提拉法是一种常见的人工晶体制备方法，采用提拉法可以从熔体中提拉生长高质量单晶材料。提拉法已经应用于生长蓝宝石单晶、钇铝石榴石单晶、硅锗单晶、氟化钙单晶等重要的人工晶体材料。提拉法生长晶体相比较其它晶体生长技术，晶体位错密度低、光学均一性高、内部应力低。
[0003]晶体生长炉为人工晶体制备的主要设备，但是现有的晶体生长炉结构都比较简单，每次晶体生长完成后都需要人工开炉操作，在每次开炉时都需要完全停机操作，会导致大量的能量损失，而且晶体的制备效率也不高。因此有必要设计出一种晶体生长炉，能够在不开炉的情况下切割并快速取出生长好的晶体，有效提高晶体制备效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于：提供一种晶体生长炉，能够在不开炉的情况下切割并快速取出生长好的晶体，有效提高晶体制备效率。
[0005]为了实现上述技术目的，本技术提供了一种晶体生长炉，包括晶体生长炉以及切割卸料装置；切割卸料装置包括伸缩机构、夹持机构以及切割机构；伸缩机构安装在晶体生长炉的上部侧边上，夹持机构以及切割机构均安装在伸缩机构上，由伸缩机构驱动夹持机构以及切割机构进出晶体生长炉，由夹持机构对晶体生长炉内的籽晶杆的下端进行包裹式夹持，由切割机构对籽晶杆的下端进行切割。
[0006]进一步的，晶体生长炉包括炉体、炉门、真空泵、坩埚加热机构、提拉机构以及旋转机构；炉门铰接安装在炉体的前侧炉口处，用于对前侧炉口进行封闭；真空泵与炉体相连通，用于对炉体内进行抽真空；坩埚加热机构安装在炉体内，用于对原料进行加热；提拉机构贯穿式安装在炉体的顶部上，旋转机构安装在提拉机构上，籽晶杆的上端可拆卸式安装在旋转机构上，由旋转机构驱动籽晶杆旋转，由提拉机构提升旋转机构的高度。
[0007]进一步的，提拉机构包括提拉支架、提拉驱动电机、提拉驱动管以及提拉驱动座；提拉驱动座旋转式安装在提拉支架上，提拉驱动管的上端竖向滑动式安装在提拉支架上，且提拉驱动管的下端贯穿晶体生长炉的顶部；提拉驱动管贯穿式螺纹安装在提拉驱动座上，提拉驱动电机通过蜗轮蜗杆驱动提拉驱动座旋转。
[0008]进一步的，旋转机构包括旋转驱动杆以及旋转驱动电机；旋转驱动杆贯穿式旋转安装在提拉驱动管上，旋转驱动电机用于驱动旋转驱动杆旋转；籽晶杆的上端可拆卸安装在旋转驱动杆的下端上。
[0009]进一步的，伸缩机构包括卸料通道、伸缩驱动单元以及U形框架；卸料通道连通式安装在晶体生长炉的上部侧边上，U形框架的上下侧边框分别滑动式安装在卸料通道的上下侧内壁上，伸缩驱动单元用于驱动U形框架沿卸料通道滑移；夹持机构以及切割机构均安
装在U形框架上；在卸料通道的下侧设置有取料窗口，并在取料窗口处可拆卸安装有窗口封盖。
[0010]进一步的，夹持机构包括开合驱动单元以及两个夹持罩壳；两个夹持罩壳上下侧面夹持边缘的一端顶角分别旋转式安装在U形框架的上下侧边框端部上；开合驱动单元安装在U形框架的下侧边框上，用于推拉驱动两个夹持罩壳同步开合运动；在两个夹持罩壳上侧面夹持边缘的中部均设置有一个用于夹持籽晶杆下端的夹持定位槽口。
[0011]进一步的，切割机构包括进给驱动单元、切割驱动单元以及旋转切割刀片；在两个夹持罩壳与切割机构相对的侧面上均设置有一个进给窗口；旋转切割刀片旋转式安装在进给驱动单元的端部上，由进给驱动单元推动旋转切割刀片穿过进给窗口进行切割；切割驱动单元用于驱动旋转切割刀片旋转。
[0012]本技术的有益效果在于：利用切割卸料装置能够对籽晶杆的下端进行切割，从而获得生长好的晶体球，无需每次打开晶体生长炉进行人工取出切割，进一步提高晶体的生产效率；利用夹持机构对籽晶杆的下端进行包裹式夹持，一方面能够减少切割粉尘的飞扬，另一方面能够确保切割时的稳定性。
附图说明
[0013]图1为本技术的整体结构示意图；
[0014]图2为本技术的局部剖视结构示意图；
[0015]图3为本技术的夹持机构安装结构示意图；
[0016]图4为本技术的电路结构示意图。
具体实施方式
[0017]下面结合附图对本技术技术方案进行详细说明，但是本技术的保护范围不局限于所述实施例。
[0018]实施例1：
[0019]如图1
‑
4所示，本技术公开的晶体生长炉包括：晶体生长炉以及切割卸料装置；切割卸料装置包括伸缩机构、夹持机构以及切割机构；伸缩机构安装在晶体生长炉的上部侧边上，夹持机构以及切割机构均安装在伸缩机构上，由伸缩机构驱动夹持机构以及切割机构进出晶体生长炉，由夹持机构对晶体生长炉内的籽晶杆26的下端进行包裹式夹持，由切割机构对籽晶杆26的下端进行切割。
[0020]利用切割卸料装置能够对籽晶杆26的下端进行切割，从而获得生长好的晶体球45，无需每次打开晶体生长炉进行人工取出切割，进一步提高晶体的生产效率；利用夹持机构对籽晶杆26的下端进行包裹式夹持，一方面能够减少切割粉尘的飞扬，另一方面能够确保切割时的稳定性。
[0021]进一步的，晶体生长炉包括炉体2、炉门4、真空泵8、坩埚加热机构、提拉机构以及旋转机构；炉门4铰接安装在炉体2的前侧炉口处，用于对前侧炉口进行封闭；真空泵8与炉体2相连通，用于对炉体2内进行抽真空；坩埚加热机构安装在炉体2内，用于对原料进行加热；提拉机构贯穿式安装在炉体2的顶部上，旋转机构安装在提拉机构上，籽晶杆26的上端可拆卸式安装在旋转机构上，由旋转机构驱动籽晶杆26旋转，由提拉机构提升旋转机构的
高度。
[0022]进一步的，炉体2通过竖向支撑腿3固定安装在支撑底板1上，从而有效增加炉体2的离地高度，也能保证炉体2的稳定性；在炉体2和炉门4的对应位置处设置有锁扣9，从而通过锁定螺栓实现炉体2和炉门4的密封锁定；在炉门4上还设置有便于观察的玻璃窗11；在炉门4的内侧面边缘设置有密封圈10，起到闭合后的密封作用。
[0023]进一步的，坩埚加热机构包括加热线圈30、坩埚31以及保温壳29；保温壳29固定安装在炉体2的内底部上，坩埚31固定安装在保温壳29中；加热线圈30围绕设置在保温壳29的外侧，用于对坩埚31进行加热。利用保温壳29能够增强坩埚31的保温性能。
[0024]进一步的，提拉机构包括提拉支架、提拉驱动电机16、提拉驱动管17以及提拉驱动座22；提拉驱动座22旋转式安装在提拉支架上，提拉驱动管17的上端竖向滑动式安装在提拉支架上，且提拉驱动管17的下端贯穿晶体生长炉的顶部；提拉驱动管17贯穿式螺纹安装在提拉驱动座22上，提拉驱动电机16通过蜗轮蜗杆驱动提拉驱动座22旋转。
[0025]进一步的，旋转机构包括旋转驱动杆19以及旋转驱动电机18；旋转驱动杆19贯穿式旋转安装在提拉驱动管17上，旋转驱动电机18用于驱动旋转驱动杆19本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉，其特征在于：包括晶体生长炉以及切割卸料装置；切割卸料装置包括伸缩机构、夹持机构以及切割机构；伸缩机构安装在晶体生长炉的上部侧边上，夹持机构以及切割机构均安装在伸缩机构上，由伸缩机构驱动夹持机构以及切割机构进出晶体生长炉，由夹持机构对晶体生长炉内的籽晶杆(26)的下端进行包裹式夹持，由切割机构对籽晶杆(26)的下端进行切割。2.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于：晶体生长炉包括炉体(2)、炉门(4)、真空泵(8)、坩埚加热机构、提拉机构以及旋转机构；炉门(4)铰接安装在炉体(2)的前侧炉口处，用于对前侧炉口进行封闭；真空泵(8)与炉体(2)相连通，用于对炉体(2)内进行抽真空；坩埚加热机构安装在炉体(2)内，用于对原料进行加热；提拉机构贯穿式安装在炉体(2)的顶部上，旋转机构安装在提拉机构上，籽晶杆(26)的上端可拆卸式安装在旋转机构上，由旋转机构驱动籽晶杆(26)旋转，由提拉机构提升旋转机构的高度。3.根据权利要求2所述的晶体生长炉，其特征在于：提拉机构包括提拉支架、提拉驱动电机(16)、提拉驱动管(17)以及提拉驱动座(22)；提拉驱动座(22)旋转式安装在提拉支架上，提拉驱动管(17)的上端竖向滑动式安装在提拉支架上，且提拉驱动管(17)的下端贯穿晶体生长炉的顶部；提拉驱动管(17)贯穿式螺纹安装在提拉驱动座(22)上，提拉驱动电机(16)通过蜗轮蜗杆驱动提拉驱动座(22)旋转。4.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于：旋转机构包括旋转驱动杆(19)以及旋转驱动电机(18)；旋转驱动杆(19)贯穿...

【专利技术属性】
技术研发人员：成志洋，
申请(专利权)人：盐城市晶汇电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：