本发明专利技术提供一种换热介质回收装置和回收方法，属于半导体晶圆加工设备领域和制冷技术领域，分流单元的入口端与设有待回收换热介质的温控装置的出口端连接，分流单元的出口端分别与冷凝单元和气体循环单元连接，冷凝单元的出口端与回收单元连接，回收单元对气液混合物进行气液分离，得到液态的换热介质，并将分离后的气体输出至气体循环单元内；加热单元分别与压缩机和温控装置连接，气体循环单元的出口端与加热单元的入口端连接，用于将加热单元降温后的气体输出至温控装置内。本发明专利技术使得分流单元、回收单元、气体循环单元和待回收的温控装置之间形成循环通路，基于冷凝法对温控装置内的换热介质进行循环回收处理，提高了液体的回收率。回收率。回收率。
【技术实现步骤摘要】
换热介质回收装置和回收方法
[0001]本专利技术涉及半导体晶圆加工设备领域和制冷
，尤其涉及一种换热介质回收装置和回收方法。
技术介绍
[0002]在半导体晶圆加工设备中，需要使用专用温控装置保持晶圆加工腔内恒温，温控装置和加工腔之间设有换热介质。温控装置在工厂内加注换热介质进行设备调试，完成调试后，需要将设备内部的换热介质排出并重复使用，进行后续设备调试。由于换热介质成本较高，所以换热介质在每台调试后的损耗量，也是计算设备调试成本的一项重要指标。
[0003]目前温控装置主要依靠重力将管路内换热介质排出，其次在重力排液的基础上，往装置管路内部持续通入正压空气，吹出一部分液体。由于温控装置内部管路均使用不锈钢波纹管，管壁有大量S形褶皱，且有水泵，板式换热器等内部介质流道复杂的器件，导致重力排液和正压气体吹扫的方式无法进行循环回收，只能回收温控装置内一部分液体，导致液体的回收率低。
技术实现思路
[0004]本专利技术提供一种换热介质回收装置和回收方法，用以解决现有技术中重力排液和正压气体吹扫的方式无法进行循环回收，只能回收温控装置内一部分液体，导致液体的回收率低的缺陷。
[0005]本专利技术提供一种换热介质回收装置，包括分流单元、压缩机、冷凝单元、气体循环单元、加热单元和回收单元；
[0006]所述分流单元的入口端与温控装置的出口端连接，所述分流单元的出口端分别与冷凝单元和气体循环单元连接，将所述温控装置输出的气体分别传输至所述冷凝单元和所述气体循环单元内，其中，所述温控装置含有待回收换热介质；
[0007]所述冷凝单元的出口端与所述回收单元连接，用于对所述分流单元输入的气体进行冷凝处理，得到气液混合物，将所述气液混合物输出至所述回收单元内，所述回收单元对所述气液混合物进行气液分离，得到液态的所述换热介质，并将分离后的气体输出至所述气体循环单元内；
[0008]所述压缩机与所述冷凝单元连接：所述加热单元分别与所述压缩机和所述温控装置连接，所述气体循环单元的出口端与所述加热单元的入口端连接，用于将所述加热单元升温后的气体输出至所述温控装置内。
[0009]根据本专利技术提供的一种换热介质回收装置，还包括控制单元，所述控制单元用于获取所述分流单元入口端的第一温度信息，根据所述第一温度信息和第一预设温度控制所述气体循环单元，其中，所述第一预设温度基于所述换热介质确定。
[0010]根据本专利技术提供的一种换热介质回收装置，所述冷凝单元包括冷凝器和蒸发器，所述冷凝器的入口端与所述加热单元连接，出口端与所述蒸发器连接，所述蒸发器还与所
述压缩机连接，所述蒸发器的放热侧管路基于换热原理对所述分流单元输入的气体进行冷凝处理。
[0011]根据本专利技术提供的一种换热介质回收装置，所述冷凝器的吸热侧还设有调节阀，所述调节阀用于根据所述压缩机排气侧的第二温度信息进行开度调整。
[0012]根据本专利技术提供的一种换热介质回收装置，所述冷凝单元还包括节流装置，所述节流装置设在所述冷凝器和所述蒸发器之间。
[0013]根据本专利技术提供的一种换热介质回收装置，所述气体循环单元包括风机，所述风机的出口端与所述加热单元连接。
[0014]根据本专利技术提供的一种换热介质回收装置，所述气体循环单元还包括三通调节阀，所述三通调节阀用于根据所述回收单元入口端的第三温度信息调节所述分流单元和所述回收单元进入所述风机的气体流量。
[0015]根据本专利技术提供的一种换热介质回收装置，所述回收单元包括气液分离器，所述气液分离器的入口端与所述冷凝单元连接，出口端与所述气体循环单元连接，用于从所述气液混合物中回收所述换热介质。
[0016]根据本专利技术提供的一种换热介质回收装置，所述分流单元为三通管路。
[0017]本专利技术还提供了一种换热介质回收方法，基于所述的换热介质回收装置实现，包括：
[0018]在温控装置的出口端设置分流单元，所述分流单元将所述温控装置输出的气体分别传输至所述冷凝单元和所述气体循环单元内，其中，所述温控装置含有待回收换热介质；
[0019]基于冷凝单元对分流单元输入的气体进行冷凝处理，得到气液混合物，将所述气液混合物输出至所述回收单元内；其中，冷凝单元与压缩机连接，基于所述压缩机进行降温；
[0020]基于所述回收单元对所述气液混合物进行气液分离，得到液态的所述换热介质，并将分离后的气体输出至所述气体循环单元内；
[0021]基于所述气体循环单元将所述加热单元降温后的气体输入温控装置内以进行循环回收。
[0022]本专利技术提供的换热介质回收装置和回收方法，包括分流单元、压缩机、冷凝单元、气体循环单元、加热单元和回收单元，分流单元、回收单元、气体循环单元和待回收的温控装置之间形成循环通路，基于冷凝法对温控装置内的换热介质进行循环回收处理，提高了液体的回收率。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本专利技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1是本专利技术提供的换热介质回收装置的原理框图；
[0025]图2是本专利技术提供的换热介质回收装置的结构示意图；
[0026]图3是本专利技术提供的换热介质的蒸发压与温度关系曲线示意图；
[0027]图4是本专利技术提供的控制单元的原理框图；
[0028]图5是本专利技术提供的控制气体循环单元的流程示意图；
[0029]图6是本专利技术提供的控制三通调节阀的流程示意图；
[0030]图7是本专利技术提供的换热介质回收方法的流程示意图。
[0031]附图标记：
[0032]1‑
分流单元、2
‑
压缩机、3
‑
冷凝单元、301
‑
冷凝器、302
‑
节流装置、303
‑
蒸发器、304
‑
调节阀、4
‑
气体循环单元、401
‑
风机、402
‑
三通调节阀、5
‑
加热单元、6
‑
回收单元、7
‑
控制单元、701
‑
第一温度传感器、702
‑
第二温度传感器、703
‑
第三温度传感器、704
‑
处理器、8
‑
温控装置。
具体实施方式
[0033]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术中的附图，对本专利技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种换热介质回收装置，其特征在于，包括分流单元、压缩机、冷凝单元、气体循环单元、加热单元和回收单元；所述分流单元的入口端与温控装置的出口端连接，所述分流单元的出口端分别与冷凝单元和气体循环单元连接，将所述温控装置输出的气体分别传输至所述冷凝单元和所述气体循环单元内，其中，所述温控装置含有待回收换热介质；所述冷凝单元的出口端与所述回收单元连接，用于对所述分流单元输入的气体进行冷凝处理，得到气液混合物，将所述气液混合物输出至所述回收单元内，所述回收单元对所述气液混合物进行气液分离，得到液态的所述换热介质，并将分离后的气体输出至所述气体循环单元内；所述压缩机与所述冷凝单元连接：所述加热单元分别与所述压缩机和所述温控装置连接，用于对所述气体循环单元排出的气体进行加热，所述气体循环单元的出口端与所述加热单元的入口端连接，用于将所述加热单元升温后的气体输出至所述温控装置内。2.根据权利要求1所述的换热介质回收装置，其特征在于，还包括控制单元，所述控制单元用于获取所述分流单元入口端的第一温度信息，根据所述第一温度信息和第一预设温度控制所述气体循环单元，其中，所述第一预设温度基于所述换热介质确定。3.根据权利要求1所述的换热介质回收装置，其特征在于，所述冷凝单元包括冷凝器和蒸发器，所述冷凝器的入口端与所述加热单元连接，出口端与所述蒸发器连接，所述蒸发器还与所述压缩机连接，所述蒸发器的放热侧管路基于换热原理对所述分流单元输入的气体进行冷凝处理。4.根据权利要求3所述的换热介质回收装置，其特征在于，所述冷凝器的吸热侧还设有调节阀，所述调节阀用于根据所述压缩机排气侧的第二温...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘紫阳，耿海东，董春辉，靳李富，胡文达，郑璐，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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