本发明专利技术公开了一种多线切割机张力控制装置(11)以及多线切割机(10)，该多线切割机张力控制装置(11)包括：伺服电机(4)；与伺服电机(4)可操作地连接的摆臂(6)；与摆臂(6)连接的张力传感器(1)；以及与张力传感器(1)连接的线轮(7)，线轮(7)上缠绕有切割线(9)，其中，伺服电机(4)配置为根据张力传感器(1)的反馈信号而转动以控制切割线(9)的张力。根据本发明专利技术的技术方案，至少能够通过张力传感器实时测量切割线的张力，通过闭环控制伺服电机的转动角度以控制切割线的张力，控制精准度高，并且控制维护方便、易于控制。易于控制。易于控制。
【技术实现步骤摘要】
一种多线切割机张力控制装置以及多线切割机
[0001]本专利技术涉及玻璃或半导体生产制造
，尤其涉及超硬材料切片加工的线切割机器的一种张力控制机械装置，即一种多线切割机张力控制装置以及多线切割机。
技术介绍
[0002]目前半导体行业的晶圆及蓝宝石、微晶玻璃半成品一般都是柱块形状，后续需要通过金刚石金属线切割成薄片后再加工成成品。完成这种切割加工的机器就是多线切割机，它可同时切割几十片甚至几百片，生产效率极高。金刚石金属线在切割半成品时，需要用张力控制机构完成切割线张力控制功能，使缠绕在切割滚筒上的切割线张力保持恒定，以便保证切割表面质量稳定。现有技术通常采用伺服电机的扭矩变化对张力进行控制。然而扭矩调节存在着不便于控制张力的大小且控制不精准等问题。
[0003]基于此，现有技术仍然有待改进。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术实施例提出一种多线切割机张力控制装置以及多线切割机。
[0005]一方面，本专利技术实施例所公开的一种多线切割机张力控制装置包括：伺服电机；与伺服电机可操作地连接的摆臂；与摆臂连接的张力传感器；以及与张力传感器连接的线轮，线轮上缠绕有切割线，其中，伺服电机配置为根据张力传感器的反馈信号而转动以控制切割线的张力。
[0006]在一些实施例中，张力传感器配置为实时检测切割线的运动方向上的张力，并且伺服电机配置为当张力传感器检测到张力大于第一阈值时沿第一方向偏转第一角度并且当张力传感器检测到张力小于第二阈值时沿第二方向偏转第二角度。
[0007]在一些实施例中，多线切割机张力控制装置进一步包括支承轴，支承轴的第一端与伺服电机连接，第二端与摆臂连接。
[0008]在一些实施例中，摆臂包括彼此呈角度设置的第一部分、第二部分和第三部分，其中，第二部分位于第一部分和第三部分之间，第一部分与支承轴的第二端连接，并且第三部分与张力传感器连接。
[0009]在一些实施例中，多线切割机张力控制装置进一步包括：电机座，电机座能够固定在多线切割机的机架上，伺服电机安装在电机座上，并且支承轴通过轴承套装在电机座内。
[0010]在一些实施例中，支承轴的第一端在电机座内通过联轴器与伺服电机连接。
[0011]在一些实施例中，线轮通过轴承安装在张力传感器的轴上并且能够在轴上自由转动。
[0012]在一些实施例中，多线切割机张力控制装置进一步包括轴盖，轴盖封盖住安装线轮的轴承。
[0013]在一些实施例中，多线切割机张力控制装置进一步包括至少一个限位柱，限位柱
能够固定在多线切割机的机架上并且邻近摆臂设置，以限制摆臂的摆动。
[0014]另一方面，本专利技术实施例所公开的一种多线切割机包括如前的多线切割机张力控制装置。
[0015]采用上述技术方案，本专利技术至少具有如下有益效果：通过本专利技术的技术方案，能够通过张力传感器实时测量切割线的张力，通过闭环控制伺服电机的转动角度以控制切割线的张力，控制精准度高，并且控制维护方便、易于控制。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本专利技术一实施例所公开的一种多线切割机张力控制装置的立体结构示意图；
[0018]图2为本专利技术一实施例所公开的多线切割机张力控制装置的侧视示意图；以及
[0019]图3为本专利技术一实施例所公开的多线切割机的示意图。
[0020]附图标记说明：
[0021]1、张力传感器；2、限位柱；3、电机座；4、伺服电机；5、支承轴；6、摆臂；61、第一部分；62、第二部分；63、第三部分；7、线轮；8、轴盖；9、切割线；10、多线切割机；11、多线切割机张力控制装置。
具体实施方式
[0022]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本专利技术实施例进一步详细说明。
[0023]需要说明的是，本专利技术实施例中所有使用“第一”和“第二”的表述均是为了区分两个相同名称非相同的实体或者非相同的参量，可见“第一”“第二”仅为了表述的方便，不应理解为对本专利技术实施例的限定，后续实施例对此不再一一说明。
[0024]如图1
‑
图2所示，本专利技术一些实施例公开了一种多线切割机张力控制装置11，其包括：伺服电机4；与伺服电机4可操作地连接的摆臂6；与摆臂6连接的张力传感器1；以及与张力传感器1连接的线轮7，线轮7上缠绕有切割线9，其中，伺服电机4配置为根据张力传感器1的反馈信号而转动以控制切割线9的张力。本专利技术通过利用张力传感器1反馈的信号控制的伺服电机4的转动来实现切割线9的张力控制，张力与伺服电机4的转动角度在一个动态变化之内达到平衡，实现高效、便于实施的张力控制，并且方便控制维护。
[0025]在一些实施例中，如图1和图2所示，多线切割机张力控制装置11可以包括张力传感器1、限位柱2、电机座3、伺服电机4、支承轴5、摆臂6、线轮7、轴盖8以及缠绕在线轮7上的切割线9。切割线9在图1中以双点划线表示，在多线切割机(例如，如图3中的多线切割机10)的其他部件(例如，图中未画出的收线和放线机构)的驱动控制下，线轮7连同其上的切割线9进行切割运动，直线箭头表示切割线9的运动方向，弧线箭头表示摆臂6摆动方向。电机座3可以固定在多线切割机(例如，如图3中的多线切割机10)的机架(图中未画出)上或其他固
定位置。伺服电机4安装在电机座3上。支承轴5通过轴承套装在电机座3内，支承轴5的第一端可以通过联轴器与伺服电机4相连，支承轴5的第二端与摆臂6连接。
[0026]在一些实施例中，摆臂6包括彼此呈角度设置的第一部分61、第二部分62和第三部分63，其中，第二部分62位于第一部分61和第三部分63之间，第一部分61与支承轴5的第二端连接，并且第三部分63与张力传感器1连接，即，张力传感器1固定在摆臂6的第三部分63上。张力传感器1的轴上通过轴承安装有线轮7，线轮7可在张力传感器1的轴上自由转动。此外，利用轴盖8封盖住安装线轮7的轴承。
[0027]在一些实施例中，张力传感器1可以与伺服电机4通信连接，并且向伺服电机4定期(例如，每10s或其他预定时间)或者实时反馈检测结果。张力传感器1的受力只有一个方向，在如图1所示的实施例中为水平方向，由此张力传感器1能实时检测水平方向的拉力大小。切割线9的拉力通过摆臂6作用于伺服电机4上，相应地，可以控制伺服电机4的转动来实现张力的控制，例如，伺服电机4沿第一方向(例如顺时针方向)或第二方向(例如逆时针方向)的转动可以通过支承轴5和摆臂6传递给线轮7，从而调节切割线9的张力。具体地，当张力传感器1检测到切割线9的张力变大时，例如当张力大于第一阈值时，张本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多线切割机张力控制装置(11)，其特征在于，包括：伺服电机(4)；与所述伺服电机(4)可操作地连接的摆臂(6)；与所述摆臂(6)连接的张力传感器(1)；以及与所述张力传感器(1)连接的线轮(7)，所述线轮(7)上缠绕有切割线(9)，其中，所述伺服电机(4)配置为根据所述张力传感器(1)的反馈信号而转动以控制所述切割线(9)的张力。2.根据权利要求1所述的多线切割机张力控制装置(11)，其特征在于，所述张力传感器(1)配置为实时检测所述切割线(9)的运动方向上的张力，并且所述伺服电机(4)配置为当所述张力传感器(1)检测到所述张力大于第一阈值时沿第一方向偏转第一角度并且当所述张力传感器(1)检测到所述张力小于第二阈值时沿第二方向偏转第二角度。3.根据权利要求1或2所述的多线切割机张力控制装置(11)，其特征在于，进一步包括支承轴(5)，所述支承轴(5)的第一端与所述伺服电机(4)连接，第二端与所述摆臂(6)连接。4.根据权利要求3所述的多线切割机张力控制装置(11)，其特征在于，所述摆臂(6)包括彼此呈角度设置的第一部分(61)、第二部分(62)和第三部分(63)，其中，所述第二部分(62)位于所述第一部分(61)和第三部分(63)之间，所述第一部分(61)与所述支承轴(5)的所述第二端连接，并...
【专利技术属性】
技术研发人员：李青，李赫然，廖民安，王耀君，王伟伟，王峰，
申请(专利权)人：北京行走千里科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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