一种多晶硅侧孔加工用专用夹具制造技术

本实用新型专利技术公布了一种多晶硅侧孔加工用专用夹具，包括直角工作台，所述直角工作台中部通过转动构件设有旋转盘，所述旋转盘设有底板；所述底板结合压盖与压杆进行晶环的固定，本实用新型专利技术的目的提供一种多晶硅侧孔加工用专用夹具，通过安装旋转盘，使其具有旋转定位加工功能，减少晶环加工过程中拆装次数，防止多次拆卸磕碰风险，同时整个装置的拆装方便简单。单。单。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅侧孔加工用专用夹具


[0001]本技术属于多晶硅加工用夹具
，具体为一种多晶硅侧孔加工用专用夹具。

技术介绍

[0002]多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅，目前晶体硅片广泛应用于微电子或太阳能电池领域，是硅料经直拉法或铸绽法制成单晶棒或多晶硅锭，在将多晶硅进行加工时需要通过夹具进行固定。
[0003]目前多晶硅零件加工，不同的产品零件要采用不同的治具来装夹进行特征成型加工从而获得所需的产品，因多晶硅零件特殊性硬度介于锗和石英之间，室温下质脆，切割时易碎裂；容易在加工过程中产生裂纹裂缝及破碎风险，现有夹具在进行晶环侧孔加工时需要进行多次拆装，来完成晶环不同侧面孔位加工需求

技术实现思路

[0004]本技术的目的是针对以上问题，提供一种多晶硅侧孔加工用专用夹具，通过安装旋转盘，使其具有旋转定位加工功能，减少晶环加工过程中拆装次数，防止多次拆卸磕碰风险，同时整个装置的拆装方便简单。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅侧孔加工用专用夹具，其特征在于，包括直角工作台（1），所述直角工作台（1）中部通过转动构件（2）设有旋转盘（3），所述旋转盘（3）设有底板（4）；所述底板（4）结合压盖（7）与压杆（8）进行晶环（6）的固定。2.根据权利要求1所述的一种多晶硅侧孔加工用专用夹具，其特征在于，所述直角工作台（1）安装面上设有定位孔（11），所述旋转盘（3）上设有凸耳（31），所述凸耳（31）上设有通孔，通过所述定位孔（11）与所述通孔结合插销对所述旋转盘（3）进行定位。3.根据权利要求1所述的一种多晶硅侧孔加工用专用夹具，其特征在于，所述晶环（6）与所述底板（4）之间设有垫片（5）。4.根据权利要求1所述的一种多晶硅侧孔加工用专用夹具，其特征在于，所述压杆（8）设于所述底板（4）的中心处，在所述压盖（7）的中心设有与所述压杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘鹏，马贺贺，谢诚，
申请(专利权)人：长沙华实半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：