一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法制造方法及图纸

技术编号:38346820 阅读:28 留言:0更新日期:2023-08-02 09:26
本发明专利技术的实施例提供了一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法,涉及划片机技术领域。该划片机真空气路过滤装置包括真空工作盘、过滤水箱、第一真空管路、第一真空发生器以及过滤塞,过滤水箱和真空工作盘连通,过滤水箱用于收集水汽,第一真空管路的一端和过滤水箱连通,第一真空发生器和第一真空管路的另一端连接,第一真空发生器用于对第一真空管路抽真空将过滤水箱中的水汽吸附进第一真空管路,过滤塞设置于过滤水箱,过滤塞和第一真空管路的端部连通,过滤塞的底部贯穿有导流槽,过滤塞用于对进入第一真空管路的水汽进行冷却使水汽液化,液化后的水通过导流槽倒流回过滤水箱。能有效提高排除真空气路中的水汽的效果,保证真空气路的稳定性。真空气路的稳定性。真空气路的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法


[0001]本专利技术涉及划片机
,具体而言,涉及一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法。

技术介绍

[0002]划片机在切割工件的过程中会进行喷水冷却和除废作业,由于工件与真空工作盘下料拆卸时,会存在一定缝隙导致水进入到真空气路中,少量水进入时,水会通过排气口排出,当进水量过大时,真空口可能会有水滴或者冰晶凝结,会出现真空不稳现象;如果真空气路中长期存水,通过真空反吹水后,水被反吹到各个支路中,会导致真空中的真空表等电子元件损坏,影响划片机生产。因此一般会在划片机上设置排水装置对真空气路中的水进行排除。
[0003]现有技术中的划片机的排水装置存在排水效果不佳的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供了一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法,其能够有效提高排除真空气路中的水汽的效果,进一步保证真空气路的稳定性,避免损坏电子元件从而影响划片机的生产作业。
[0005]本专利技术的实施例可以这样实现:本专利技术的实施例提供了一种划片机真空气路过滤装置,其包括:真空工作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种划片机真空气路过滤装置,其特征在于,包括:真空工作盘(10),所述真空工作盘(10)用于承载工件(101);过滤水箱(20),所述过滤水箱(20)和所述真空工作盘(10)连通,所述过滤水箱(20)用于收集进入所述真空工作盘(10)的水汽;第一真空管路(30),所述第一真空管路(30)的一端和所述过滤水箱(20)连通;第一真空发生器(40),所述第一真空发生器(40)和所述第一真空管路(30)的另一端连接,所述第一真空发生器(40)用于对所述第一真空管路(30)抽真空,从而将所述过滤水箱(20)中的水汽吸附进所述第一真空管路(30);过滤塞(50),所述过滤塞(50)沿X轴方向设置,所述过滤塞(50)设置于所述过滤水箱(20),且所述过滤塞(50)和所述第一真空管路(30)的端部连通,所述过滤塞(50)的底部贯穿有导流槽(102),所述导流槽(102)沿所述过滤塞(50)的长度方向设置,所述过滤塞(50)用于对进入所述第一真空管路(30)的水汽进行冷却,使得水汽液化,液化后的水通过所述导流槽(102)倒流回所述过滤水箱(20)。2.根据权利要求1所述的划片机真空气路过滤装置,其特征在于,所述过滤塞(50)的两端分别为进口端(51)和出口端(52),所述进口端(51)和所述过滤水箱(20)连通,所述出口端(52)和所述第一真空管路(30)的端部连通,所述进口端(51)的端面尺寸大于所述出口端(52)的端面尺寸,使得所述导流槽(102)倾斜设置,从而将流入所述导流槽(102)内的水倒流回所述过滤水箱(20)。3.根据权利要求2所述的划片机真空气路过滤装置,其特征在于,所述进口端(51)和所述出口端(52)均为圆形结构,所述进口端(51)的直径大于所述出口端(52)的直径。4.根据权利要求2所述的划片机真空气路过滤装置,其特征在于,所述过滤塞(50)包括冷却段(53)和连接段(54),所述冷却段(53)和所述连接段(54)连通,所述进口端(51)设置于所述冷却段(53),所述出口端(52)设置于所述连接段(54),所述连接段(54)和所述第一真空管路(30)的入口连通,所述冷却段(53)用于冷却进入所...

【专利技术属性】
技术研发人员:张明明余胡平石文牛子乐陈野徐双双
申请(专利权)人:沈阳和研科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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