【技术实现步骤摘要】
一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法
[0001]本专利技术涉及划片机
,具体而言,涉及一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法。
技术介绍
[0002]划片机在切割工件的过程中会进行喷水冷却和除废作业,由于工件与真空工作盘下料拆卸时,会存在一定缝隙导致水进入到真空气路中,少量水进入时,水会通过排气口排出,当进水量过大时,真空口可能会有水滴或者冰晶凝结,会出现真空不稳现象;如果真空气路中长期存水,通过真空反吹水后,水被反吹到各个支路中,会导致真空中的真空表等电子元件损坏,影响划片机生产。因此一般会在划片机上设置排水装置对真空气路中的水进行排除。
[0003]现有技术中的划片机的排水装置存在排水效果不佳的问题。
技术实现思路
[0004]本专利技术提供了一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法,其能够有效提高排除真空气路中的水汽的效果,进一步保证真空气路的稳定性,避免损坏电子元件从而影响划片机的生产作业。
[0005]本专利技术的实施例可以这样实现:本专利技术的实施例提供了一种划片机真空气路过滤装 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种划片机真空气路过滤装置,其特征在于,包括:真空工作盘(10),所述真空工作盘(10)用于承载工件(101);过滤水箱(20),所述过滤水箱(20)和所述真空工作盘(10)连通,所述过滤水箱(20)用于收集进入所述真空工作盘(10)的水汽;第一真空管路(30),所述第一真空管路(30)的一端和所述过滤水箱(20)连通;第一真空发生器(40),所述第一真空发生器(40)和所述第一真空管路(30)的另一端连接,所述第一真空发生器(40)用于对所述第一真空管路(30)抽真空,从而将所述过滤水箱(20)中的水汽吸附进所述第一真空管路(30);过滤塞(50),所述过滤塞(50)沿X轴方向设置,所述过滤塞(50)设置于所述过滤水箱(20),且所述过滤塞(50)和所述第一真空管路(30)的端部连通,所述过滤塞(50)的底部贯穿有导流槽(102),所述导流槽(102)沿所述过滤塞(50)的长度方向设置,所述过滤塞(50)用于对进入所述第一真空管路(30)的水汽进行冷却,使得水汽液化,液化后的水通过所述导流槽(102)倒流回所述过滤水箱(20)。2.根据权利要求1所述的划片机真空气路过滤装置,其特征在于,所述过滤塞(50)的两端分别为进口端(51)和出口端(52),所述进口端(51)和所述过滤水箱(20)连通,所述出口端(52)和所述第一真空管路(30)的端部连通,所述进口端(51)的端面尺寸大于所述出口端(52)的端面尺寸,使得所述导流槽(102)倾斜设置,从而将流入所述导流槽(102)内的水倒流回所述过滤水箱(20)。3.根据权利要求2所述的划片机真空气路过滤装置,其特征在于,所述进口端(51)和所述出口端(52)均为圆形结构,所述进口端(51)的直径大于所述出口端(52)的直径。4.根据权利要求2所述的划片机真空气路过滤装置,其特征在于,所述过滤塞(50)包括冷却段(53)和连接段(54),所述冷却段(53)和所述连接段(54)连通,所述进口端(51)设置于所述冷却段(53),所述出口端(52)设置于所述连接段(54),所述连接段(54)和所述第一真空管路(30)的入口连通,所述冷却段(53)用于冷却进入所...
【专利技术属性】
技术研发人员:张明明,余胡平,石文,牛子乐,陈野,徐双双,
申请(专利权)人:沈阳和研科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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