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本实用新型公布了一种多晶硅侧孔加工用专用夹具，包括直角工作台，所述直角工作台中部通过转动构件设有旋转盘，所述旋转盘设有底板；所述底板结合压盖与压杆进行晶环的固定，本实用新型的目的提供一种多晶硅侧孔加工用专用夹具，通过安装旋转盘，使其具有旋转...
该专利属于长沙华实半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙华实半导体有限公司授权不得商用。

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