降低干燥空气用量的涂布设备制造技术

本公开描述一种涂布设备，包括洁净箱、支承机构、供料机构、搬运机构、气流引导机构、以及送风机构，洁净箱包括箱体、进气口、出气口、进气阀、排气阀、以及门，支承机构和供料机构设置在容纳空间内，支承机构用于支承基板，供料机构将溶液引导至基板上，气流引导机构包括进气管道、排气管道、循环管道，进气管道和排气管道分别与容纳空间连通，循环管道连通进气管道和排气管道，送风机构配置为经进气口、进气管道向容纳空间内部提供干燥气体，容纳空间经排气管道、出气口与外部联通，进气阀用于调节进气口的进气速度，排气阀用于调节出气口的排气速度，进气口的进气速度不小于出气口的排气速度，搬运机构经由被打开的门将基板转移。搬运机构经由被打开的门将基板转移。搬运机构经由被打开的门将基板转移。

【技术实现步骤摘要】
降低干燥空气用量的涂布设备


[0001]本公开大体涉及一种降低干燥空气用量的涂布设备。

技术介绍

[0002]涂布设备是一种低成本的可以在基材的表面形成涂膜的设备，常用于芯片制造领域、显示屏制造领域、太阳能电池制造领域或锂电池制造领域。涂布设备通常采用狭缝涂膜、旋涂、刮涂的方式在基材表面涂覆一层湿膜，湿膜干燥后可以形成薄膜或涂层。
[0003]其中，某些薄膜或涂层需要在洁净低湿干燥的环境中制备才能具有较高的良品率。因此，如何提高涂布设备内部的干燥程度是一个需要解决的问题。
[0004]传统的解决方案为通过控湿设备对涂布设备空间内部进行换气，这样可以将涂布设备空间内部的湿润气体从涂布设备内部排除，并源源不断的向涂布设备内部补充干燥空气。上述换气方案可以保证涂布设备内部的湿润/干燥程度整体上处于动态平衡，但是换气量比较大，控湿设备运转耗电极大，生产成本较高。因此需要一种减少干燥空气用量的涂布设备。

技术实现思路

[0005]本公开是有鉴于上述现有技术的状况而提出的，其目的在于提供一种减少干燥空气用量的涂布设备。
[0006]为此，本公开提供一种降低干燥空气用量的涂布设备，包括洁净箱、支承机构、供料机构、搬运机构、气流引导机构、以及送风机构，所述洁净箱包括具有容纳空间的箱体、开设于所述箱体的进气口和出气口、设置于所述进气口的进气阀、设置于所述出气口的排气阀、以及可开闭的门，所述支承机构和所述供料机构设置在所述容纳空间内，所述支承机构用于支承所述基板，所述供料机构将溶液引导至所述基板上，所述气流引导机构包括进气管道、排气管道、循环管道，所述进气管道和所述排气管道分别与所述容纳空间连通，所述循环管道连通所述进气管道和所述排气管道，所述送风机构配置为经所述进气口、所述进气管道向所述容纳空间内部提供干燥气体，所述容纳空间经所述排气管道、所述出气口与外部联通，所述进气阀用于调节所述进气口的进气速度，所述排气阀用于调节所述出气口的排气速度，所述进气口的进气速度不小于所述出气口的排气速度，所述搬运机构经由被打开的门将所述基板转移到所述洁净箱的外部。
[0007]在本公开中，当基板放置在支承机构上时，供料机构在基板表面涂覆溶液形成湿膜，搬运机构将支承机构上的涂覆有湿膜的基板转移。在这个过程中，送风机构向洁净箱的提供干燥空气，以控制容纳空间内部的湿度。送风机构向容纳空间供给干燥空气的速度不小于排气速度，干燥空气经气流引导机构在涂布设备内部循环流动，由此容纳空间内部的气压整体上大于或等于涂布设备外部的环境气压，因此门暂时打开的时候，涂布设备外部的湿润空气不容易进入容纳空间。
[0008]另外，在本公开所涉及的涂布设备中，可选地，所述气流引导机构包括试剂含量控
制器，所述容纳空间的气体经过所述排气管道、所述循环管道、所述试剂含量控制器和所述进气管道循环后进入容纳空间。在这种情况下，容纳空间内部的尾气能够通过试剂含量控制器后循环利用。
[0009]另外，在本公开所涉及的涂布设备中，可选地，所述搬运机构具有承载所述基板的承载部，所述承载部可移动地设置于所述容纳空间。由此，承载部能够带动基板在容纳空间和洁净箱的外部之间移动。
[0010]另外，在本公开所涉及的涂布设备中，可选地，所述搬运机构包括设置于所述承载部附近的风幕机构，所述风幕机构配置为以风幕形式为位于所述承载部的基板提供干燥气流。由此，风幕机构可以在基板表面形成干燥的风幕，以减少在基板转移的过程中，湿膜与湿润空气接触的可能。
[0011]另外，在本公开所涉及的涂布设备中，可选地，所述搬运机构还包括设置于所述承载部附近的保护罩，所述保护罩与所述承载部形成用于容纳所述基板的扁平区域。由此，能够通过保护罩减低湿膜被湿润空气或空气中的杂质污染的可能性。
[0012]另外，在本公开所涉及的涂布设备中，可选地，所述支承机构包括多个顶针，所述顶针配置为可将所述基板顶起，且所述顶针将所述基板的顶起高度大于所述承载部的高度。在这种情况下，顶针能够将基板抬起，以使承载部能够移动到被顶起的基板的下方，进一步方便承载部承载基板。
[0013]另外，在本公开所涉及的涂布设备中，可选地，所述送风机构包括用于干燥气体的除湿机和为气体流动提供动力的风机。由此，送风机构能够用于干燥气体和为干燥气体流动提供动力。
[0014]另外，在本公开所涉及的涂布设备中，可选地，所述送风机构配置为向所述容纳空间内部提供干燥气体以使所述容纳空间内部的气压高于所述洁净箱外部的大气压。由此，当门打开时，涂布设备的外部的湿润空气难以进入到容纳空间。
[0015]另外，在本公开所涉及的涂布设备中，可选地，还包括设置于所述容纳空间内部的压力传感器。由此，能够监控容纳空间内部的气压。
[0016]根据本公开，能够提供一种减少干燥空气用量的涂布设备。
附图说明
[0017]现在将仅通过参考附图的例子进一步详细地解释本公开，其中：
[0018]图1是示出了本公开实施方式所涉及的涂布设备的示意图。
[0019]图2是示出了本公开实施方式所涉及的洁净箱的示意图。
[0020]图3是示出了本公开实施方式所涉及的供料机构在基板上涂敷溶液的示意图。
[0021]图4示出了本公开实施方式所涉及的承载部的示意图。
[0022]图5示出了本公开实施方式所涉及的支承机构的示意图。
[0023]图6A和图6B是示出了本公开实施方式所涉及承载部从支承机构上拾取基板的示意图。
具体实施方式
[0024]以下，参考附图，详细地说明本公开的优选实施方式。在下面的说明中，对于相同
的部件赋予相同的符号，省略重复的说明。另外，附图只是示意性的图，部件相互之间的尺寸的比例或者部件的形状等可以与实际的不同。
[0025]需要说明的是，本公开中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，例如所包括或所具有的一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可以包括或具有没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0026]另外，在本公开的下面描述中涉及的小标题等并不是为了限制本公开的内容或范围，其仅仅是作为阅读的提示作用。这样的小标题既不能理解为用于分割文章的内容，也不应将小标题下的内容仅仅限制在小标题的范围内。
[0027]本公开的实施方式涉及一种涂布设备。在一些示例中，涂布设备也可以被称为涂布机。本公开所涉及的涂布设备可以应用于芯片制造领域、显示屏制造领域、太阳能电池制造领域或锂电池制造领域。本公开涉及的涂布设备具有能够节省干燥空气用量等优点，尤其适用于在钙钛矿太阳能电池制备领域中，使用一次溶液法制备钙钛矿涂层。
[0028]在一些示例中，使用一次溶液法制备钙钛矿涂层可以包括以下步骤：在维持钙钛矿前驱体溶液所接触到所用物品水分含量极低，接触的空气湿度小于30％的情况下，通过使用高精密狭缝涂布设备将钙钛矿前驱体溶液本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种降低干燥空气用量的涂布设备，其特征在于，包括洁净箱、支承机构、供料机构、搬运机构、气流引导机构、以及送风机构，所述洁净箱包括具有容纳空间的箱体、开设于所述箱体的进气口和出气口、设置于所述进气口的进气阀、设置于所述出气口的排气阀、以及可开闭的门，所述支承机构和所述供料机构设置在所述容纳空间内，所述支承机构用于支承所述基板，所述供料机构将溶液引导至所述基板上，所述气流引导机构包括进气管道、排气管道、循环管道，所述进气管道和所述排气管道分别与所述容纳空间连通，所述循环管道连通所述进气管道和所述排气管道，所述送风机构配置为经所述进气口、所述进气管道向所述容纳空间内部提供干燥气体，所述容纳空间经所述排气管道、所述出气口与外部联通，所述进气阀用于调节所述进气口的进气速度，所述排气阀用于调节所述出气口的排气速度，所述进气口的进气速度不小于所述出气口的排气速度，所述搬运机构经由被打开的门将所述基板转移到所述洁净箱的外部。2.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于所述气流引导机构包括试剂含量控制器，所述容纳空间的气体经过所述排气管道、所述循环管道、所述试剂含量控制器和...

【专利技术属性】
技术研发人员：张恒，
申请(专利权)人：上海德沪涂膜设备有限公司，
类型：发明
国别省市：