母合金的制作方法、坩埚组件和单晶炉技术

本发明专利技术涉及一种母合金的制作方法，采用单晶炉制作，所述制作方法包括以下步骤：对加入掺杂剂的硅料进行加热；在硅料完全熔化为硅熔液后，冷却到预设温度使得所述硅熔液凝固为预制品；取出所述预制品，并将所述预制品放入容纳有常温液体的容纳槽中，使得所述预制品炸裂，以获得小块状的母合金。本发明专利技术还涉及一种坩埚组件和单晶炉。获得掺杂元素均匀的母合金，后期只需要测量小块试样标定后可根据重量进行掺杂，无需每次掺杂计算，简化了流程，而且掺杂精度更高，适合大批量生产使用，提高了生产效率。产效率。产效率。

【技术实现步骤摘要】
母合金的制作方法、坩埚组件和单晶炉


[0001]本专利技术涉及母合金产品制作
，尤其涉及一种母合金的制作方法、坩埚组件和单晶炉。

技术介绍

[0002]在拉晶过程中为了制备符合电阻率规格的晶棒，需要往硅溶液中掺入掺杂剂来调整电阻。通常根据晶棒电阻要求分为轻掺晶棒(电阻为10
‑
80欧姆)和重掺晶棒(电阻小于0.01欧姆)，重掺晶棒往硅溶液中掺杂的是纯硼(P型晶棒)或者红磷(N型晶棒)等纯掺杂剂，而轻掺晶棒需要掺杂母合金掺杂片(含硼或者磷的硅晶圆片)。
[0003]目前轻掺母合金片的制备方法为拉制一根重掺晶棒而后切成Block(块)，再切成片，整个流程复杂且周期很长，而且因为掺杂元素存在分凝现象，所以在晶棒轴向方法切割的每一片掺杂片电阻有差异，这就需要测量每一片掺杂片的电阻值，再进行计算掺杂，流程很复杂。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种母合金的制作方法、坩埚组件和单晶炉，解决母合金制作流程复杂，且通过拉制晶棒获得的多个母合金片电阻值不同导致后续掺杂过程复杂的问题。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种母合金的制作方法，采用单晶炉制作，其特征在于，所述制作方法包括以下步骤：对加入掺杂剂的硅料进行加热；在硅料完全熔化为硅熔液后，冷却到预设温度使得所述硅熔液凝固为预制品；取出所述预制品，并将所述预制品放入容纳有常温液体的容纳槽中，使得所述预制品炸裂，以获得小块状的母合金。2.根据权利要求1所述的母合金的制作方法，其特征在于，在硅料完全熔化为硅熔液后，冷却到预设温度使得所述硅熔液凝固为预制品，具体包括：在硅料完全熔化为硅熔液后，继续加热1
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2小时；冷却到预设温度使得所述硅熔液凝固为预制品，所述预设温度为400
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500度。3.根据权利要求1所述的母合金的制作方法，其特征在于，所述单晶炉包括坩埚组件，所述坩埚组件用于容纳所述硅熔液，对加入掺杂剂的硅料进行加热的步骤中，控制所述单晶炉中的坩埚组件处于旋转状态。4.一种坩埚组件，其特征在于，应用于单晶炉中，用于容纳硅熔液以制作权利要求1
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3任一项所述的母合金，所述坩埚组件包括相互独立的第一坩埚、第二坩埚和第三坩埚：所述第一坩埚具有用于容纳硅熔液的第一容纳腔；所述第二坩埚套设在所述第一坩埚的外部，且所述第二坩埚和所述第一坩埚之间具有间隙，以在所述第二坩埚和所述第一坩埚之间形成第二容纳腔；所述第三坩埚套设在所述第二坩埚的外部，用于支...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨文武，金珍根，梁万亮，
申请(专利权)人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：