微加速度与微角速率集成传感器制造方法技术

本发明专利技术公开了一种微加速度与微角速率集成传感器制造方法，采用气体 (如氩气、氮气、二氧化碳等气体)作为感知元件，在一个衬底上制备微加速 度传感器需要的温度传感器和加热器，该温度传感器和加热器悬空在衬底腔体 中，在另一个衬底上制备微角速率传感器需要的温度传感器，该温度传感器悬 空在衬底腔体中；采用键合工艺(如金硅键合工艺)将两衬底键合成一体，再 经划片、管芯分离、装架、键合引线、封装即可。本发明专利技术方法采用气体作为感 知元件代替固体活动质量块，将加速度传感器和角速率传感器集成在同一个结 构内，加工工艺简单、成本低，测量精度高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微加速度与微角速率集成传感器制造方法，其特征在于制造方法包括以下步骤：　采用气体作为感知元件，在一个衬底上制备微加速度传感器需要的温度传感器和加热器，该温度传感器和加热器悬空在衬底腔体中，在另一个衬底上制备微角速率传感器需要的温度 传感器，该温度传感器悬空在衬底腔体中；采用键合工艺将两衬底键合成一体，再经划片、管芯分离、装架、键合引线、封装即可。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吕树海，杨拥军，徐淑静，徐爱东，张旭辉，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：发明
国别省市：13