一种利用光栅检测技术进行加速度测量的装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种利用光栅检测技术进行加速度测量的新装置和新方法，属于传感检测领域。装置通过质量块１敏感加速度；质量块１的一端通过弹性梁７连接在锚点４上，另一端连接可动栅条２；可动栅条２与固定栅条５构成一个光栅副。工作时，入射光６照射到光栅副上，其出射光束３被分成不同的衍射级。在加速度作用下，质量块１带动可动栅条２产生一定位移ｘ，从而改变可动栅条２与固定栅条５之间的相对位置，导致出射光束３中不同衍射级次上的光强发生相应改变。因此，针对特定的衍射级次，根据其光强反推出输入的加速度信号。本发明专利技术提出的加速度测量的装置和方法，具有温漂低、抗电磁干扰性能强、灵敏度高等优点，适合工作于较恶劣的环境。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于传感检测领域，尤其涉及一种惯性测量技术和光栅检测技术。
技术介绍
目前，市面上大量使用的基于微机电系统(MEMS)技术的微加速度计主要采用电容式或压 阻式的检测机理。然而，压阻式受环境温度的影响较大，需要复杂的温度补偿电路来保证测 试结果的准确性；而电容式对环境的电磁干扰比较敏感，并且需要高灵敏度的电容检测电路。最近几年，光学检测方法开始在微加速度计领域得到应用，它具有低的温度漂移、优异 的抗电磁干扰性能、潜在的高灵敏度等优点，能够适应较恶劣的工作环境。其中，光栅检测 技术是一个重要的研究方向。2002年，Loh等人C7 Mfcrae/e"ramec/7. S，， /7"， 7W-M7)报导了一种利用光栅的相位调制技术进行加速度检测的新方法；2007年， Krishnamoorthy等人(rm"M wcers'07， 70-74 Jw"e 2007, Z^ow， Fra"ce， /7站)报导了一种 利用亚波长光栅的共振原理实现对加速度的检测。
技术实现思路
本专利技术提出一种利用光栅检测技术进行加速度测量的新装置和新方法。 参阅图1，本专利技术提出的利用光栅检测技术进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种利用光栅检测技术进行加速度测量的装置，该装置通过质量块（１）敏感加速度，其特征在于：所述的质量块（１）的一端通过弹性梁（７）连接在锚点（４）上，另一端连接着可动栅条（２）；可动栅条（２）与连接在锚点（４）上的固定栅条（５）构成一个光栅副。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓莹，乔大勇，燕斌，虞益挺，苑伟政，
申请(专利权)人：西北工业大学，
类型：发明
国别省市：87[中国|西安]