一种微纳米结构材料间的电互连方法技术

本发明专利技术涉及纳米技术领域，具体涉及一种微纳米结构材料间的电互连方法。本发明专利技术涉及一种基于空间电势诱导，实现微纳米结构材料间电互连的方法，该方法包括打开电子束，利用电子束和材料表面间的电势差，在材料表面产生低电势点，从而诱导材料表面的荷电原子流向该低电势点，固化为连线结构；控制电子束使连线结构在纳米结构材料间形成连接；本发明专利技术能有效克服现有电互连技术的局限性，为微纳结构的组装、复杂微纳系统及其集成等提供有效的电连接手段。杂微纳系统及其集成等提供有效的电连接手段。杂微纳系统及其集成等提供有效的电连接手段。

【技术实现步骤摘要】
一种微纳米结构材料间的电互连方法


[0001]本专利技术涉及纳米
，具体涉及一种微纳米结构材料间的电互连方法。

技术介绍

[0002]纳米结构材料的电互连是完成纳米结构单元组装、复杂纳米系统及其集成，实现多功能高效率微纳结构产品的基础。因而，纳米材料电连接问题已成为纳米科技领域的研究热点和学科前沿。纳米材料电连接的本质是两种或两种以上的纳米结构材料，其表面原子在外界环境的约束下相互结合并连接的过程；依据纳米结构材料的自身特性，开发了很多互连方法，如低温烧结互连法，利用纳米材料烧结温度远低于块体材料这一特点，在较低温度下把纳米材料烧结互连，表面原子扩散结合为界面，完成低温连接；冷焊互连法指只通过机械压力使纳米颗粒或纳米线等相互接触，通过压力驱动，并在接触界面毛细作用的约束下，表面原子快速扩散弛豫，从而实现冷焊互连；激光辐照法利用表面等离子激元的热效应，加热辐照区域的纳米材料，实现纳米结构材料的接触连接及融合；此外还有液相互连法，利用液相作为纳米材料表面原子的扩散媒介，从而在接触面间形成新的融合界面的生长。
[0003]然而，现有的纳本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微纳米结构材料间的电互连方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：将待连接的微纳米结构材料组合放入电子束真空室；打开电子束，控制电子束焦点位于待连接的微纳米结构材料连接点附近空间，使待连接的微纳米结构材料组合中的一种材料的表面产生低电势点；通过电势能差及表面毛细作用，使荷电原子或原子团流向低电势点；控制电子束，使流向低电势点的荷电原子或原子团固化稳定，形成微纳米级的连线，并向纳米结构材料组合中的另一种材料方向生长，直至微纳米级的连线与所述另一种材料形成接触。2.根据权利要求1所述的一种微纳米结构材料间的电互连方法，其特征在于，微纳米结构材料组合由至少两种材料构成，其中，至少有一种材料具有微纳米结构。3.根据权利要求1所述的一种微纳米结构材料间的电互连方法，其特征在于，微纳米结构材料为：导体或者半导体。4.根据权利要求1所述的一种微纳米结构材料间的电互连...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨光红，贾彩虹，王永强，周少敏，
申请(专利权)人：河南大学，
类型：发明
国别省市：