镀膜真空室的滤光片载具制造技术

本实用新型专利技术提供镀膜真空室的滤光片载具，涉及滤光片镀膜技术领域。该镀膜真空室的滤光片载具，包括镀膜机装置，所述镀膜机装置内部安装有镀膜真空室，所述镀膜真空室外侧铰接有密封板，所述镀膜真空室内部设有转动杆，所述转动杆贯穿镀膜真空室并与密封板转动连接，所述转动杆外侧固定连接有多个连接板，多个所述连接板外侧均设有多个定位框，该镀膜真空室的滤光片载具，在转动轴底部固定连接有传动齿轮，通过传动齿轮与内齿圈啮合，使连接板进行转动时，通过传动齿轮与内齿圈啮合使转动轴进行自转，使转动轴固定连接的定位框进行转动，进而使定位框上的滤光片基片镀膜均匀。进而使定位框上的滤光片基片镀膜均匀。进而使定位框上的滤光片基片镀膜均匀。

【技术实现步骤摘要】
镀膜真空室的滤光片载具


[0001]本技术涉及一种滤光片载具，具体为镀膜真空室的滤光片载具，属于滤光片镀膜


技术介绍

[0002]对于滤光片的镀膜工艺，通常采用物相蒸发沉积镀膜、磁控溅射镀膜以及离子镀，其中磁控溅射镀膜工艺因其镀膜效率高、镀膜粒子附着强度高而被广泛采用。磁控溅射属于辉光放电范畴，利用阴极溅射原理进行镀膜，膜层粒子来源于辉光放电中，氩离子对阴极靶材产生的阴极溅射作用。氩离子将靶材原子溅射下来后，沉积到元件表面形成所需膜层。
[0003]现公开了专利号为：CN216550161U的一种红外截止滤光片生产用镀膜装置，包括镀膜箱，镀膜箱顶部设置有电机，电机输出端连接有伞罩，伞罩表面装载有多个滤光片；伞罩下方的镀膜箱内壁连接有作业平台，作业平台表面连接有送料机构与作业平台下方的蒸发机构配合。该装置解决了现有技术需要手动更换膜料，需要反复开门造成多次除尘和抽真空，作业效率较低的问题，具有可自动更换膜料，避免频繁开门，有效提升了作业效率的特点。
[0004]上述方案存在诸多益处，但对于滤光片基片的放置直接铺设在伞罩上，需要特定和滤片和伞罩进行配合，当滤光片基片尺寸不同时，对于则无法进行适配，并且对于滤光片基片进行转动时，无法进行均匀的转动。

技术实现思路

[0005](一)解决的技术问题
[0006]本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供镀膜真空室的滤光片载具，以解决现有技术中但对于滤光片基片的放置直接铺设在伞罩上，需要特定和滤片和伞罩进行配合，当滤光片基片尺寸不同时，对于则无法进行适配，并且对于滤光片基片进行转动时，无法进行均匀的转动的问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：镀膜真空室的滤光片载具，包括镀膜机装置，所述镀膜机装置内部安装有镀膜真空室，所述镀膜真空室外侧铰接有密封板，所述镀膜真空室内部设有转动杆，所述转动杆贯穿镀膜真空室并与密封板转动连接，所述转动杆外侧固定连接有多个连接板，多个所述连接板外侧均设有多个定位框，多个所述定位框内部均设有夹持组件，多个所述定位框均与镀膜真空室之间设有传动组件。
[0009]优选的，多个传动组件包括多个转动轴，多个所述转动轴分别固定连接于多个定位框底部，多个所述转动轴均贯穿连接板并与连接板啮合连接。
[0010]优选的，所述传动组件还包括多个内齿圈，多个所述内齿圈外侧固定连接有固定板，所述固定板与镀膜真空室内壁固定连接，连接板最外侧的多个传动齿轮均与内齿圈啮合连接。
[0011]优选的，相互靠近的两个传动齿轮相互啮合连接，靠近的定位框进行转动。
[0012]优选的，所述夹持组件包括多个夹持板，多个所述夹持板绕定位框环形分布于定位框内部，多个所述夹持板均与定位框之间固定连接有伸缩杆。
[0013]优选的，所述夹持组件还包括多个弹簧，多个所述弹簧均套设于多个伸缩杆外侧，所述弹簧两端分别与夹持板和定位框固定连接，有利于通过弹簧推动夹持板，使夹持板对滤光基片夹持固定。
[0014]优选的，所述定位框顶部边缘开设有多个取件槽，有利于对滤光基片进行取出。
[0015]优选的，所述镀膜真空室顶部固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端与转动杆固定连接。
[0016]本技术提供了镀膜真空室的滤光片载具，其具备的有益效果如下：
[0017]1、该镀膜真空室的滤光片载具，放置于镀膜真空室内部的定位框上，由于定位框内部设置有夹持组件，通过多个夹持板与定位框之间的弹簧，使弹簧推动夹持板，使夹持板对滤光片基片夹持，使其保持稳定，并且在定位框顶部边缘开设有多个取件槽，当后期人员进行取件时，可以通过取件槽将滤光片基片从定位框中取出，便于滤光片基片的放置和取件。
[0018]2、该镀膜真空室的滤光片载具，在转动轴底部固定连接有传动齿轮，通过传动齿轮与内齿圈啮合，使连接板进行转动时，通过传动齿轮与内齿圈啮合使转动轴进行自转，使转动轴固定连接的定位框进行转动，进而使定位框上的滤光片基片镀膜均匀。
附图说明
[0019]图1为本技术的整体结构示意图；
[0020]图2为本技术的镀膜真空室结构示意图；
[0021]图3为本技术连接板结构示意图；
[0022]图4为本技术夹持组件结构示意图。
[0023]图中：1、镀膜机装置；2、镀膜真空室；3、密封板；4、转动杆；5、连接板；6、定位框；7、转动轴；8、传动齿轮；9、弹簧；10、伸缩杆；11、夹持板；12、内齿圈；13、固定板；14、取件槽；15、伺服电机。
具体实施方式
[0024]本技术实施例提供镀膜真空室的滤光片载具。
[0025]请参阅图1、图2、图3和图4，包括镀膜机装置1，镀膜机装置1内部安装有镀膜真空室2，镀膜真空室2外侧铰接有密封板3，镀膜真空室2内部设有转动杆4，转动杆4贯穿镀膜真空室2并与密封板3转动连接，转动杆4外侧固定连接有多个连接板5，多个连接板5外侧均设有多个定位框6，多个定位框6内部均设有夹持组件，多个定位框6均与镀膜真空室2之间设有传动组件。
[0026]夹持组件包括多个夹持板11，多个夹持板11绕定位框6环形分布于定位框6内部，多个夹持板11均与定位框6之间固定连接有伸缩杆10，夹持组件还包括多个弹簧9，多个弹簧9均套设于多个伸缩杆10外侧，弹簧9两端分别与夹持板11和定位框6固定连接，有利于通过弹簧9推动夹持板11，使夹持板11对滤光基片夹持固定。
[0027]定位框6顶部边缘开设有多个取件槽14，有利于对滤光基片进行取出。
[0028]具体的，首先将滤光片基片用干净的布片和有机溶剂进行清洁处理，通过打开密封板3，操作人员再将滤光片基片，放置于镀膜真空室2内部的定位框6上，由于定位框6内部设置有夹持组件，通过多个夹持板11与定位框6之间的弹簧9，使弹簧9推动夹持板11，使夹持板11对滤光片基片夹持，使其保持稳定，并且在定位框6顶部边缘开设有多个取件槽14，当后期人员进行取件时，可以通过取件槽14将滤光片基片从定位框6中取出，便于滤光片基片的放置和取件。
[0029]请再次参阅图1、图2、图3和图4，多个传动组件包括多个转动轴7，多个转动轴7分别固定连接于多个定位框6底部，多个转动轴7均贯穿连接板5并与连接板5啮合连接，传动组件还包括多个内齿圈12，多个内齿圈12外侧固定连接有固定板13，固定板13与镀膜真空室2内壁固定连接，连接板5最外侧的多个传动齿轮8均与内齿圈12啮合连接。相互靠近的两个传动齿轮8相互啮合连接，靠近的定位框6进行转动。镀膜真空室2顶部固定连接有伺服电机15，伺服电机15的输出端与转动杆4固定连接。
[0030]具体的，现有的镀膜的操作过程：将镀膜真空室2放气后，用采用现有的吸尘器清理镀膜真空室2内部，在镀膜真空室2内部填装待蒸发膜料，记录下各个舟的膜料名称。再对镀膜真空室2进行抽真空。当真本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.镀膜真空室的滤光片载具，包括镀膜机装置(1)，所述镀膜机装置(1)内部安装有镀膜真空室(2)，所述镀膜真空室(2)外侧铰接有密封板(3)，其特征在于：所述镀膜真空室(2)内部设有转动杆(4)，所述转动杆(4)贯穿镀膜真空室(2)并与密封板(3)转动连接，所述转动杆(4)外侧固定连接有多个连接板(5)，多个所述连接板(5)外侧均设有多个定位框(6)，多个所述定位框(6)内部均设有夹持组件，多个所述定位框(6)均与镀膜真空室(2)之间设有传动组件。2.根据权利要求1所述的镀膜真空室的滤光片载具，其特征在于：多个传动组件包括多个转动轴(7)，多个所述转动轴(7)分别固定连接于多个定位框(6)底部，多个所述转动轴(7)均贯穿连接板(5)并与连接板(5)啮合连接。3.根据权利要求2所述的镀膜真空室的滤光片载具，其特征在于：所述传动组件还包括多个内齿圈(12)，多个所述内齿圈(12)外侧固定连接有固定板(13)，所述固定板(13)与镀膜真空室(2)内壁固定连接，连接板(5)...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭芳伟，
申请(专利权)人：徐州联超光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：