载板及真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，提供一种载板及真空镀膜装置，其中载板包括托架，具有多个用于承载基片的凹槽；支撑梁组件，设置于托架的外周侧；托架的每侧设置有至少一个定位块和至少一个辅助块，支撑梁组件的每侧设置有至少一个第一定位孔和至少一个第一辅助孔；且定位块和第一定位孔一一对应过盈配合，辅助块和第一辅助孔一一对应间隙配合。本实用新型专利技术提供的载板及真空镀膜装置，通过定位块与第一定位孔一一对应过盈配合，辅助块与第一辅助孔一一对应间隙配合，既能保证托架在支撑梁组件内保持稳定，减少变形，而且还可保证整个托架在受热后可得到有效的延伸，极大地减少了热膨胀所引起的变形，提升了镀膜质量。提升了镀膜质量。提升了镀膜质量。

【技术实现步骤摘要】
载板及真空镀膜装置


[0001]本技术涉及真空镀膜
，尤其涉及一种载板及真空镀膜装置。

技术介绍

[0002]HJT(异质结电池)是在晶体硅上沉积非晶硅薄膜，综合了晶体硅电池与薄膜电池的优势，具有转换效率高、工艺温度低、稳定性高、衰减率低、双面发电等优点。PVD(物理气相沉积)是指在真空条件下采用物理方法将材料源表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术，物理气相沉积是主要的表面处理技术之一。双面镀膜方式也是异质结电池PVD工艺的主要技术，在PVD工艺中，载板为PVD设备中关键部件之一，其结构设计和布局至关重要，直接会影响镀膜效率以及电池片的转换效率和良品率。
[0003]目前，现有技术中用于PVD镀膜设备的载板通常设置成框架和托架(平面板、子载板)组合的方式，使用材料多为不锈钢，框架与托架之间通过螺栓连接固定，但是，当载板在腔体内受热时，此连接方式很容易导致托架受热膨胀，而四周得不到有效地自由延伸而发生局部变形，极大地影响了镀膜质量，影响了良品率。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种载板及真空镀膜装置，用以解决现有技术中载板在受热时容易发生变形，导致影响镀膜质量的缺陷。
[0005]本技术提供一种载板，包括：
[0006]托架，具有多个用于承载基片的凹槽，且所述托架呈方形；
[0007]支撑梁组件，设置于所述托架的外周侧；
[0008]所述托架的每侧设置有至少一个定位块和至少一个辅助块，所述支撑梁组件的每侧设置有至少一个第一定位孔和至少一个第一辅助孔；且所述定位块和所述第一定位孔一一对应过盈配合，所述辅助块和所述第一辅助孔一一对应间隙配合。
[0009]根据本技术提供的一种载板，所述托架具有多个，且相邻所述托架之间设置有中间梁，所述中间梁两侧均设置有至少一个第二定位孔和至少一个第二辅助孔，且所述定位块与所述第二定位孔一一对应过盈配合，所述辅助块与所述第二辅助孔一一对应间隙配合。
[0010]根据本技术提供的一种载板，所述支撑梁组件与所述托架的边缘之间还具有热膨胀间隙。
[0011]根据本技术提供的一种载板，所述支撑梁组件包括：
[0012]一对横梁，相对设置于所述托架的两侧；
[0013]一对纵梁，相对设置于所述托架的另外两侧；
[0014]所述横梁和所述纵梁其中一者的端部设置有安装接头，另一者的端部设置有安装接头孔，所述安装接头与所述安装接头孔对应适配过盈配合。
[0015]根据本技术提供的一种载板，还包括ID条，所述ID条设置于所述横梁远离所述托架的一侧。
[0016]根据本技术提供的一种载板，还包括连接件和第一紧固件，所述纵梁和所述托架上还分别设置有固定孔和通孔，所述连接件为“匚”型，其一端与所述纵梁抵接，另一端贯穿所述通孔并与所述纵梁抵接；所述第一紧固件贯穿所述连接件和所述固定孔，并与所述纵梁固定连接。
[0017]根据本技术的提供的一种载板，所述固定孔具有两个，且分布与所述第一定位孔的两侧。
[0018]根据本技术提供的一种载板，还包括第二紧固件，所述纵梁和所述横梁的端部均设置有螺纹孔，所述第二紧固件贯穿所述螺纹孔以固定所述横梁和所述纵梁。
[0019]根据本技术提供的一种载板，所述凹槽的外侧边缘设置有阶梯结构，所述阶梯结构的底层为硅片放置面，所述凹槽的拐角处设置有双斜面结构。
[0020]本技术还提供一种真空镀膜装置，包括如上所述的载板。
[0021]本技术提供的载板，通过托架上设置的凹槽承载基片，托架呈方形，支撑梁组件设置于托架的外周侧；托架的每侧设置有至少一个定位块和至少一个辅助块，支撑梁组件的每侧设置有至少一个第一定位孔和至少一个第一辅助孔，定位块与第一定位孔一一对应过盈配合，保证托架在支撑梁组件内保持稳定，减少变形；辅助块与第一辅助孔一一对应间隙配合，可保证整个托架在受热后可得到有效的延伸，极大地减少了热膨胀所引起的变形，提升了镀膜质量。
[0022]本技术提供的真空镀膜装置，由于包括如上所述的载板，因此具备如上所述的各种优势。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1是本技术提供的一个实施例中载板的整体结构示意图；
[0025]图2是本技术提供的一个实施例中托架与支撑梁组件装配图；
[0026]图3是本技术提供的图2中A处的放大示意图；
[0027]图4是本技术提供的定位块和第一定位孔的过盈配合示意图；
[0028]图5是本技术提供的辅助块和第一辅助孔的间隙配合示意图；
[0029]图6是本技术提供的图2中B处的结构放大示意图；
[0030]图7是本技术提供的托架、横梁和纵梁的局部放大示意图；
[0031]图8是本技术提供的托架、纵梁和带有ID条的横梁的局部放大示意图；
[0032]图9是本技术提供的一个实施例中第一紧固件的局部放大图；
[0033]图10是本技术提供的一个实施例中托架的截面图；
[0034]附图标记：
[0035]1、托架；101、定位块；102、辅助块；103、阶梯结构；104、硅片放置面；105、双斜面结
构；106、通孔；
[0036]2、支撑梁组件；201、第一定位孔；202、第一辅助孔；203、安装接头；204、安装接头孔；205、固定孔；206、螺纹孔；21、横梁；22、纵梁；
[0037]3、中间梁；301、第二定位孔；302、第二辅助孔；
[0038]4、热膨胀间隙；
[0039]5、ID条；
[0040]6、连接件；
[0041]7、第一紧固件；
[0042]8、第二紧固件。
具体实施方式
[0043]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术中的附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0044]在本技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种载板，其特征在于，包括：托架(1)，具有多个用于承载基片的凹槽，且所述托架(1)呈方形；支撑梁组件(2)，设置于所述托架(1)的外周侧；所述托架(1)的每侧设置有至少一个定位块(101)和至少一个辅助块(102)，所述支撑梁组件(2)的每侧设置有至少一个第一定位孔(201)和至少一个第一辅助孔(202)；且所述定位块(101)和所述第一定位孔(201)一一对应过盈配合，所述辅助块(102)和所述第一辅助孔(202)一一对应间隙配合。2.根据权利要求1所述的载板，其特征在于，所述托架(1)具有多个，且相邻所述托架(1)之间设置有中间梁(3)，所述中间梁(3)两侧均设置有至少一个第二定位孔(301)和至少一个第二辅助孔(302)，且所述定位块(101)与所述第二定位孔(301)一一对应过盈配合，所述辅助块(102)与所述第二辅助孔(302)一一对应间隙配合。3.根据权利要求1所述的载板，其特征在于，所述支撑梁组件(2)与所述托架(1)的边缘之间还具有热膨胀间隙(4)。4.根据权利要求1所述的载板，其特征在于，所述支撑梁组件(2)包括：一对横梁(21)，相对设置于所述托架(1)的两侧；一对纵梁(22)，相对设置于所述托架(1)的另外两侧；所述横梁(21)和所述纵梁(22)其中一者的端部设置有安装接头(203)，另一者的端部设置有安装接头孔(204)，所述安装接头(203)与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖长彬，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：三一硅能株洲有限公司，
类型：新型
国别省市：