公自转转架装置及真空镀膜机制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种公自转转架装置及真空镀膜机，涉及真空处理技术领域。该公自转转架装置包括自转轴、公转轴、公转盘和自转子轴，自转轴穿设于公转轴内且能相对公转轴转动，公转轴通过公转驱动件驱动，公转盘设于公转轴的端部；自转子轴设置有多个，多个自转子轴间隔布设于公转盘的周向；自转轴远离公转盘的一端与自转驱动件连接，另一端伸入公转盘内部，并通过传动机构与多个自转子轴连接，自转子轴与公转盘外部的工件架连接，公转盘包括第一护板和安装架，公转轴设于第一护板的中心，公转盘内设有容纳腔，传动机构位于容纳腔内。该公自转转架装置产生的颗粒少，密封性好，避免颗粒影响外部环境。免颗粒影响外部环境。免颗粒影响外部环境。

【技术实现步骤摘要】
公自转转架装置及真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空处理
，尤其涉及一种公自转转架装置及真空镀膜机。

技术介绍

[0002]在真空镀膜、刻蚀等真空处理
，往往通过公自转形式来提高真空处理的均匀性。在公自转真空处理系统中，通常将基板或晶片等待处理工件装载在设置于真空处理室的公自转工件架上来进行真空处理。
[0003]现有技术中，公自转机构一般采用多级齿轮机构。机械类齿轮一般是接触式啮合，齿轮之间相对运动时会产生摩擦并形成颗粒。在一些对真空处理质量要求较高的场合，这些颗粒是影响产品良率的重要不利因素。现有技术中公自转机构的公转和自转通常通过一个驱动件共同驱动。此时，公自转机构往往需要在自转工件架的周向设置齿形结构，并设置与公转轴同轴的固定齿轮，通过多级齿轮连接自转工件架和固定齿轮以实现自转工件架自转。这种结构的公自转机构齿轮啮合结构多，产生的颗粒多；而且与公转轴同轴设置的固定齿轮无法与公转盘固定，导致公转盘与公转轴之间无法实现有效密封，进而公转盘内部的齿轮摩擦产生的颗粒容易进入真空镀膜室，影响真空镀膜的质量。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提出一种公自转转架装置及真空镀膜机，该公自转转架装置产生的颗粒少，且公转盘内部产生的颗粒不易进入真空镀膜室，提高了应用该公自转转架装置的真空镀膜机的镀膜质量。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]公自转转架装置，包括自转轴、公转轴、公转盘和自转子轴，所述自转轴穿设于所述公转轴内且能相对所述公转轴转动，所述公转轴通过公转驱动件驱动，所述公转盘设于所述公转轴的端部；所述自转子轴设置有多个，多个所述自转子轴间隔布设于所述公转盘的周向；所述自转轴远离公转盘的一端与自转驱动件连接，另一端伸入所述公转盘内部，并通过传动机构与多个所述自转子轴连接，所述自转子轴与所述公转盘外部的工件架连接；
[0007]所述公转盘包括第一护板和安装架，所述公转轴设于所述第一护板的中心，所述安装架与所述第一护板连接，所述公转盘内设有容纳腔，所述传动机构位于所述容纳腔内。
[0008]作为公自转转架装置的一个可选方案，所述传动机构包括太阳齿轮、多个行星齿轮和多个第一带轮组件，所述太阳齿轮与所述自转轴连接，多个所述行星齿轮均与所述太阳齿轮啮合传动，每个所述行星齿轮对应连接一个所述第一带轮组件，多个所述第一带轮组件与多个所述自转子轴一一对应连接，所述自转子轴与工件架连接。
[0009]作为公自转转架装置的一个可选方案，所述容纳腔包括第一容纳腔和第二容纳腔，所述安装架的中心设置有连通孔，所述安装架靠近所述第一护板的一侧设置有环形槽，所述环形槽与所述第一护板之间形成所述第一容纳腔；
[0010]所述安装架和所述第一护板均与所述公转轴连接，所述公转盘还包括第二护板，所述第二护板设于所述安装架远离所述第一护板的一侧，所述第二护板与所述安装架和所述公转轴的端部之间形成所述第二容纳腔；
[0011]多个所述第一带轮组件和多个所述自转子轴均安装于所述安装架，且位于所述第一容纳腔内；所述安装架的周向设置有多个伸出孔，多个所述伸出孔与多个所述自转子轴一一对应设置，每个所述自转子轴穿过与其对应的所述伸出孔和所述工件架连接；
[0012]所述太阳齿轮和多个所述行星齿轮均设于所述第二容纳腔内，所述自转轴通过所述连通孔伸入所述第二容纳腔与所述太阳齿轮连接，所述行星齿轮与所述第一容纳腔内的所述第一带轮组件连接。
[0013]作为公自转转架装置的一个可选方案，所述伸出孔远离所述第一护板的一侧设置有防护件。
[0014]作为公自转转架装置的一个可选方案，所述第一带轮组件包括第一主动带轮、第一皮带和第一从动带轮，所述第一主动带轮与所述行星齿轮连接，所述第一从动带轮与所述自转子轴连接，所述第一皮带用于连接所述第一主动带轮和所述第一从动带轮。
[0015]作为公自转转架装置的一个可选方案，所述伸出孔内设置有第一轴承座，所述第一轴承座内设置有第一轴承，所述自转子轴与所述第一轴承配合，所述第一轴承与所述自转子轴之间设置有轴承盖，所述防护件套设于所述轴承盖的外周，且所述防护件与第一轴承座固定连接。
[0016]作为公自转转架装置的一个可选方案，所述第一从动带轮的中心孔远离所述工件架的一端设置有防尘盖，所述自转子轴的一端与所述防尘盖连接，另一端穿过所述伸出孔和防护件与所述工件架连接。
[0017]作为公自转转架装置的一个可选方案，所述第一轴承座的外周与所述第一从动带轮的中心孔之间设有第一间隙，所述第一轴承座远离所述安装架的一端与所述防尘盖之间设有第二间隙，所述第一轴承座与所述自转子轴之间设有第三间隙；
[0018]所述防护件靠近所述第一轴承的一侧设有第一迷宫圈和第二迷宫圈，所述第一迷宫圈与所述轴承盖的外壁间隙配合，所述第二迷宫圈与所述第一轴承座的内壁配合，所述第一迷宫圈和所述第二迷宫圈之间形成集尘腔，所述第一容纳腔内的颗粒能通过所述第一间隙、所述第二间隙和所述第三间隙经所述第一轴承集聚至所述集尘腔。
[0019]作为公自转转架装置的一个可选方案，所述公转盘还包括第二护板，所述第二护板设于所述安装架远离所述第一护板的一侧，所述第二护板与所述安装架和所述公转轴的端部之间形成所述第二容纳腔。
[0020]作为公自转转架装置的一个可选方案，所述公转盘还包括第三护板，所述第三护板位于所述第二护板远离所述安装架的一侧，所述第三护板与所述第二护板或所述安装架连接，且罩设于多个所述工件架上。
[0021]作为公自转转架装置的一个可选方案，所述公自转转架装置还包括第一磁流体，所述第一磁流体固定于所述公转轴远离所述公转盘的一端，所述自转轴穿过所述第一磁流体的中心孔与所述自转驱动件连接，所述自转轴能相对所述第一磁流体转动。
[0022]作为公自转转架装置的一个可选方案，所述公转轴靠近所述公转盘的一端设置有第二轴承座，所述第二轴承座内设置有第二轴承，所述第二轴承与所述自转轴配合，以使所
述自转轴能相对所述公转轴转动。
[0023]真空镀膜机，其包括真空镀膜室和如以上任一方案所述的公自转转架装置，所述公转轴通过第二磁流体与所述真空镀膜室连接，所述公转轴能相对所述第二磁流体转动。
[0024]本技术的有益效果：
[0025]本技术提供的公自转转架装置，通过将自转轴穿设于公转轴内且能相对公转轴转动，公转盘设于公转轴的端部，公转驱动件驱动公转轴带动公转盘转动。公转盘的周向间隔布设有多个自转子轴，自转轴的一端与自转驱动件连接，另一端伸入公转盘内部通过传动机构与多个自转子轴连接，自转子轴与公转盘外部的工件架连接，自转驱动件驱动自转轴转动，自转轴能同时带动多个自转子轴转动，从而使得工件架既能随公转盘公转，又能随自转子轴自转。公转轴和自转轴分别通过不同的驱动件驱动，减少了齿轮传动结构的设置，从而减少了因齿轮啮合摩擦产生的颗粒。而且，公转盘包括第一护板和安装架，公转盘设于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.公自转转架装置，其特征在于，包括自转轴(1)、公转轴(2)、公转盘(3)和自转子轴(4)，所述自转轴(1)穿设于所述公转轴(2)内且能相对所述公转轴(2)转动，所述公转轴(2)通过公转驱动件(51)驱动，所述公转盘(3)设于所述公转轴(2)的端部；所述自转子轴(4)设置有多个，多个所述自转子轴(4)间隔布设于所述公转盘(3)的周向；所述自转轴(1)远离公转盘(3)的一端与自转驱动件(61)连接，另一端伸入所述公转盘(3)内部，并通过传动机构(7)与多个所述自转子轴(4)连接，所述自转子轴(4)与所述公转盘(3)外部的工件架(9)连接；所述公转盘(3)包括第一护板(31)和安装架(32)，所述公转轴(2)设于所述第一护板(31)的中心，所述安装架(32)与所述第一护板(31)连接，所述公转盘(3)内设有容纳腔，所述传动机构(7)位于所述容纳腔内。2.根据权利要求1所述的公自转转架装置，其特征在于，所述传动机构(7)包括太阳齿轮(71)、多个行星齿轮(72)和多个第一带轮组件(73)，所述太阳齿轮(71)与所述自转轴(1)连接，多个所述行星齿轮(72)均与所述太阳齿轮(71)啮合传动，每个所述行星齿轮(72)对应连接一个所述第一带轮组件(73)，多个所述第一带轮组件(73)与多个所述自转子轴(4)一一对应连接，所述自转子轴(4)与所述工件架(9)连接。3.根据权利要求2所述的公自转转架装置，其特征在于，所述容纳腔包括第一容纳腔和第二容纳腔，所述安装架(32)的中心设置有连通孔(324)，所述安装架(32)靠近所述第一护板(31)的一侧设置有环形槽(325)，所述环形槽(325)与所述第一护板(31)之间形成所述第一容纳腔；所述安装架(32)和所述第一护板(31)均与所述公转轴(2)连接，所述公转盘(3)还包括第二护板(33)，所述第二护板(33)设于所述安装架(32)远离所述第一护板(31)的一侧，所述第二护板(33)与所述安装架(32)和所述公转轴(2)的端部之间形成所述第二容纳腔；多个所述第一带轮组件(73)和多个所述自转子轴(4)均安装于所述安装架(32)，且位于所述第一容纳腔内；所述安装架(32)的周向设置有多个伸出孔，多个所述伸出孔与多个所述自转子轴(4)一一对应设置，每个所述自转子轴(4)穿过与其对应的所述伸出孔和所述工件架(9)连接；所述太阳齿轮(71)和多个所述行星齿轮(72)均设于所述第二容纳腔内，所述自转轴(1)通过所述连通孔(324)伸入所述第二容纳腔与所述太阳齿轮(71)连接，所述行星齿轮(72)与所述第一容纳腔内的所述第一带轮组件(73)连接。4.根据权利要求3所述的公自转转架装置，其特征在于，所述伸出孔远离所述第一护板(31)的一侧设置有防护件(8)。5.根据权利要求4所述的公自转转架装置，其特征在于，所述第一带轮组件(73)包括第一主动带轮(731)、第一皮带(732)和第一从动带轮(733)，所述第一主动带轮(731)与所述行星齿轮(72)连接，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴蓓，渡边优，余龙，吕启蒙，曹永军，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：