温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种公自转转架装置及真空镀膜机，涉及真空处理技术领域。该公自转转架装置包括自转轴、公转轴、公转盘和自转子轴，自转轴穿设于公转轴内且能相对公转轴转动，公转轴通过公转驱动件驱动，公转盘设于公转轴的端部；自转子轴设置有多个，多个自...
该专利属于光驰科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光驰科技（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。