激光照射装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供激光照射装置，其能够将从激光振荡器射出的激光高效地照射至对象物。激光照射装置包含：激光振荡器，其射出激光；第一偏振光分束器，其将激光分离成s偏振光的第一激光和p偏振光的第二激光；第一空间光调制器，其将第一激光根据相位图案进行调制而射出；第二空间光调制器，其将第二激光根据相位图案进行调制而射出；第二偏振光分束器，其使从第一空间光调制器射出的第一激光与从第二空间光调制器射出的第二激光合成；以及成像单元，其将所合成的激光成像而照射至对象物。合成的激光成像而照射至对象物。合成的激光成像而照射至对象物。

【技术实现步骤摘要】
激光照射装置


[0001]本专利技术涉及激光照射装置。

技术介绍

[0002]已知有将激光照射至对象物的激光照射装置(例如参照专利文献1、2)。在这样的激光照射装置中，利用激光振荡器产生的激光在通过空间光调制器进行调制之后，通过物镜会聚至对象物。
[0003]专利文献1：日本特开2011
‑
51011号公报
[0004]专利文献2：日本特开2021
‑
102217号公报
[0005]在上述激光照射装置中，通过增大照射至对象物的激光的能量，能够增加激光的分支数而高效地进行加工或在保持能量密度的状态下增加被照射区域，因此强烈期望激光振荡器的高输出化。
[0006]但是，高输出的激光振荡器通常以随机偏振光的方式提供。另外，入射至空间光调制器的激光需要是直线偏振光。
[0007]因此，在将高输出的激光振荡器应用于上述激光照射装置的情况下，通过将从激光振荡器射出的激光入射至偏振光分束器(PBS：Polarizing Beam Splitter)而分离成p偏振光和s偏振光，将一方的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光照射装置，其向对象物照射激光，其中，该激光照射装置具有：激光振荡器，其射出该激光；第一偏振光分束器，其将从该激光振荡器射出的激光的偏振光成分分离成p偏振光和s偏振光；第一空间光调制器，其使通过该第一偏振光分束器分离的一方的偏振光成分入射，并将入射的该激光根据相位图案进行调制而射出；第二空间光调制器，其使通过该第一偏振光分束器分离的另一方的偏振光成分入射，并将入射的该激光根据相位图案进行调制而射出；第二偏振光分束器，其使从该第一空间光调制器射出的激光透过，使从该第二空间光调制器射出的激光反射，由此使从该第一空间光调制器射出的激光与从该第二空间光调制器射出的激光合成；以及成像单元，其将通过该第二偏振光分束器而合成的激光成像而照射至该对象物。2.根据权利要求1所述的激光照射装置，其中，该激光照射装置还具有：第一1/2波长板，其配设于该第一偏振光分束器与该第一空间光调制器之间；以及第二1/2波长板，其配设于该第一偏振光分束器...

【专利技术属性】
技术研发人员：野村哲平，一宫佑希，小林贤史，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：