一种晶圆对准器夹具制造技术

本实用新型专利技术属于晶圆对准器技术领域，公开了一种晶圆对准器夹具，包括校准座、伸缩套和伸缩机组，所述伸缩套的根部与校准座固定连接，所述伸缩机组固定连接在伸缩套的内部，所述校准座的一端转动连接有匹配座，所述伸缩套伸缩至不同位置时，匹配不同尺寸的夹持面，所述校准座包括座体、限位螺纹杆、螺母齿轮、齿轮和电机，所述限位螺纹杆滑动贯穿座体，所述螺母齿轮活动嵌在座体内，所述螺母齿轮螺纹安装在限位螺纹杆的外部，所述齿轮与螺母齿轮相互啮合。本实用新型专利技术当晶圆尺寸偏大时，通过伸缩机组带动伸缩套收缩，用来匹配晶圆的边缘，反之通过伸缩机组伸长匹配晶圆的边缘，利用匹配座增加校准座与不同晶圆的圆周匹配度。座增加校准座与不同晶圆的圆周匹配度。座增加校准座与不同晶圆的圆周匹配度。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆对准器夹具


[0001]本技术属于晶圆对准器
，尤其涉及一种晶圆对准器夹具。

技术介绍

[0002]晶圆是半导体行业中的衬底或外延片，其价格昂贵，精确度要求较高。
[0003]现有的针对晶圆的夹具尺寸过于单一，可能是由于现有晶圆的尺寸较为固定，从成本的角度出发，世面上更多的是与2寸4寸6寸匹配的几种的夹具。而采用全自动的机械手夹具，结构又复杂成本高，从而造成常规的晶圆对准器夹具与不同晶圆之间的匹配度偏低的问题。
[0004]为此，我们提出来一种晶圆对准器夹具解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中，常规的晶圆对准器夹具与不同晶圆之间的匹配度偏低的问题，而提出的一种晶圆对准器夹具。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种晶圆对准器夹具，包括校准座、伸缩套和伸缩机组，所述伸缩套的根部与校准座固定连接，所述伸缩机组固定连接在伸缩套的内部，所述校准座的一端转动连接有匹配座；所述伸缩套伸缩至不同位置时，匹配不同尺寸的夹持面。
[0007]当晶圆尺寸偏大时，通过伸缩机组带动伸缩套收缩，用来匹配晶圆的边缘，反之通过伸缩机组伸长匹配晶圆的边缘，利用匹配座增加校准座与不同晶圆的圆周匹配度。
[0008]优选的，所述校准座包括座体、限位螺纹杆、螺母齿轮、齿轮和电机，所述限位螺纹杆滑动贯穿座体，所述螺母齿轮活动嵌在座体内，所述螺母齿轮螺纹安装在限位螺纹杆的外部，所述齿轮与螺母齿轮相互啮合，所述齿轮与电机的转子固定连接，所述电机的外壳与座体固定连接。
[0009]晶圆被推入时，利用限位螺纹杆挡在晶圆的外部，矫正晶圆的一端，利用电机带动齿轮转动，使齿轮带动螺母齿轮转动，通过螺母齿轮带动限位螺纹杆伸缩，用来匹配晶圆的直径，便于匹配晶圆。
[0010]优选的，所述伸缩套包括第一导套、第二导套和滑套，所述第二导套滑动安装在第一导套的内部，所述滑套滑动安装在第二导套的内部。
[0011]利用第一导套引导第二导套滑动，通过第二导套引导滑套滑动，便于伸缩套伸缩。
[0012]优选的，所述限位螺纹杆的前部固定连接有轴块。
[0013]利用轴块引导匹配座转动方向，使匹配座能面向晶圆的圆形，提高了匹配座角度与晶圆的匹配度。
[0014]优选的，所述校准座还包括挡片，所述挡片分别固定连接在轴块的上端与下端。
[0015]利用挡片将匹配座稳定在轴块外，提高了匹配座与轴块对接的稳定性。
[0016]优选的，所述第二导套和滑套的上部开设有刻度槽。
[0017]通过刻度槽观察伸出数值，便于使用者观察伸出幅度。
[0018]优选的，所述伸缩机组包括第一螺母、第一螺栓、第二螺母、第二螺栓、第一步进电机和第二步进电机，所述第一螺栓螺纹安装在第一螺母的内部，所述第二螺栓螺纹安装在第二螺母的内部，所述第一螺栓与第二步进电机的转子固定连接，所述第二螺栓与第一步进电机的转子固定连接。
[0019]利用第一步进电机带动第二螺栓使第二螺母带动第二导套移动，通过第二导套带动第二步进电机移动，利用第二步进电机带动第一螺栓使第一螺母带动滑套移动，使第二导套和滑套伸出或缩回，便于控制伸缩套伸长或缩短。
[0020]优选的，所述伸缩机组还包括第一挡块，所述第一挡块固定连接在第二螺栓背向第一步进电机的一端。
[0021]利用第一挡块限制第二螺母移动范围，避免第二螺母脱落。
[0022]优选的，所述伸缩机组还包括第二挡块，所述第二挡块与第一螺栓固定连接。
[0023]利用第二挡块限制第一螺母移动范围，避免第一螺母脱落。
[0024]优选的，所述匹配座包括套座，所述套座的外部开设有匹配槽。
[0025]利用匹配槽匹配不同型号的圆周，使匹配槽的外端与晶圆圆周呈两点支撑，提高了匹配座与晶圆之间的支撑范围，提高了支撑稳定性。
[0026]综上所述，本技术的技术效果和优点：1、当晶圆尺寸偏大时，通过伸缩机组带动伸缩套收缩，用来匹配晶圆的边缘，反之通过伸缩机组伸长匹配晶圆的边缘，利用匹配座增加校准座与不同晶圆的圆周匹配度。
[0027]2、利用第一导套引导第二导套滑动，通过第二导套引导滑套滑动，便于伸缩套伸缩。
[0028]3、利用第一步进电机带动第二螺栓使第二螺母带动第二导套移动，通过第二导套带动第二步进电机移动，利用第二步进电机带动第一螺栓使第一螺母带动滑套移动，使第二导套和滑套伸出或缩回，便于控制伸缩套伸长或缩短。
附图说明
[0029]图1为本技术的晶圆、校准座、伸缩套和匹配座结构示意图；
[0030]图2为本技术的晶圆、校准座、伸缩机组和匹配座结构示意图；
[0031]图3为本技术的校准座结构示意图；
[0032]图4为本技术的伸缩套结构示意图；
[0033]图5为本技术的伸缩机组结构示意图；
[0034]图6为本技术的匹配座结构示意图。
[0035]图中：1、晶圆；2、校准座；3、伸缩套；4、伸缩机组；5、匹配座；21、座体；22、限位螺纹杆；23、螺母齿轮；24、齿轮；25、电机；26、轴块；27、挡片；31、第一导套；32、第二导套；33、滑套；34、刻度槽；41、第一螺母；42、第一螺栓；43、第二螺母；44、第二螺栓；45、第一步进电机；46、第二步进电机；47、第一挡块；48、第二挡块；51、套座；52、匹配槽。
具体实施方式
[0036]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0037]请参阅图1，一种晶圆对准器夹具，包括校准座2、伸缩套3和伸缩机组4，校准座2与外接机架固定，校准座2和伸缩套3之间夹有晶圆1，伸缩套3的根部与校准座2固定连接，伸缩机组4固定连接在伸缩套3的内部，校准座2的一端转动连接有匹配座5；伸缩套3伸缩至不同位置时，匹配不同尺寸的夹持面。当晶圆1尺寸偏大时，通过伸缩机组4带动伸缩套3收缩，用来匹配晶圆1的边缘，反之通过伸缩机组4伸长匹配晶圆1的边缘，利用匹配座5增加校准座2与不同晶圆1的圆周匹配度。
[0038]请参阅图3，校准座2包括座体21、限位螺纹杆22、螺母齿轮23、齿轮24和电机25，座体21与外接机架固定，限位螺纹杆22滑动贯穿座体21，螺母齿轮23活动嵌在座体21内，螺母齿轮23螺纹安装在限位螺纹杆22的外部，齿轮24与螺母齿轮23相互啮合，齿轮24与电机25的转子固定连接，电机25与外接电源电连接，电机25的外壳与座体21固定连接。晶圆1被推入时，利用限位螺纹杆22挡在晶圆1的外部，矫正晶圆1的一端，利用电机25带动齿轮24转动，使齿轮24带动螺母齿轮23转动，通过螺母齿轮23带动限位螺纹杆22伸缩，用来匹配晶圆1的直径。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆对准器夹具，其特征在于：包括校准座(2)、伸缩套(3)和伸缩机组(4)，所述伸缩套(3)的根部与校准座(2)固定连接，所述伸缩机组(4)固定连接在伸缩套(3)的内部，所述校准座(2)的一端转动连接有匹配座(5)；所述伸缩套(3)伸缩至不同位置时，匹配不同尺寸的夹持面。2.根据权利要求1所述的一种晶圆对准器夹具，其特征在于：所述校准座(2)包括座体(21)、限位螺纹杆(22)、螺母齿轮(23)、齿轮(24)和电机(25)，所述限位螺纹杆(22)滑动贯穿座体(21)，所述螺母齿轮(23)活动嵌在座体(21)内，所述螺母齿轮(23)螺纹安装在限位螺纹杆(22)的外部，所述齿轮(24)与螺母齿轮(23)相互啮合，所述齿轮(24)与电机(25)的转子固定连接，所述电机(25)的外壳与座体(21)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种晶圆对准器夹具，其特征在于：所述伸缩套(3)包括第一导套(31)、第二导套(32)和滑套(33)，所述第二导套(32)滑动安装在第一导套(31)的内部，所述滑套(33)滑动安装在第二导套(32)的内部。4.根据权利要求2所述的一种晶圆对准器夹具，其特征在于：所述限位螺纹杆(22)的前部固定连接有轴块(26)。5.根据权利要求4所述的一种晶圆对准器夹具，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：李梦亚，韩娜，
申请(专利权)人：江苏第三代半导体研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：