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本实用新型属于晶圆对准器技术领域，公开了一种晶圆对准器夹具，包括校准座、伸缩套和伸缩机组，所述伸缩套的根部与校准座固定连接，所述伸缩机组固定连接在伸缩套的内部，所述校准座的一端转动连接有匹配座，所述伸缩套伸缩至不同位置时，匹配不同尺寸的夹持...
该专利属于江苏第三代半导体研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏第三代半导体研究院有限公司授权不得商用。

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