用于巨量转移的掩模版及其设计方法、巨量转移方法技术

本发明专利技术公开了一种用于巨量转移的掩模版及其设计方法、巨量转移方法，该方法包括：获取所需转移的目标晶圆上多个显示单元的第一尺寸数据以及第一相对位置数据；根据第一尺寸数据与第一相对位置数据，计算用于转移显示单元的掩模版中透光区的第二尺寸数据与第二相对位置数据；根据第二尺寸数据以及第二相对位置数据，确定掩模版上多个透光区的长度、宽度、多个透光区在掩模版上的绝对位置，以及多个透光区在掩模版之上的相对位置。本发明专利技术旨在通过设计一种能够保证显示单元在目标基板上间距的掩模版，通过该掩模版对RGB显示单元进行巨量转移，有效保证RGB三原色显示单元在目标基板上的间距，从而保证显示单元在目标基板上的排版关系。版关系。版关系。

【技术实现步骤摘要】
用于巨量转移的掩模版及其设计方法、巨量转移方法


[0001]本专利技术涉与半导体制备
，具体涉及一种用于巨量转移的掩模版及其设计方法、巨量转移方法。

技术介绍

[0002]Micro
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LED微显示技术，具有自发光特性，每一点像素都能单独驱动发光，优点包括高亮度、低功耗、体积小、超高分辨率与色彩饱与度等。相较于同为自发光显示的OLED技术，Micro
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LED不仅效率较高、寿命较长，材料不易受到环境影响而相对稳定，也能避免产生残影现象。在Micro
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LED技术中，实现晶圆上芯片的巨量转移技术是关键技术，目前通常采用激光巨量转移方法。
[0003]其中，蓝光晶圆包括蓝光衬底与设于蓝光衬底之上的蓝光显示单元，绿光晶圆包括绿光衬底与设于绿光衬底之上的绿光显示单元，红光晶圆包括红光衬底与设于红光衬底之上的红光显示单元，蓝光显示单元、绿光显示单元与红光显示单元均包括N型半导体层、量子阱层、P型半导体层与芯片层。目前常用的激光巨量方法通常是利用固态激光器，激光斑照射晶圆上某一区块的显示单元，将这一整块显示单元照射下来，缺点在于一整块单色芯片掉落时，芯片与芯片之间无有效间距，无法预留其它颜色芯片的芯片位，从而不能实现RGB三原色芯片有规律性的间隔重复排列。
[0004]也就是说，目前通过激光照射实现芯片的巨量转移无法有效保证显示单元之间的间距，从而无法保证显示单元的排板关系。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种用于巨量转移的掩模版及其设计方法、巨量转移方法，通过设计一种能够保证显示单元在目标基板上间距的掩模版，通过该掩模版对RGB显示单元进行巨量转移，有效保证RGB三原色显示单元在目标基板上的间距，从而保证显示单元在目标基板上的排版关系。
[0006]本专利技术的第一方面在于提供一种用于巨量转移的掩模版设计方法，所述掩模版设有非透光区以及多个透光区，所述设计方法用于对所述掩模版内多个透光区之间的位置关系进行设计，所述设计方法包括：获取所需转移的目标晶圆上多个显示单元的第一尺寸数据以及第一相对位置数据；根据所述第一尺寸数据与所述第一相对位置数据，计算用于转移所述显示单元的掩模版中所述透光区的第二尺寸数据与第二相对位置数据；根据所述第二尺寸数据以及所述第二相对位置数据，确定所述掩模版上多个所述透光区的长度、宽度、多个所述透光区在所述掩模版上的绝对位置，以及多个透光区在所述掩模版之上的相对位置。
[0007]根据上述技术方案的一方面，所述第一尺寸数据包括所述显示单元的显示单元长
度与显示单元宽度，多个所述显示单元在目标基板上任意像素单元内或任意相邻像素单元之间的显示单元横向间距，以及任意相邻像素单元之间的显示单元纵向间距；所述第二尺寸数据包括所述透光区的透光区长度与透光区宽度，以及多个所述透光区的透光区横向间距与透光区纵向间距。
[0008]根据上述技术方案的一方面，所述目标晶圆包括RGB三原色晶圆，分别为蓝光晶圆与绿光晶圆与红光晶圆，所述蓝光晶圆包括蓝光衬底与蓝光显示单元、所述绿光晶圆包括绿光衬底与绿光显示单元，所述红光晶圆包括红光衬底与红光显示单元。
[0009]根据上述技术方案的一方面，当用于承接所述显示单元的目标基板上像素单元内蓝光显示单元、绿光显示单元与红光显示单元的尺寸均相等时，显示单元的排版关系满足：所述像素单元的长、宽均为b；所述蓝光显示单元、所述绿光显示单元与所述红光显示单元的长均为y，宽均为x；任意相邻两个显示单元的横向间距为z；任意相邻两个所述像素单元的同色显示单元之间的纵向间距为a；并满足以下关系公式：3x+3z=b，a+y=b；且满足以下条件：b为x与y的整数倍。
[0010]根据上述技术方案的一方面，当所述像素单元中所述蓝光显示单元与所述绿光显示单元的尺寸相等、所述红光显示单元存在尺寸差异时，显示单元的排版关系满足：所述像素单元的长、宽均为b；所述蓝光显示单元、所述绿光显示单元的长均为y，宽均为x，所述红光显示单元的长为m，宽为n；任意相邻两个显示单元的横向间距为z；任意相邻两个所述像素单元中蓝光显示单元与绿光显示单元的纵向间距为a，任意相邻两个所述像素单元中红光显示单元的纵向间距为c；并满足以下关系公式：2x+n+3z=b,a+y=b，c+m=b；且满足以下条件：b为x、n、y与m的整数倍。
[0011]根据上述技术方案的一方面，当所述像素单元中所述蓝光显示单元、所述绿光显示单元与所述红光显示单元的尺寸各不相等时，显示单元的排版关系满足：所述像素单元的长、宽均为b；所述蓝光显示单元的长为y，宽为x，所述绿光显示单元的长为q，宽为p，所述红光显示单元的长为m，宽为n；任意相邻两个显示单元的横向间距为z；任意相邻两个所述像素单元中蓝光显示单元的纵向间距为a，任意相邻两个所述像素单元中绿光显示单元的纵向间距为d，任意相邻两个所述像素单元中红光显示单元的纵向间距为c；并满足以下关系公式：x+p+n+3z=b，a+y=b，c+m=b，d+q=b；且满足以下条件：b为x、n、p、y、m与q的整数倍。
[0012]根据上述技术方案的一方面，所述掩模版的设计与所述巨量转移的逻辑相通，所述掩模版的设计满足以下表达式：f+v=k*b
g+u=k*b；式中，f为透光区的长度，g为透光区的宽度，v为相邻两个透光区的纵向间距，u为相邻两个透光区的横向间距，y为显示单元的长度，x为显示单元的宽度，k为常数，b为像素单元的长或宽，像素单元的长与宽相等。
[0013]根据上述技术方案的一方面，所述透光区的长度大于所述显示单元的长度，相邻两个透光区的横向间距大于相邻两个显示单元的宽度。
[0014]本专利技术的第二方面在于提供一种用于巨量转移的掩模版，所述掩模版由上述技术方案当中所述的设计方法设计并制得，所述掩模版包括非透光区以及多个透光区。
[0015]本专利技术的第三方面在于提供一种Micro
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LED芯片巨量转移方法，使用上述技术方案当中所示的掩模版，所述巨量转移方法包括：提供激光发生器以及对应于RGB三原色目标晶圆的蓝光掩模版、绿光掩模版与红光掩模版；其中，所述目标晶圆包括蓝光晶圆、绿光晶圆与红光晶圆；控制所述激光发生器发出激光光斑；使所述激光光斑穿过蓝光掩膜版上的透光区以照射所述透光区底部的蓝光晶圆上的蓝光显示单元，以使所述蓝光显示单元跌落至目标基板上的第一位置；使所述激光光斑穿过绿光掩膜版上的透光区以照射所述透光区底部的绿光晶圆上的绿光显示单元，以使所述绿光显示单元跌落至目标基板上的第二位置；使所述激光光斑穿过红光掩膜版上的透光区以照射所述透光区底部的红光晶圆上的红光显示单元，以使所述红光显示单元跌落至目标基板上的第三位置。
[0016]与现有技术相比，采用本专利技术当中所示的用于巨量转移的掩模版及其设计方法、巨量转移方法，有益效果在于：通过分别获取RGB三原色晶圆上显示单元的第一尺寸数据与第一相对位置数据，第一尺寸数据包括显示单元本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于巨量转移的掩模版设计方法，其特征在于，所述掩模版设有非透光区以及多个透光区，所述设计方法用于对所述掩模版内多个透光区之间的位置关系进行设计，所述设计方法包括：获取所需转移的目标晶圆上多个显示单元的第一尺寸数据以及第一相对位置数据；根据所述第一尺寸数据与所述第一相对位置数据，计算用于转移所述显示单元的掩模版中所述透光区的第二尺寸数据与第二相对位置数据；根据所述第二尺寸数据以及所述第二相对位置数据，确定所述掩模版上多个所述透光区的长度、宽度、多个所述透光区在所述掩模版上的绝对位置，以及多个透光区在所述掩模版之上的相对位置；其中，所述第一尺寸数据包括所述显示单元的显示单元长度与显示单元宽度，多个所述显示单元在目标基板上任意像素单元内或任意相邻像素单元之间的显示单元横向间距，以及任意相邻像素单元之间的显示单元纵向间距；所述第二尺寸数据包括所述透光区的透光区长度与透光区宽度，以及多个所述透光区的透光区横向间距与透光区纵向间距；所述目标晶圆包括RGB三原色晶圆，分别为蓝光晶圆与绿光晶圆与红光晶圆，所述蓝光晶圆包括蓝光衬底与蓝光显示单元、所述绿光晶圆包括绿光衬底与绿光显示单元，所述红光晶圆包括红光衬底与红光显示单元。2.根据权利要求1所述的用于巨量转移的掩模版设计方法，其特征在于，当用于承接所述显示单元的目标基板上像素单元内蓝光显示单元、绿光显示单元与红光显示单元的尺寸均相等时，显示单元的排版关系满足：所述像素单元的长、宽均为b；所述蓝光显示单元、所述绿光显示单元与所述红光显示单元的长均为y，宽均为x；任意相邻两个显示单元的横向间距为z；任意相邻两个所述像素单元的同色显示单元之间的纵向间距为a；并满足以下关系公式：3x+3z=b，a+y=b；且满足以下条件：b为x与y的整数倍。3.根据权利要求1所述的用于巨量转移的掩模版设计方法，其特征在于，当所述像素单元中所述蓝光显示单元与所述绿光显示单元的尺寸相等、所述红光显示单元存在尺寸差异时，显示单元的排版关系满足：所述像素单元的长、宽均为b；所述蓝光显示单元、所述绿光显示单元的长均为y，宽均为x，所述红光显示单元的长为m，宽为n；任意相邻两个显示单元的横向间距为z；任意相邻两个所述像素单元中蓝光显示单元与绿光显示单元的纵向间距为a，任意相邻两个所述像素单元中红光显示单元的纵向间距为c；并满足以下关系公式：2x+n+3z=b,a+y=b，c+m=b；且满足以下条件：b为x、n、y与m的整数倍。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：张星星，汪恒青，林潇雄，胡加辉，金从龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：