一种用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台，涉及半导体技术领域，包括圆盘平台和接触板，所述圆盘平台的外表面上方两端固定安装有支撑板，所述圆盘平台的外表面上方中部固定安装有固定板，所述支撑板的内表面贯穿滑动连接有活动杆。该用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台，与现有的普通用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台相比，拉动拉板带动活动杆向一侧移动，使推力弹簧收缩，活动杆带动接触板与固定板分离，将片状样品贴合固定板放置，松开拉板，推力弹簧带动接触板和活动杆复位移动，接触板将片状样品紧紧固定，便于对片状样品的固定和取出，实现对片状样品截面高效、安全和稳定地进行测试。安全和稳定地进行测试。安全和稳定地进行测试。

【技术实现步骤摘要】
一种用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台


[0001]本技术涉及半导体
，具体为一种用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜已成为检测物质性能的重要手段。我国目前已经拥有相当数量的扫描电镜，广泛用于金属、陶瓷、高分子、矿产和食品等材料的显微形貌观察、相组织与晶体结构分析、微区成分分析等，是不可替代的设备。其工作原理是扫描电镜电子枪发射出电子束，经加速和汇聚后，形成高能电子束，轰击在样品表面，产生一系列光电信号，不同信号探测器对其进行收集，获得显微图像一般情况下，通过切片的方法来实现观察特定位置内部结构的目的。对该特定位置切片，然后对此特定位置的切面进行扫描电镜观察，即可观察此特定位置的详细的内部结构，如各个层次的厚度和形貌。切面的扫描电镜可广泛用于半导体生产工艺的监控、制程异常的分析、半导体芯片成品的分析、检测、检验和测试领域。
[0003]如申请号为202221478692.7的公开文件，公开了一种用于观察样品切面的扫描电镜样品台及扫描电镜，该技术基台和检测部件均具有导电性，基台为圆片状结构，具有用于放置样品的上表面，检测部件具有至少一个与基台的上表面垂直的第一平面，样品的切面能够贴附于第一平面。在使用扫描电镜时，将样品放置在基台的上表面，样品的切面与检测部件的第一平面贴附，方便对芯片样品进行固定，保证切面与第一平面的有效接触，提高观测效果，但是依靠贴附放置的片状样品，在观测过程中，难以保持稳定，若在过程中遇到轻微的晃动，片状样品极有可能发生倾倒，且目前商业化的扫描电镜样品台结构简单，多为单一圆盘型结构，并与圆柱形基台配合，通过与圆盘相连接的固定杆将圆盘样品台固定于基台上表面，例如蔡司EVO18的样品台。在观察片状样品截面时，一般将样品粘贴在圆柱形基台的侧面，这样粘贴的样品稳定性差，容易晃动，极易掉落到样品仓中，存在安全风险，并且有时会发生倾斜，观察效果差。并且为保证样品不掉落，需耗费较多导电胶，制样时间也较长。
[0004]于是，有鉴于此，针对现有的结构不足予以研究改良，提出一种用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台，包括圆盘平台和接触板，所述圆盘平台的外表面上方两端固定安装有支撑板，所述圆盘平台的外表面上方中部固定安装有固定板，所述支撑板的内表面贯穿滑动连接有活动杆，所述活动杆的一端固定安装有拉板，所述接触板固定安装于活动杆的另一端，所述接触板的外表面一侧固定安装有推力弹簧，所述推力弹簧的一端与支撑板固定连
接。
[0007]进一步的，所述接触板的外表面下端安装有导向块，且导向块的一侧设置有导向槽，并且导向槽开设于圆盘平台的外表面上方。
[0008]进一步的，所述支撑板和固定板的形状均为矩形，且支撑板和固定板均由铝合金材质制成。
[0009]进一步的，所述接触板和拉板的形状为矩形，且活动杆的形状为圆柱形。
[0010]进一步的，所述圆盘平台的外表面下方安装有连接杆，且连接杆与圆盘平台固定连接。
[0011]进一步的，所述连接杆的一端安装有基座，且基座与连接杆固定连接。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1.本技术通过活动杆、拉板、接触板、推力弹簧、导向块和导向槽的设置，拉动拉板带动活动杆向一侧移动，使推力弹簧收缩，活动杆带动接触板与固定板分离，将片状样品贴合固定板放置，松开拉板，推力弹簧带动接触板和活动杆复位移动，接触板将片状样品紧紧固定，便于对片状样品的固定和取出，实现对片状样品截面高效、安全和稳定地进行测试；
[0014]2.本技术通过固定板的设置，固定板将圆盘平台分隔为两部分，可同时放置两个片状样品进行检测，提高了检测效率。
附图说明
[0015]图1为本技术整体正视剖视结构示意图；
[0016]图2为本技术整体俯视结构示意图；
[0017]图3为本技术整体立体结构示意图。
[0018]图中：1、圆盘平台；2、支撑板；3、固定板；4、活动杆；5、拉板；6、接触板；7、推力弹簧；8、导向块；9、导向槽；10、连接杆；11、基座。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]如图1
‑
图3所示，一种用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台，包括圆盘平台1和接触板6，圆盘平台1的外表面上方两端固定安装有支撑板2，圆盘平台1的外表面上方中部固定安装有固定板3，支撑板2和固定板3的形状均为矩形，且支撑板2和固定板3均由铝合金材质制成，固定板3将圆盘平台1分隔为两部分，可同时放置两个片状样品进行检测，提高了检测效率，支撑板2的内表面贯穿滑动连接有活动杆4，活动杆4的一端固定安装有拉板5，接触板6固定安装于活动杆4的另一端，接触板6和拉板5的形状为矩形，且活动杆4的形状为圆柱形，接触板6的外表面一侧固定安装有推力弹簧7，推力弹簧7的一端与支撑板2固定连接，接触板6的外表面下端安装有导向块8，且导向块8的一侧设置有导向槽9，并且导向槽9开设于圆盘平台1的外表面上方，拉动拉板5带动活动杆4向一侧移动，使推力弹簧7收缩，活
动杆4带动接触板6与固定板3分离，将片状样品贴合固定板3放置，松开拉板5，推力弹簧7带动接触板6和活动杆4复位移动，接触板6将片状样品紧紧固定，便于对片状样品的固定和取出，实现对片状样品截面高效、安全和稳定地进行测试，圆盘平台1的外表面下方安装有连接杆10，且连接杆10与圆盘平台1固定连接，连接杆10的一端安装有基座11，且基座11与连接杆10固定连接。
[0021]工作原理：在使用该用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台时，首先拉动拉板5带动活动杆4向一侧移动，使推力弹簧7收缩，活动杆4带动接触板6与固定板3分离，将片状样品贴合固定板3放置，松开拉板5，推力弹簧7带动接触板6和活动杆4复位移动，接触板6将片状样品紧紧固定，便于对片状样品的固定和取出，实现对片状样品截面高效、安全和稳定地进行测试，且固定板3将圆盘平台1分隔为两部分，可同时放置两个片状样品进行检测，提高了检测效率，这就是该用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台的工作原理。
[0022]本技术的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本技术限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台，包括圆盘平台（1）和接触板（6），其特征在于，所述圆盘平台（1）的外表面上方两端固定安装有支撑板（2），所述圆盘平台（1）的外表面上方中部固定安装有固定板（3），所述支撑板（2）的内表面贯穿滑动连接有活动杆（4），所述活动杆（4）的一端固定安装有拉板（5），所述接触板（6）固定安装于活动杆（4）的另一端，所述接触板（6）的外表面一侧固定安装有推力弹簧（7），所述推力弹簧（7）的一端与支撑板（2）固定连接。2.根据权利要求1所述的一种用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台，其特征在于，所述接触板（6）的外表面下端安装有导向块（8），且导向块（8）的一侧设置有导向槽（9），并且导向槽（9）开设于圆盘平台（1）的外表面上方。...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈威，胡晓娜，邹晋，胡强，刘秋香，王佳伟，
申请(专利权)人：江西省科学院应用物理研究所，
类型：新型
国别省市：