发光元件、光检测模块、发光元件的制造方法、及扫描型电子显微镜技术

本发明专利技术的技术问题在于，提供一种能够降低串扰，且可扩展用途的发光元件、光检测模块、发光元件的制造方法、及使用其的扫描型电子显微镜。本发明专利技术的发光元件(1)具备：对于荧光具有透明性的光纤板基板(2)；及由具有量子阱结构的氮化物半导体层过程的发光层(3)。此发光元件(1)中，光纤板基板(2)与发光层(3)被直接接合。光纤板基板(2)与发光层(3)被直接接合。光纤板基板(2)与发光层(3)被直接接合。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】发光元件、光检测模块、发光元件的制造方法、及扫描型电子显微镜


[0001]本公开涉及发光元件、光检测模块、发光元件的制造方法、及扫描型电子显微镜。

技术介绍

[0002]作为目前的发光元件，例如有专利文献1记载的发光体。此目前的发光体为将入射的电子变换成荧光的发光体。发光体具备：对于荧光透明的基板；以及氮化物半导体层，形成于基板的一面，具有通过电子的入射而产生荧光的量子阱结构及缓冲层。在氮化物半导体层上，设有：由带隙能量(band gap energy)比该氮化物半导体层的构成材料大的材料而构成的盖(cap)层。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特许第4365255号公报

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的问题
[0007]目前的发光元件中，在将氮化物半导体层通过结晶生长而构成的情况下，主要使用蓝宝石基板或GaN基板(例如参照上述专利文献1)。这些基板为单晶。因此，存在以下问题：在来自发光层的光的一部分在入射于基板及缓冲层之后到被取出至大气或真本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种发光元件，其具备：对于荧光具有透明性的光纤板基板；及由具有量子阱结构的氮化物半导体层构成的发光层，所述光纤板基板与所述发光层被直接接合。2.根据权利要求1所述的发光元件，其中，所述光纤板基板与所述发光层通过热压接而被接合。3.根据权利要求1所述的发光元件，其中，所述光纤板基板与所述发光层通过常温接合而被接合。4.根据权利要求1或2所述的发光元件，其中，所述发光层的构成元素扩散至所述光纤板基板内。5.根据权利要求1～4中任一项所述的发光元件，其中，所述发光层具有GaN层与InGaN层交替层叠的层叠结构。6.根据权利要求1～5中任一项所述的发光元件，其中，在所述发光层，在所述光纤板基板与所述发光层的接合面的相反侧的面设有金属层。7.根据权利要求1～6中任一项所述的发光元件，其中，在所述光纤板基板与所述发光层的接合面，在所述光纤板基板及所述发光层中的至少一方设有：对于所述荧光的折射率为所述光纤板基板与所述发光层之间的折射率的中间层。8.根据权利要求7所述的发光元件，其中，所述中间层通过SiN层、Ta3O5层、HfO2层或它们的组合而构成。9.一种光检测模块，其具备：根据权利要求1～8中任一项所述的发光元件；及光检测器，相对于所述发光元件配置于所述光纤板基板侧。10.根据权利要求9所述的光检测模块，其中，所述光检测器通过固体检测元件或电子管元件而构成。11.一种发光元件的制造方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：山内邦义，近藤稔，中村隆之，前田纯也，大河原悟，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：