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发光元件、光检测模块、发光元件的制造方法、及扫描型电子显微镜技术
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文档序号:38282945
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本发明的技术问题在于,提供一种能够降低串扰,且可扩展用途的发光元件、光检测模块、发光元件的制造方法、及使用其的扫描型电子显微镜。本发明的发光元件(1)具备:对于荧光具有透明性的光纤板基板(2);及由具有量子阱结构的氮化物半导体层过程的发光层...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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