本发明专利技术提供一种即使在地上区域的压力与地下区域的压力之间的压差小的情况下，也能够精确地测量上述压差的压差测量装置及压差测量方法。压差测量装置(1)的特征在于，具备：压差测量部(11)，具有获取地上区域(100c)的压力的第1端口(11a)及获取地下区域(100d)的压力的第2端口(11b)，并且第1配管(12)的一端(12a)连接在第1端口(11a)，第2配管(13)的一端(13a)连接在第2端口(11b)；及杯状件(14)，与第2配管(13)的另一端(13b)连接，当配置在格栅地板(102)上时，在与格栅地板(102)之间形成用于测量地下区域(100d)的压力的空间，第1配管(12)的另一端(12b)与第2配管(13)的另一端(13b)之间的装置高度方向的距离被固定。间的装置高度方向的距离被固定。间的装置高度方向的距离被固定。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压差测量装置及压差测量方法
[0001]本专利技术涉及一种压差测量装置及压差测量方法。
技术介绍
[0002]以往，半导体器件是在构成为室内的洁净度满足规定水平的无尘室中制造。作为无尘室，通常使用有从顶棚部向地下区域供给洁净空气，并且将地下区域的空气进行回收而洁净化之后，导入至顶棚部而再次向地下区域供给洁净空气的循环型下流(downflow)方式的无尘室。
[0003]图1表示循环型下流方式的无尘室的一例的示意图。在图1所示的无尘室100中，在顶棚部100a配置有FFU(Fan Filter Unit，风机过滤单元)等供给洁净空气的洁净空气供给部101。并且，在地面100b，配置有具有多个开口部102a的格栅地板102。
[0004]关于洁净空气的供给，存在有从顶棚部100a的整个面供给洁净空气的整面下流方式及从顶棚部100a的一部分供给的局部下流方式(图1的例子为局部下流方式)。并且，关于格栅地板102的配置，存在有配置在地板的整个面的情况及配置在地板的一部分的情况(图1的例子为配置在一部分的情况)。
[0005]并且，在无尘室100的地下区域100d中，当俯视观察无尘室100时，在相向的一对壁的每一个或在整体的一个或多个地方，设置有回收排放到地下区域100d的空气的返回口103。
[0006]在这样的无尘室100中，从洁净空气供给部101供给的洁净空气通过地上区域100c、并且经由设置在格栅地板102的开口部102a排放到地下区域100d。被排放的空气从返回口103被回收之后，通过过滤器(未图示)被洁净化，并且通过鼓风扇104被引导至顶棚部101。并且，通过洁净空气供给部101洁净空气再次被供给到地下区域100d。如此，构成为使洁净空气在顶棚部100a与地下区域100d之间循环。
[0007]在这种结构的无尘室100中，地上区域100c的压力变为比较高的正压，而地下区域100d的压力变为比较低的负压。因此，空气从上方往下方流动而能够抑制粒子向上方扩散。
[0008]在上述无尘室100中，洁净空气的风量在地上区域100c的整个区域中并不均匀，靠近返回口103的区域较多，远离返回口103的区域较少。在无尘室100中，洁净空气的风量优选在地上区域100c的整个区域中是均匀的。因此，需要将来自洁净空气供给部101的空气的供给量或格栅地板102的开口部102a的开口率等调整为使洁净空气的风量变得均匀。
[0009]在调整上述洁净空气的风量时，将地上区域100c的压力与地下区域100d的压力之间的压差作为指标进行调整。例如，在专利文献1中，记载了在压差测量装置(压差计)的两个端口中，通过一个端口获得地上区域100c的压力，通过另一个端口获得地下区域100d的压力，测量地上区域100c的压力与地下区域100d的压力之间的压差、并且基于测量的压差调节洁净空气的流量的方法。现有技术文献专利文献
[0010]专利文献1：日本特开2004
‑
218919号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题
[0011]然而，在专利文献1记载的方法中，判断出在压差大的情况下能够精确地测量压差，但在压差小的情况下(例如，0.1Pa等级)无法精确地测量压差。
[0012]本专利技术是鉴于上述技术问题而完成的，其目的在于提供一种即使在地上区域的压力与地下区域的压力之间的压差小的情况下，也能够精确地测量上述压差的压差测量装置及压差测量方法。用于解决技术问题的方案
[0013]解决上述技术问题的本专利技术如下所述。
[0014][1]一种压差测量装置，其为测量在地面配置有格栅地板的房间的地上区域的压力与地下区域的压力之间的压差的压差测量装置，其特征在于，具备：压差测量部，具有获得所述地上区域的压力的第1端口及获得所述地下区域的压力的第2端口，并且第1配管的一端连接在所述第1端口，第2配管的一端连接在所述第2端口；及杯状件，与所述第2配管的另一端连接，当配置在所述格栅地板上时，在与所述格栅地板之间形成用于测量所述地下区域的压力的空间，所述第1配管的另一端与所述第2配管的所述另一端之间的装置高度方向的距离被固定。
[0015][2]根据[1]所述的压差测量装置，其中，所述装置高度方向的距离为0mm以上且250mm以下。
[0016][3]根据[1]或[2]所述的压差测量装置，其中，所述第1配管的所述另一端朝向与所述装置高度方向交叉的方向。
[0017][4]根据[1]至[3]中任一项所述的压差测量装置，其还具有抑制气流流向所述第1配管的所述另一端的盖子。
[0018][5]一种压差测量方法，将所述[1]至[4]中任一项所述的压差测量装置配置在地面上配置有格栅地板的房间的所述格栅地板上，并且测量地上区域的压力与地下区域的压力之间的压差。专利技术效果
[0019]根据本专利技术，即使在地上区域的压力与地下区域的压力之间的压差小的情况下，也能够精确地测量上述压差。
附图说明
[0020]图1是循环型下流方式的无尘室的一例的示意图。图2是基于本专利技术的压差测量装置的优选一例的剖视图。图3是对基于本专利技术的压差测量装置的效果进行说明的图。图4是对实施例中的压差的测量位置进行说明的图。图5是表示关于专利技术例及比较例的压差的测量位置与测量的压差的关系的图。
具体实施方式
[0021](压差测量装置)以下，参考附图对本专利技术的实施方式进行说明。基于本专利技术的压差测量装置为测量在地面配置有格栅地板的房间的地上区域的压力与地下区域的压力之间的压差的压差测量装置，其特征在于，具备：压差测量部，具有获取地上区域的压力的第1端口及获取地下区域的压力的第2端口，并且第1配管的一端连接在第1端口，第2配管的一端连接在第2端口；及杯状件，与第2配管的另一端连接，当配置在格栅地板上时，在与格栅地板之间形成用于测量地下区域的压力的空间，第1配管的另一端与第2配管的另一端之间的装置高度方向的距离被固定。换言之，基于本专利技术的压差测量装置的特征在于，第1配管的另一端与第2配管的另一端之间的装置高度方向的相对位置关系为恒定不变。
[0022]如上所述，记载于专利文献1的方法中，当使用压差测量装置测量无尘室100的地上区域100c的压力与地下区域100d的压力之间的压差时，在压差小的情况下不能精确地测量。本专利技术人对无法精确地测量上述压差的原因进行深入研究的结果，认为洁净空气的气流可能会影响地上区域100c的压力及地下区域100d的压力的获得。
[0023]即，在压差测量装置中，通常而言，作为为了测量压差而获得的两处压力，测量的是整体压力，该整体压力是空气的压力即静压与将空气的动能换算为压力所得到的动压之和。在图1所示的无尘室100中，地上区域100c的洁净空气集中通过部分地配置的格栅地板102的开口部102a而流入地下区域100d。因此，在格栅地板102的下方的空气流速变大。如上所述，在专利文献1记载的方法中，获得地下区域100d的压力的端口配置在格本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压差测量装置，其为测量在地面配置有格栅地板的房间的地上区域的压力与地下区域的压力之间的压差的压差测量装置，其特征在于，具备：压差测量部，具有获得所述地上区域的压力的第1端口及获得所述地下区域的压力的第2端口，并且第1配管的一端连接在所述第1端口，第2配管的一端连接在所述第2端口；及杯状件，与所述第2配管的另一端连接，当配置在所述格栅地板上时，在与所述格栅地板之间形成用于测量所述地下区域的压力的空间，所述第1配管的另一端与所述第2配管的所述另一端之间的装置高度方向的距离被固定。2.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：冲田宪治，
申请(专利权)人：胜高股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。