一种光栅飞秒光刻机制造技术

本申请公开了一种光栅飞秒光刻机，包括：装置主体、两个载物台、支撑台与振镜组件；所述支撑台固定于所述装置主体上；所述振镜组件沿X轴可滑动设置于所述支撑台上；两个所述载物台均沿Y轴设置于所述装置主体上，且均设置于所述支撑台下方。本方案提供的光栅飞秒光刻机通过设置两个载物台，使得在应用中两个载物台可以交替使用，从而振镜组件无需等待载物台上下料的时间而实现连续性生产，可以有效提高作业效率，有效解决现有的光栅尺制造方法无法兼顾可连续生产且灵活性较高的问题。顾可连续生产且灵活性较高的问题。顾可连续生产且灵活性较高的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种光栅飞秒光刻机


[0001]本申请涉及光栅尺蚀刻
，尤其涉及一种光栅飞秒光刻机。

技术介绍

[0002]光栅尺是一种利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置，可用作直线位移或者角位移的检测；由于其具备量程长、精度高、灵活易用等优点，应用较广。光栅尺制作时需要制作光栅，也即在物料(如金属带)上形成一条一条明暗交替的栅线，才能被读数头读取。
[0003]光栅尺的制造方法可以分为刻划法和光刻法；刻划法是使用激光对金属直接进行刻划；光刻法采用曝光显影的方式在物料上刻出光栅。
[0004]其中，现有的刻划法在加工完后，需等待物料重新上下料而无法连续生产，导致生产效率较低；而光刻法需要用到掩膜板，在涉及图案变化时，则需要使用不同的掩膜板，导致在需生产不同图案的光栅尺时的灵活性较低。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本申请的目的是提供一种光栅飞秒光刻机，用于解决现有的光栅尺制造方法无法兼顾可连续生产且灵活性较高的问题。
[0006]为达到上述技术目的，本申请提供一种光栅飞秒光刻机，包括：装置主体、两个载物台、支撑台与振镜组件；
[0007]所述支撑台固定于所述装置主体上；
[0008]所述振镜组件沿X轴可滑动设置于所述支撑台上；
[0009]两个所述载物台均沿Y轴设置于所述装置主体上，且均设置于所述支撑台下方。
[0010]进一步地，所述振镜组件包括：Z轴丝杆座与振镜；
[0011]所述Z轴丝杆座沿X轴可滑动设置于所述支撑台上；
[0012]所述振镜沿Z轴可滑道设置于所述Z轴丝杆座上。
[0013]进一步地，所述振镜组件还包括：转动驱动件；
[0014]所述振镜可转动连接所述Z轴丝杆座；
[0015]所述转动驱动件传动连接所述振镜，用于根据所述振镜组件沿X轴的移动速度和所述载物台沿Y轴的移动速度带动所述振镜转动，以使所述振镜按预设路径加工栅线。
[0016]进一步地，所述振镜组件还包括：抽风罩；
[0017]所述抽风罩固定连接所述振镜，且位于所述振镜下方。
[0018]进一步地，所述装置主体上设置有两道沿Y轴方向平行并列设置的滑轨；
[0019]两个所述载物台分别可滑动设置于两道所述滑轨上。
[0020]进一步地，两个载物台的外侧均连接有抵接所述装置主体的导向滑轮。
[0021]进一步地，所述装置主体上设置有防护壳；
[0022]所述支撑台位于所述防护壳内部；
[0023]所述滑轨部分位于所述防护壳内部，另一部分伸出所述防护壳外。
[0024]进一步地，所述载物台上设置有多个用于向物料提供吸力的吸附孔。
[0025]进一步地，所述装置主体上设置有大理石平台；
[0026]所述支撑台与载物台均设置于所述大理石平台上。
[0027]进一步地，还包括：旋转DD平台；
[0028]所述旋转DD平台设置于所述装置主体上，且位于所述支撑台下方，用于固定圆环形物料以加工圆环形光栅尺。
[0029]从以上技术方案可以看出，本申请提供一种光栅飞秒光刻机，包括：装置主体、两个载物台、支撑台与振镜组件；所述支撑台固定于所述装置主体上；所述振镜组件沿X轴可滑动设置于所述支撑台上；两个所述载物台均沿Y轴设置于所述装置主体上，且均设置于所述支撑台下方。本方案提供的光栅飞秒光刻机通过设置两个载物台，使得在应用中两个载物台可以交替使用，从而振镜组件无需等待载物台上下料的时间而实现连续性生产，可以有效提高作业效率，有效解决现有的光栅尺制造方法无法兼顾可连续生产且灵活性较高的问题。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0031]图1为本申请实施例提供的一种光栅飞秒光刻机的结构示意图；
[0032]图2为本申请实施例提供的一种光栅飞秒光刻机设置防护壳后的整体结构示意图；
[0033]图3为本申请实施例提供的一种光栅飞秒光刻机的振镜组件示意图。
具体实施方式
[0034]下面将结合附图对本申请实施例的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请实施例中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请所请求保护的范围。
[0035]在本申请实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0036]在本申请实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可更换连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请实施例中的具体含义。
[0037]请参阅图1至图3，本申请实施例中提供的一种光栅飞秒光刻机，包括：装置主体1、两个载物台2、支撑台3与振镜组件4；支撑台3固定于装置主体1上；振镜组件4沿X轴可滑动设置于支撑台3上；两个载物台2均沿Y轴设置于装置主体1上，且均设置于支撑台3下方。
[0038]具体来说，装置主体1上设置有沿Y轴分布的上料工位与下料工位。载物台2可以在上料工位与下料工位之间滑动，从而在上料工位进行上料后，移动至支撑台3下方，由振镜组件4在物料上刻划光栅尺后，再移动至下料工位进行下料。并且，通过设置两个载物台2，振镜组件4可以在一个载物台2上刻划完成后，移动至另一个载物台2进行加工，从而无需等待载物台2上料与下料的时间而实现不间断工作且无需根据不同的光栅尺图案进行调整，可以有效提高工作效率以及具备较高的灵活性。
[0039]在更具体的实施例中，振镜组件4包括：Z轴丝杆座41与振镜42；Z轴丝杆座41沿X轴可滑动设置于支撑台3上；振镜42沿Z轴可滑道设置于Z轴丝杆座41上。
[0040]Z轴丝杆座41上设置有可以带动振镜42沿Z轴滑动的丝杆，且该丝杆与振镜42传动连接，从而可以通过丝杆带动振镜42沿Z轴滑动调节焦距。
[0041]进一步地，振镜组件4还包括抽风罩43；抽风罩43固定连接振镜42，且位于振镜42下方。
[0042]抽风本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光栅飞秒光刻机，其特征在于，包括：装置主体(1)、两个载物台(2)、支撑台(3)与振镜组件(4)；所述支撑台(3)固定于所述装置主体(1)上；所述振镜组件(4)沿X轴可滑动设置于所述支撑台(3)上；两个所述载物台(2)均沿Y轴设置于所述装置主体(1)上，且均设置于所述支撑台(3)下方。2.根据权利要求1所述的光栅飞秒光刻机，其特征在于，所述振镜组件(4)包括：Z轴丝杆座(41)与振镜(42)；所述Z轴丝杆座(41)沿X轴可滑动设置于所述支撑台(3)上；所述振镜(42)沿Z轴可滑道设置于所述Z轴丝杆座(41)上。3.根据权利要求2所述的光栅飞秒光刻机，其特征在于，所述振镜组件(4)还包括：转动驱动件；所述振镜(42)可转动连接所述Z轴丝杆座(41)；所述转动驱动件传动连接所述振镜(42)，用于根据所述振镜组件(4)沿X轴的移动速度和所述载物台(2)沿Y轴的移动速度带动所述振镜(42)转动，以使所述振镜(42)按预设路径加工栅线。4.根据权利要求2或3所述的光栅飞秒光刻机，其特征在于，所述振镜组件(4)还包括：抽风罩(43)；所述抽风罩(43)固定连接所述振镜(42)，且位于所述振镜(42)...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶雄兵，蒋小君，
申请(专利权)人：东莞市盛雄激光先进装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：