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本申请公开了一种光栅飞秒光刻机，包括：装置主体、两个载物台、支撑台与振镜组件；所述支撑台固定于所述装置主体上；所述振镜组件沿X轴可滑动设置于所述支撑台上；两个所述载物台均沿Y轴设置于所述装置主体上，且均设置于所述支撑台下方。本方案提供的光栅...
该专利属于东莞市盛雄激光先进装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市盛雄激光先进装备股份有限公司授权不得商用。

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