一种加热基座的导线连接结构及PECVD设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种加热基座的导线连接结构及PECVD设备，属于化学气相沉积领域。它包括本体和设置于本体内部的多根加热管，还包括底部管道、加长管和导线，所述底部管道固定连接在本体的中部，所述加热管的端部通过底部管道从本体中伸出，且与导线连接；所述底部管道与加长管相连接，所述导线位于加长管内，且另一端与引线相连接。本实用新型专利技术通过设置加长管和导线，将加热管的尾端与引线连接处进行加长，进而避免加热基座的高温对引线造成不良影响。响。响。

【技术实现步骤摘要】
一种加热基座的导线连接结构及PECVD设备


[0001]本技术属于化学气相沉积领域，更具体地说，涉及一种加热基座的导线连接结构及PECVD设备。

技术介绍

[0002]PECVD设备主要由双层装载片腔室，交换片腔室和工艺腔室三部分组成，其中工艺腔室是PECVD设备最重要的组成部分，是进行化学气相沉积的反应腔室。工艺腔室构成较为复杂，其内部主要由反射背板、气体扩散器、遮蔽框架和加热基座四大件组成。其中加热基座在工艺腔室内部起到支撑玻璃基板，充当下部电极的作用，且内部有不锈钢加热管作为热源提供加热温度，需要给玻璃基板升温至所需温度。
[0003]加热基座工作时，基座表面温度会达到360摄氏度左右，且会长时间维持工作状态，即加热基座尾端接线长时间处于高温环境下工作，易发生故障。

技术实现思路

[0004]1、要解决的问题
[0005]针对现有技术中加热基座尾端连接线不耐高温易发生故障的问题，本技术提供一种加热基座的导线连接结构及PECVD设备。
[0006]2、技术方案
[0007]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。
[0008]一种加热基座的导线连接结构，包括本体和设置于本体内部的多根加热管，还包括底部管道、加长管和导线，所述底部管道固定连接在本体的中部，所述加热管的端部通过底部管道从本体中伸出，且与导线连接；所述底部管道与加长管相连接，所述导线位于加长管内，且另一端与引线相连接。底部管道通过搅拌摩擦焊固定连接在本体的下表面中部，加热管的首尾两端接线端均位于本体外部，并设置于底部管道中，为了减少加热基座高温对加热管端部引线的影响，通过导线对加热管的电连接端进行加长，并在导线的另一端连接引线，使得引线远离高热的加热基座，避免发生故障。
[0009]进一步的，所述导线的外侧套设有耐高温绝缘管，使得各导线间绝缘，避免电源接通后发生短路，且耐高温绝缘管适用于高温的工作环境。
[0010]进一步的，所述加长管靠近引线的一端连接有束线盘，所述束线盘上开设多个与导线相对应的引出孔，所述导线从所述引出孔穿出，使得各导线间保持一定间距，避免其端部发生短路，还可以使得各耐高温绝缘管之间隔开一定距离，避免其相互间发生碰撞。
[0011]进一步的，所述束线盘的外侧壁设置有环状凸起，所述加长管的内壁上开设有环形槽，所述环形槽与环形凸起配合卡接，便于束线盘的安装。
[0012]进一步的，所述束线盘的端部设置有挡板，挡板对加长管的管口处形成封堵。
[0013]进一步的，所述耐高温绝缘管为陶瓷管，所述导线为镍丝，陶瓷管和镍丝均具有良好的耐腐蚀性。
[0014]进一步的，所述引线与导线的连接处套设有热缩管，对引线与导线的连接处做绝缘处理。
[0015]进一步的，所述底部管道与加长管螺纹连接，且在连接处做焊接处理，使得底部管道与加长管的连接处呈密封状态，适用于工艺腔室的腐蚀性工作环境。
[0016]进一步的，所述加长管的长度大于750mm，使得引线与导线的连接处远离加热基座。
[0017]本技术还提出一种PECVD设备，包括上述的加热基座的导线连接结构。
[0018]3、有益效果
[0019]相比于现有技术，本技术的有益效果为：
[0020](1)本技术通过设置加长管和导线，将加热管的尾端与引线连接处进行加长，进而避免加热基座的高温对引线造成不良影响；
[0021](2)本技术通过在导线上套设耐高温绝缘管，可以使加长管内部的各导线之间相互绝缘，防止电源接通后短路，且耐高温绝缘管还具有耐高温的特性，适用于工艺腔室的高温工作环境；束线盘的设置可以使得导线的尾端之间相互隔开，防止导线端部接触短路，还可以防止加长管内的耐高温绝缘管之间碰撞发生破碎。
附图说明
[0022]图1为一种加热基座的本体与底部管道和加长管的连接示意图；
[0023]图2为一种加热基座的加长管内部结构示意图；
[0024]图3为图2中A处的局部结构放大示意图；
[0025]图4为束线盘的端面结构示意图。
[0026]图中：1、本体；2、加热管；3、底部管道；4、加长管；5、导线；6、引线；7、耐高温绝缘管；8、束线盘；9、引出孔；10、环状凸起；11、环形槽；12、挡板；13、热缩管。
具体实施方式
[0027]下面结合附图和具体实施例对本技术进行详细描述。
[0028]实施例1
[0029]结合图1
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图4，一种加热基座，包括本体1和设置于本体1内部的多根加热管2，还包括底部管道3、加长管4和导线5，加热管2的尾端通过底部管道3从本体1中伸出，且与导线5连接；底部管道3与加长管2相连接，导线5位于加长管4内，且另一端与引线6相连接。底部管道3通过搅拌摩擦焊固定连接在本体1的下表面中部，加热管2的首尾两端接线端均位于本体1外部，并设置于底部管道3中，为了减少加热基座高温对加热管端部引线的影响，通过导线5对加热管2的电连接端进行加长，并在导线5的另一端连接引线6，使得引线6远离高热的加热基座，降低因高温导致故障的概率，本方案中加长管的长度取至少750mm，使得引线6与导线5的连接处充分远离加热基座。
[0030]导线5的外侧套设有耐高温绝缘管7，至少需要可以保证在360摄氏度的高温环境中长时间稳定工作，现有技术中耐高温绝缘管7包括石英管、玻璃管、陶瓷管等多种材质的管体，本方案中采用陶瓷管，可耐800摄氏度以上的高温。导线5的材质采用镍丝，陶瓷管和镍丝均具有良好的耐腐蚀性能。
[0031]加长管4靠近引线6的一端连接有束线盘8，束线盘8上开设多个与导线5相对应的引出孔9，导线5从引出孔9穿出，使得各导线5间保持一定间距，避免其端部发生短路，由于耐高温绝缘管7采用陶瓷材质，因此束线盘8的应用，可以使得各耐高温绝缘管7之间隔开一定距离，避免其相互间发生碰撞而导致破碎。
[0032]束线盘8的外侧壁设置有环状凸起10，加长管4的内壁上开设有环形槽11，环形槽11与环形凸起10配合卡接，便于安装束线盘8。
[0033]束线盘8的端部设置有环状的挡板12，挡板12的外径大于加长管4的内径，对加长管4的管口处做封堵。
[0034]引线6与导线5的连接处套设有热缩管13，使得引线6与导线5的连接处绝缘，避免发生短路。
[0035]底部管道3与加长管4螺纹连接，且在连接处做焊接处理，使得底部管道3与加长管4的连接处呈密封状态，适用于工艺腔室的腐蚀性工作环境。工艺腔室工作时，利用辉光放电(或另加发热体)使产品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，如硅烷或氨气，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在产品表面形成固态薄膜，工艺腔室的工作环境具有一定腐蚀性，针对底部管道3与加长管4的连接处做焊接处理，可以避免腐蚀性气体进入加长管4中，以免对导线5和加热管2造成腐蚀。
[0036]以上所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加热基座的导线连接结构，包括本体和设置于本体内部的多根加热管，其特征在于：还包括底部管道、加长管和导线，所述底部管道固定连接在本体的中部，所述加热管的端部通过底部管道从本体中伸出，且与导线连接；所述底部管道与加长管相连接，所述导线位于加长管内，且另一端与引线相连接。2.根据权利要求1所述的加热基座的导线连接结构，其特征在于：所述导线的外侧套设有耐高温绝缘管。3.根据权利要求2所述的加热基座的导线连接结构，其特征在于：所述加长管靠近引线的一端连接有束线盘，所述束线盘上开设多个与导线相对应的引出孔，所述导线从所述引出孔穿出。4.根据权利要求3所述的加热基座的导线连接结构，其特征在于：所述束线盘的外侧壁设置有环状凸起，所述加长管的内壁上开设有环形槽，所述环形...

【专利技术属性】
技术研发人员：李仁杰，冯卫东，刘晓刚，刘超，
申请(专利权)人：合肥微睿科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：