【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学精密仪器
，具体涉及一种真空内高稳定光学平台的支撑装置， 尤其是能隔离真空变形和机组振动对光学平台的影响。
技术介绍
现有的用于真空环境下光学平台，由于直接支撑于真空壳体上，受到抽真空时壳体的抽 真空变形的影响，以及真空机组运行时机组振动的影响，使光学平台出现漂移和晃动；如果 此类光学平台对结构稳定性有较高的要求， 一般采取的措施是1)将真空壳体(特别是支撑 光学平台的部位)加厚，并设置防变形槽；2)在真空壳体与光学平台支撑联接部位设置阻尼 结构，降低振动的传递。以上方法的不足之处在于， 一是使真空壳体的厚度、重量增大，导 致加工成本增加，其二是无法从根本上隔断真空壳体变形，以及真空机组运行振动对高稳定 光学平台的影响。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种真空容器内光学平台支撑装置。本专利技术的真空容器内光学平台支撑装置的真空壳体通过真空壳体支座直接固定于支撑平 台上，光学平台支座与光学平台连接后穿过真空壳体固定于支撑平台上；光学平台支座与真 空壳体采用无刚性接触；波纹管的上端法兰与真空壳体密封连接，波纹管的下端法兰与光学 平台支座密封连接。所述的波纹管采用不锈钢焯接波纹管。本专利技术中的真空环境下的光学平台与真空壳体的支撑分别采用独立的刚性支撑结构，独 立的刚性支撑装置不直接接触，使真空壳体变形和真空机组振动不能直接传递到光学平台； 光学平台支座穿过真空壳体，并且没有刚性接触；真空壳体与光学平台间由柔性金属波纹管 联接，既保证真空要求，又实现了刚性隔离，阻止了振动的传递。本专利技术的真空容器内光学平台支撑装置使真...
【技术保护点】
一种真空容器内光学平台支撑装置，其特征在于：所述的支撑装置的真空壳体（１）通过真空壳体支座直接固定于支撑平台（６）上，光学平台支座（４）与光学平台（３）连接后穿过真空壳体（１）固定于支撑平台（６）上；光学平台支座（４）与真空壳体（１）采用无刚性接触；波纹管（５）的上端法兰与真空壳体（１）密封连接，波纹管（５）的下端法兰与光学平台支座（４）密封连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周海，林东晖，陈良明，朱启华，景峰，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：51[中国|四川]
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