【技术实现步骤摘要】
一种相机与转台的位置标定方法、装置、系统及介质
[0001]本专利技术涉及相机标定
，尤其涉及一种相机与转台的位置标定方法、装置、系统及介质。
技术介绍
[0002]随着太阳能电池领域的不断发展，光伏产业链中对硅片/电池片设备碎片率的要求越来越高，定位精度也越来越高，维护越来越简单，而此高精度视觉定位系统正是降低硅片/电池片碎片率和提高定位精度的主要途径之一。
[0003]在采用视觉定位系统对硅片/电池片中缺陷类型及位置进行检测时，视觉定位系统中各相机的相对位置是对硅片中缺陷位置进行准确定位的关键数据。通过机械装配能保障一定的误差，但要获得更准确的缺陷定位精度，需要测出系统误差并在缺陷定位过程中消除掉。目前，常用的相机位置标定方法是用各相机去对准已知位置关系的标记位置，通过反向推算得到相机位置。
[0004]但是，上述相机位置标定方法只适合硅片正面刻印图案的区域，在硅片侧面区域加标记比较困难。
技术实现思路
[0005]本专利技术提供一种相机与转台的位置标定方法、装置、系统及介质，可以提...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种相机与转台的位置标定方法，其特征在于，所述转台用于放置待检测的晶圆；所述晶圆包括背离所述转台的第一表面和与所述第一表面相邻的侧面；所述第一表面的边缘包括至少三个检测标记和至少一个方位标记；所述相机包括正面相机和侧面相机；所述相机与转台的位置标定方法包括：以所述转台的中心为原点建立与所述第一表面平行的转台坐标系；在所述转台带动所述晶圆旋转时，基于所述正面相机获取所述第一表面的边缘的正面检测图像，以及基于所述侧面相机获取所述侧面的侧面检测图像；根据所述正面检测图像，确定各所述检测标记在所述转台坐标系上的检测标记坐标点和所述方位标记在所述转台坐标系上的方位坐标点；根据各所述检测标记坐标点和所述方位坐标点，确定所述晶圆的圆心在所述转台坐标系上的圆心坐标点、所述晶圆的实际半径和所述圆心的偏向角；在所述转台旋转预设角度时，根据所述预设角度、所述侧面检测图像、所述圆心坐标点、所述实际半径、所述偏向角和所述晶圆的理论半径，确定所述侧面相机与所述转台坐标系的坐标轴的方位夹角。2.根据权利要求1所述的相机与转台的位置标定方法，其特征在于，当所述第一表面的边缘包括三个所述检测标记和一个所述方位标记时，所述方位标记与各所述检测标记均匀分布于所述第一表面的边缘。3.根据权利要求2所述的相机与转台的位置标定方法，其特征在于，根据各所述检测标记坐标点和所述方位坐标点，确定所述晶圆的圆心在所述转台坐标系上的圆心坐标点、所述晶圆的实际半径和所述圆心的偏向角，包括：根据各所述检测标记坐标点，基于第一计算公式，分别确定所述晶圆的圆心在所述转台坐标系上的圆心坐标点和所述晶圆的实际半径；根据所述圆心坐标点和所述方位坐标点，确定所述圆心的偏向角；所述第一计算公式为：其中，(s
x
，s
y
)为所述晶圆的圆心在所述转台坐标系上的圆心坐标点；(x1，y1)、(x2，y2)、(x3，y3)分别为各所述检测标记在所述转台坐标系上的坐标点；r为所述晶圆的实际半径。4.根据权利要求3所述的相机与转台的位置标定方法，其特征在于，根据所述圆心坐标点和所述方位坐标点，确定所述圆心的偏向角，包括：根据所述圆心坐标点和所述方位坐标点，基于第二计算公式，确定所述圆心的偏向角；所述第二计算公式为：其中，(Notch
x
，Notch
y
)为所述方位坐标点在所述转台坐标系上的坐标点，t为所述圆心的偏向角。5.根据权利要求1所述的相机与转台的位置标定方法，其特征在于，在所述转台旋转预
设角度时，根据所述预设角度、所述侧面检测图像、所述圆心坐标点、所述实际半径、所述偏向角和所述晶圆的理论半径，确定所述侧面相机与所述转台坐标系的坐标轴的方位夹角，包括：在所述转台带动所述晶圆旋转时，实时获取所述转台的旋转角度，以及在当前旋转角度下基于所述侧面相机获取的所述侧面检测图像；根据在所述当前旋转角度下所述侧面相机获取的所述侧面检测图像，确定在所述当前旋转角度下所述侧面...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙良峰，
申请(专利权)人：上海御微半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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