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本发明公开了一种相机与转台的位置标定方法、装置、系统及介质，相机与转台的位置标定方法包括：以转台的中心为原点建立与第一表面平行的转台坐标系；在转台带动晶圆旋转时，基于正面相机获取第一表面的边缘的正面检测图像，以及基于侧面相机获取侧面的侧面检...
该专利属于上海御微半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海御微半导体技术有限公司授权不得商用。

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