一种转接探针打击通电模拟方法技术

技术编号:38195347 阅读:16 留言:0更新日期:2023-07-20 21:16
本发明专利技术属于半导体测试技术领域,具体涉及一种转接探针打击通电模拟方法;该方法在上触头和下触头分离,上导电层与转接探针分离的条件下启动电机,首先上导电层与转接探针接触,实现转接探针打击模拟,然后上触头和下触头接触,给转接探针通电,并进行转接探针通电模拟,再然后上触头和下触头分离,完成通电模拟过程,最后上导电层与转接探针分离,实现系统复位;本发明专利技术不仅能够模拟探针测试插座中转接探针的真实工作场景,而且同现有技术相比,节省了一部分零部件,使装置成本进一步降低,体积进一步减小,复杂程度进一步降低,为转接探针有效接触待测芯片与测试机提供测试保障。有效接触待测芯片与测试机提供测试保障。有效接触待测芯片与测试机提供测试保障。

【技术实现步骤摘要】
一种转接探针打击通电模拟方法


[0001]本专利技术属于半导体测试
,具体涉及一种转接探针打击通电模拟方法。

技术介绍

[0002]转接探针是探针测试插座上的关键零部件,如图1所示,一侧要连接待测芯片,另一侧要连接测试机,测试机既要通过转接探针向待测芯片写入测试程序,又要通过转接探针从待测芯片中读取测试结果,转接探针电气连接可靠性在芯片测试过程中至关重要。
[0003]影响转接探针电气连接可靠性的因素有两个,一个是大电流会引起转接探针高温损伤,另一个是与待测芯片反复击打过程中会引起转接探针物理损伤,为了确保转接探针正常工作,应对转接探针进行可靠性测试,包括耐受电流及接触寿命两方面内容。
[0004]目前,已经出现了将转接探针连接在可调电流源进行通电流的测试技术手段,通过改变电流大小,能够测试转接探针能够耐受的最大电流,还能够测试转接探针在某一电流下的使用寿命;然而,与待测芯片反复击打影响转接探针寿命的规律,还没有查阅到相关现有测试技术。
[0005]更重要的是,在实际应用过程中发现,待测芯片反复接触转接探针,会改变转接探针的物理形态,尤其对于莲花瓣形针尖,如图1中的上部,其物理形态改变更为明显,这同样会影响耐受电流等参数,进而共同影响转接探针的使用寿命。
[0006]可见,影响转接探针电气连接可靠性的两个因素并不是相互独立,而是相互作用,要想得到更准确的测试结果,不能单纯测试不同电流下转接探针的使用寿命,或者单纯测试待测芯片反复击打下转接探针的使用寿命,而是要模拟实际情况,击打后通电并物理断开的过程,然而,市面上还没有出现这样的测试设备。

技术实现思路

[0007]本专利技术的目的在于改进现有技术,设计了一种转接探针打击通电模拟装置,不仅能够模拟探针测试插座中转接探针的真实工作场景,为实现不同测试电流和待测芯片反复打击共同作用下转接探针使用寿命测试提供技术基础,而且同现有技术相比,节省了一部分零部件,使装置成本进一步降低,体积进一步减小,复杂程度进一步降低,为转接探针有效接触待测芯片与测试机提供测试保障。
[0008]本专利技术的目的是这样实现的:一种转接探针打击通电模拟方法,包括以下步骤:步骤a、凸轮非圆弧部分接触上活动板,上活动板和下活动板之间的距离由第二螺栓限定,在第二弹簧弹力作用下,上触头和下触头分离,上导电层与转接探针分离;步骤b、启动电机,凸轮转动过程中,圆弧部分越来越接近上活动板,此时,凸轮带动上活动板和下活动板同步向下运动,直到上导电层与转接探针接触,在上导电层与转接探针接触瞬间,实现转接探针打击模拟;步骤c、凸轮继续转动,带动上活动板继续向下运动,由于下活动板已经接触到转
接探针,因此上活动板和下活动板之间的间距逐渐减小,在凸轮圆弧部分接触到上活动板时,上触头和下触头接触,转接探针通电;步骤d、凸轮继续转动,圆弧部分始终接触上活动板,上触头和下触头始终接触,实现转接探针通电模拟;步骤e、凸轮继续转动,凸轮圆弧部分从上活动板上分离,在在第二弹簧弹力作用下,上触头和下触头开始分离,转接探针通电结束,完成通电模拟过程;步骤f、凸轮继续转动,圆弧部分越来越远离上活动板,在第二弹簧弹力作用下,上活动板继续向上运动,直到接触到第二螺栓,实现上活动板和下活动板之间的距离复位;步骤g、凸轮继续转动,在第一弹簧弹力作用下,上活动板和下活动板同步向上运动,实现系统复位。
[0009]上述的一种转接探针打击通电模拟方法,应用于转接探针打击通电模拟装置,所述转接探针打击通电模拟装置包括测试底座,下导电层,电机,凸轮,压板和上导电层。
有益效果
[0010]第一、本专利技术设计了一种转接探针打击通电模拟装置,利用凸轮驱动压板上下运动,使得上导电层打击转接探针,不仅起到模拟待测芯片装入测试插座的过程,而且还能够给测试探针通电,模拟芯片测试过程,与单纯通电测试和打击测试相比,与真实工作场景更加接近,进而能够兼顾到通电和打击共同作用下对转接探针使用寿命的测试,提高测试结果准确性。
[0011]第二、本专利技术设计有压板,所述压板从上到下依次包括固定板,上活动板和下活动板,这种三层压板的设计,使得供电辊在匀速转动情况下,即可实现通电与断电交互,模拟待测芯片放入测试插座写入程序读出测试结果,以及更换待测芯片的间歇过程。
[0012]第三、本专利技术设计有凸轮,且凸轮外边界一部分为圆弧,一部分为非圆弧,圆弧部分可以使得上导电层打击到转接探针后保持不动,模拟待测芯片放置在测试插座中的场景。
[0013]第四、本专利技术仅需要增加下活动板、第二螺栓、第二弹簧、下触头和上触头五个零部件,就可以节省供电辊、供电辊支架、前电刷、后电刷和传动结构,增加的下活动板为平板结构,下触头和上触头为圆柱结构,成本低廉,而节省的供电辊为需要特殊加工制作的非标准件,传动结构同样为成本较高的系列零部件,同时还节省了供电辊支架、前电刷和后电刷,因此装置的成本进一步降低。
[0014]第五、本专利技术由于节省了供电辊,因此不需要对调整凸轮和供电辊相对位置进行调整,因此装置的复杂程度进一步降低。
[0015]第六、本专利技术由于下活动板、第二螺栓、第二弹簧、下触头和上触头五个零部件是在原有压板所在空间上增加的,因此体积增加可以忽略不计,而节约掉的供电辊、供电辊支架、前电刷、后电刷和传动结构,却可以明显减小装置体积,因此体积进一步减小,更有利于装置小型化设计。
[0016]第七、本专利技术只需要电机一个驱动机构,即可同时实现通电测试和打击模拟,结构简单,设计巧妙,且两种测试之间具有与测试插座应用过程中相同的时序关系,模拟场景的真实性能够得到保证。
[0017]第八、本专利技术压板结构利用固定板、上活动板、第一螺栓、第一弹簧、下活动板、第二螺栓、第二弹簧、下触头和上触头相对位置和连接关系的结构设计,实现了利用凸轮匀速转动即可完成打击、通电、断电、复位多个环节的模拟,设计巧妙。
[0018]第九、本专利技术采用可调电流源,可以模拟不同功率待测芯片在测试插座测试过程中,转接探针的工作情况。
附图说明
[0019]图1为转接探针产品示意图。
[0020]图2为本专利技术转接探针打击通电模拟装置的结构示意图。
[0021]图3为具有多个阶梯孔的下导电层和测试底座之间的组合结构示意图。
[0022]图4为测试底座与凸轮之间的装配示意。
[0023]图5为测试底座、压板和凸轮之间的相对位置和装配示意图。
[0024]图6为凸轮圆心角参数调节示意图。
[0025]图7为转接探针打击通电模拟方法流程图。
[0026]图中:1测试底座、1

2电机支架、1

5凸轮支架、1

6压板支架、2下导电层、4电机、6凸轮、6

1转轴、6

2轴承、7压板、7

1固定板、7

2上活动板、7

3第一螺栓、7<本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种转接探针打击通电模拟方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤a、凸轮(6)非圆弧部分接触上活动板(7

2),上活动板(7

2)和下活动板(7

5)之间的距离由第二螺栓(7

6)限定,在第二弹簧(7

7)弹力作用下,上触头(7

9)和下触头(7

8)分离,上导电层(8)与转接探针(9)分离;步骤b、启动电机(4),凸轮(6)转动过程中,圆弧部分越来越接近上活动板(7

2),此时,凸轮(6)带动上活动板(7

2)和下活动板(7

5)同步向下运动,直到上导电层(8)与转接探针(9)接触,在上导电层(8)与转接探针(9)接触瞬间,实现转接探针(9)打击模拟;步骤c、凸轮(6)继续转动,带动上活动板(7

2)继续向下运动,由于下活动板(7

5)已经接触到转接探针(9),因此上活动板(7

2)和下活动板(7

5)之间的间距逐渐减小,在凸轮(6)圆弧部分接触到上活动板(7

2)时,上触头(7

9)和下触头(7

8)接触,转接探针(9)通电;步骤d、凸轮(6...

【专利技术属性】
技术研发人员:金永斌王强贺涛丁宁朱伟章圣达陈伟
申请(专利权)人:法特迪精密科技苏州有限公司
类型:发明
国别省市:

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