本实用新型专利技术公开了一种退火炉尾气回收再利用装置，包括退火炉、回收箱和换热器，所述退火炉包括尾气管，所述退火炉的一侧设置有回收箱，且尾气管与回收箱连通，所述回收箱的顶部设置有水箱，所述回收箱内位于水箱的底部通过阻尼转轴安装有导流板，所述水箱内的两侧均通过轴承安装丝杆，且丝杆贯穿导流板，所述丝杆的外围设置有对应的丝块，所述丝块的底部通过螺栓连接有用于调节尾气流向的推板。本实用新型专利技术一种退火炉尾气回收再利用装置，结构简单易操作，使用更加灵活稳定，实用价值较高，适合被广泛推广和使用。广泛推广和使用。广泛推广和使用。
【技术实现步骤摘要】
一种退火炉尾气回收再利用装置
[0001]本技术涉及退火炉
，特别涉及一种退火炉尾气回收再利用装置。
技术介绍
[0002]退火炉是一种新型换热设备，专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，是节能型周期式作业炉，从退火炉排出的高温烟气往往带走炉子供热量的20～50％，由于能源紧张，为了进一步提高窑炉的热效率，达到节能降耗的目的，回收烟气余热也是一项重要的节能途径。
[0003]目前，现有的尾气回收再利用装置在使用时存在以下缺点：缺少尾气流动距离调节装置，通常尾气热量回收再利用装置，在尾气流通的过程中，对其中的热量进行回收，但是使用方式固定，难以根据实际的退火炉尾气流量及流速进行调节使用，使用的灵活性较差。为此，我们提出了一种退火炉尾气回收再利用装置。
技术实现思路
[0004]本技术的主要目的在于提供一种退火炉尾气回收再利用装置，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0006]一种退火炉尾气回收再利用装置，包括退火炉、回收箱和换热器，所述退火炉包括尾气管，所述退火炉的一侧设置有回收箱，且尾气管与回收箱连通，所述回收箱的顶部设置有水箱，所述回收箱内位于水箱的底部通过阻尼转轴安装有导流板，所述水箱内的两侧均通过轴承安装丝杆，且丝杆贯穿导流板，所述丝杆的外围设置有对应的丝块，所述丝块的底部通过螺栓连接有用于调节尾气流向的推板。
[0007]进一步地，所述回收箱的一侧设置有换热器，且回收箱的出气端通过管道连通换热器的进气端，所述换热器的顶部设置有出水管，且出水管与水箱连通，所述换热器的一侧设置有进水管。
[0008]进一步地，所述回收箱的一侧设置有伺服电机，所述伺服电机通过驱动轴连接丝杆，回收箱通过螺栓连接伺服电机。
[0009]进一步地，所述换热器的背部设置有喷淋塔，且换热器的出气端通过管道连通喷淋塔。
[0010]进一步地，所述回收箱内的顶部设置有过滤槽。
[0011]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0012]1.通过设置的回收箱、水箱和导流板，能够在对退火炉尾气回收的同时，利用尾气中的余热对水加热进行再利用处理，通过丝杆、丝块和推板，还能根据实际尾气流量及流速，调节其移动的范围，进而通过调节移动距离的方式，提高尾气热量回收的利用率。
[0013]2.通过设置的换热器、进水管和出水管，还能进一步将尾气中的热量二次回收处理，结构简单紧凑，成本低廉易操作，进一步提高了尾气回收再利用的效果。
附图说明
[0014]图1为本技术一种退火炉尾气回收再利用装置的整体结构示意图。
[0015]图2为本技术一种退火炉尾气回收再利用装置的回收箱剖面结构示意图。
[0016]图中：1、退火炉；2、回收箱；3、尾气管；4、水箱；5、导流板；6、丝杆；7、丝块；8、推板；9、伺服电机；10、换热器；11、出水管；12、进水管；13、喷淋塔；14、过滤槽。
具体实施方式
[0017]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0018]如图1和2所示，一种退火炉尾气回收再利用装置，包括退火炉1、回收箱2和换热器10，所述退火炉1包括尾气管3，所述退火炉1的一侧设置有回收箱2，且尾气管3与回收箱2连通，所述回收箱2的顶部设置有水箱4，所述回收箱2内位于水箱4的底部通过阻尼转轴安装有导流板5，所述水箱4内的两侧均通过轴承安装丝杆6，且丝杆6贯穿导流板5，所述丝杆6的外围设置有对应的丝块7，所述丝块7的底部通过螺栓连接有用于调节尾气流向的推板8。
[0019]回收箱2内的表面铺设有保温板。
[0020]其中，所述回收箱2的一侧设置有换热器10，且回收箱2的出气端通过管道连通换热器10的进气端，所述换热器10的顶部设置有出水管11，且出水管11与水箱4连通，所述换热器10的一侧设置有进水管12。
[0021]本实施例中如图1所示，通过换热器10能够进行二次热量回收处理，进一步提高尾气中热量的利用率。
[0022]其中，所述回收箱2的一侧设置有伺服电机9，所述伺服电机9通过驱动轴连接丝杆6。
[0023]本实施例中如图2所示，通过伺服电机9便于驱动丝杆6转动，丝杆6丝块7为滚珠丝杠，其厂家为：力士乐，型号为：R150244085。
[0024]其中，所述换热器10的背部设置有喷淋塔13，且换热器10的出气端通过管道连通喷淋塔13。
[0025]本实施例中如图1所示，通过喷淋塔13能够对尾气进行喷淋过滤清洁后再对外排放。
[0026]其中，所述回收箱2内的顶部设置有过滤槽14。
[0027]本实施例中如图1所示，过滤槽14内设置有筛板。
[0028]需要说明的是，本技术为一种退火炉尾气回收再利用装置，工作时，首先退火炉1内的尾气通过尾气管3进入回收箱2内的过滤槽14内，经过筛板进行初步过滤处理，再经过导流板5的导向后反复与水箱4底部相接触，利用其中的热量对水进行加热处理，同时可根据实际使用需要，人工开启伺服电机9驱动丝杆6转动，丝块7带动推板8对导流板5进行挤压，使其产生倾斜，进而能够调节尾气在回收箱2内的移动距离，充分提高热量回收的利用率，接着尾气通过管道进入换热器10内，人工开启外部水泵通过进水管12将水源经过换热器10输送至水箱4内，进行二次尾气热量回收处理，大大提高了尾气热量的利用率，最后通过尾气通过出气端进入喷淋塔13内，经过喷淋过滤清洁后再排放，整体结构简单易操作，回收利用效果好。
[0029]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种退火炉尾气回收再利用装置，包括退火炉(1)、回收箱(2)和换热器(10)，其特征在于：所述退火炉(1)包括尾气管(3)，所述退火炉(1)的一侧设置有回收箱(2)，且尾气管(3)与回收箱(2)连通，所述回收箱(2)的顶部设置有水箱(4)，所述回收箱(2)内位于水箱(4)的底部通过阻尼转轴安装有导流板(5)，所述水箱(4)内的两侧均通过轴承安装丝杆(6)，且丝杆(6)贯穿导流板(5)，所述丝杆(6)的外围设置有对应的丝块(7)，所述丝块(7)的底部通过螺栓连接有用于调节尾气流向的推板(8)。2.根据权利要求1所述的一种退火炉尾气回收再利用装置，其特征在于：所述回收箱(2)的一侧设置有换热器(10)，且回收箱...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘华，刘春，曾超群，
申请(专利权)人：苏州辰诺气体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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