氯硅烷组分在线检测前处理系统技术方案

一种氯硅烷组分在线检测前处理系统，包括氯硅烷储罐，氯硅烷储罐通过管道依次与第一阀门、过滤器、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门和气相色谱仪连接；第一阀门和过滤器之间的管道与第八阀门连接，第八阀门通过管道与第一回收罐连接；第四阀门和第五阀门之间的管道与第六阀门连接，第六阀门通过管道与第二回收罐连接；第二阀门和第三阀门之间的管道与吹扫管连接，吹扫管上设有第七阀门。本实用新型专利技术为了完全避开了实验室检验过程中采样、转移样品、进样等环节样品组分挥发，与空气中氧、水反应等不良影响，本系统设计为全封闭系统，保证了结果的准确度。了结果的准确度。了结果的准确度。

【技术实现步骤摘要】
氯硅烷组分在线检测前处理系统


[0001]本技术属于多晶硅生产
，特别涉及一种氯硅烷组分在线检测前处理系统。

技术介绍

[0002]在氯硅烷（二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅）生产中，以及以氯硅烷为原料或有氯硅烷副产物的生产中，因氯硅烷沸点低易挥发、化学性质活泼易与空气中氧和水反应，在用实验室色谱仪检测组分（氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅、低沸物、高沸物等）时结果误差很大，误差主要来源于取样和进样过程中。对于二氯二氢硅含量太高（如≥20%）的样品，常规取样及转移样品时会起火燃烧，很难完成取样。现在氯硅烷取样一般采用取样柜和不锈钢取样瓶取样，花费时间长，取样难度大，这导致每天取样次数有限，不能得到足够多的检测结果。同时，取样过程中容易出物料泄漏致现场烟雾弥漫甚至起火、物料飞溅伤人等安全事故，会对生产产生恶劣的影响。因此，本技术方案要解决的技术问题为：如何省去人工转移取样瓶的工序，将人工取样改为在线取样。

技术实现思路

[0003]鉴于
技术介绍
所存在的技术问题，本技术所提供的氯硅烷组分在线检测前处理系统，为了完全避开了实验室检验过程中采样、转移样品、进样等环节样品组分挥发，与空气中氧、水反应等不良影响，本系统设计为全封闭系统，保证了结果的准确度。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采取了如下技术方案来实现：
[0005]一种氯硅烷组分在线检测前处理系统，包括氯硅烷储罐，氯硅烷储罐通过管道依次与第一阀门、过滤器、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门和气相色谱仪连接；第一阀门和过滤器之间的管道与第八阀门连接，第八阀门通过管道与第一回收罐连接；第四阀门和第五阀门之间的管道与第六阀门连接，第六阀门通过管道与第二回收罐连接；第二阀门和第三阀门之间的管道与吹扫管连接，吹扫管上设有第七阀门。
[0006]优选地，第四阀门为电加热减压阀。
[0007]优选地，第五阀门的输出端设有流量计，第六阀门的输出端设有流量计。
[0008]优选地，氯硅烷储罐至气相色谱仪之间的管道上均设有电伴热管。
[0009]本专利可达到以下有益效果：
[0010]1、为了完全避开了实验室检验过程中采样、转移样品、进样等环节样品组分挥发，与空气中氧、水反应等不良影响，本系统设计为全封闭系统，保证了结果的准确度。
[0011]2、为了让样品汽化完全，本系统样品传输管道在过滤器之后管道外表面安装伴热管线，给样品加热。再通过加热减压阀将液体样品汽化，并减压到合适压力，随后加热保温。
附图说明
[0012]下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明：
[0013]图1为本技术工艺图。
[0014]图中：第一阀门1、第二阀门2、第三阀门3、第四阀门4、第五阀门5、第六阀门6、第七阀门7、第八阀门8、过滤器9、气相色谱仪10、第一回收罐11、第二回收罐12、流量计13、氯硅烷储罐14；PG表示就地压力表。
具体实施方式
[0015]实施例1：
[0016]优选的方案如图1所示，一种氯硅烷组分在线检测前处理系统，包括氯硅烷储罐14，氯硅烷储罐14通过管道依次与第一阀门1、过滤器9、第二阀门2、第三阀门3、第四阀门4、第五阀门5和气相色谱仪10连接；第一阀门1和过滤器9之间的管道与第八阀门8连接，第八阀门8通过管道与第一回收罐11连接；第四阀门4和第五阀门5之间的管道与第六阀门6连接，第六阀门6通过管道与第二回收罐12连接；第二阀门2和第三阀门3之间的管道与吹扫管连接，吹扫管上设有第七阀门7。第五阀门5的输出端设有流量计13，第六阀门6的输出端设有流量计13。氯硅烷储罐14至气相色谱仪10之间的管道上均设有电伴热管。电加热汽化样品并减压，调节流量后完成气体进样。
[0017]在线采样的操作流程：第一阀门1、第八阀门8开、第二阀门2关闭，氯硅烷从氯硅烷储罐14经第一阀门1、第八阀门8到第一回收罐，完成对管道前段的置换，随后第八阀门8关闭。接着第一阀门1、第二阀门2、第三阀门3、第四阀门4电加热减压阀、第五阀门5、第六阀门6开，第七阀门7关闭，氯硅烷从氯硅烷储罐14经第一阀门1、过滤器（滤筒可拆卸，滤网0.4微米）后由管道引出，管道上附着伴热管给氯硅烷样品加热，经第二阀门2、第三阀门3后，在第四阀门4加热汽化变为气体后减压，调节压力后分两路，两路均加热保温。一路经第六阀门6、流量计调节流量后到第二回收罐，一路经第五阀门5、流量计调节流量后到气相色谱仪。当气相色谱仪检测完毕后，关闭第五阀门5、第六阀门6并开始检测。
[0018]管道吹扫流程：将第七阀门7、第三阀门3、第四阀门4、第五阀门5和第六阀门6打开，将第二阀门2关闭，吹扫氮气经第七阀门7、第三阀门3、第四阀门4、第六阀门6到第二回收罐，经第七阀门7、第三阀门3、第四阀门4、第五阀门5到气相色谱仪。
[0019]具体地，本实施例的技术要求为：
[0020]1、本系统引入PLC控制系统，对所有阀门（电磁阀）进行自动控制，以按程序完成采样、进样、检测。减轻样品强腐蚀性对管道、阀门的影响及管道、阀门对物料的污染，为了延长材料的使用寿命，本检测系统管道、阀门材质为316L，外表做防腐处理。气相色谱仪的六通阀（气体进样阀）材质采用哈氏合金。
[0021]2、因在线仪器安装地点有易燃易爆危险性及强腐蚀性，本前处理系统配备正压防爆柜，内充空气，防爆等级为ExdⅡCT6 Gb，防护等级：IP65，材质316且做防腐处理。伴热、加热汽化、PLC系统、照明、配电柜等均放置在防爆柜内。
[0022]3、氯硅烷生产现场易燃易爆强腐蚀，为了保证检测仪器及生产现场的安全，本系统采用了符合防爆防护要求的防爆柜且做防腐处理。为保持仪器处于合适的环境温度，防爆柜需安装防爆冷暖空调。出于安全考虑及防腐要求，防爆冷暖空调防爆等级为ExdⅡCT4 Gb，防护等级：IP65，材质316且做防腐处理或镀锌喷塑外壳。
[0023]4、本检测系统工作条件为：出罐氯硅烷压力1.0
‑
1.3MPa，温度10
‑
40℃；管道伴热
温度50℃左右，经过加热减压阀后温度80℃左右，压力调节到100KPa左右；流速2L/min左右(压力和流速可适当调整）。
[0024]上述的实施例仅为本技术的优选技术方案，而不应视为对于本技术的限制，本技术的保护范围应以权利要求记载的技术方案，包括权利要求记载的技术方案中技术特征的等同替换方案为保护范围。即在此范围内的等同替换改进，也在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氯硅烷组分在线检测前处理系统，包括氯硅烷储罐（14），其特征在于：氯硅烷储罐（14）通过管道依次与第一阀门（1）、过滤器（9）、第二阀门（2）、第三阀门（3）、第四阀门（4）、第五阀门（5）和气相色谱仪（10）连接；第一阀门（1）和过滤器（9）之间的管道与第八阀门（8）连接，第八阀门（8）通过管道与第一回收罐（11）连接；第四阀门（4）和第五阀门（5）之间的管道与第六阀门（6）连接，第六阀门（6）通过管道与第二回收罐（12）连接；第二阀门（2）和...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡云鹏，刘文明，陈卫国，黄芳绕，万洋，沈飞，
申请(专利权)人：宜昌南玻硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：