本发明专利技术公开了一种大管径石英管清洗装置，包括石英管与箱体，所述箱体的一侧设置有用于清洗石英管的清洗机构，清洗机构延伸至箱体内，所述箱体设置有用于旋转石英管的导向机构，石英管的下方设置有超声波振子，所述导向机构包括滚轮、包胶轴、框架、链条、电机、齿轮，所述滚轮与包胶轴连接，分别对应在框架的两端，所述防腐电机设置在框架上，并通过链条与包胶轴上的齿轮连接，箱体上设置有加热器。有益效果：它具有使用方便，节省水资源的优点，还可以对大口径石英管半导体级洗净，不存在清洗死角，在保证石英管的良好性能的前提下提高清洗质量。洗质量。洗质量。
【技术实现步骤摘要】
一种大管径石英管清洗工艺及其装置
[0001]本专利技术涉及半导体加工
，具体来说，涉及一种大管径石英管清洗工艺及其装置。
技术介绍
[0002]现有石英管清洗技术中，由于石英管是由二氧化硅制成的，具有稳定的化学和物理性能，清洗中较多的采用氢氟酸，一般做法是将石英管放在盛有氢氟酸的卧式酸洗槽内泡洗，泡洗完后用大量的水冲洗，再进行烘干，这样做虽然简单、快捷，但存在以下几个方面的问题：第一，若酸的浓度掌握不好，则会影响清洗效果，导致石英管表面杂质清洗不干净，或是影响石英管的性能；第二，酸泡后用大量水冲洗，会对水资源造成严重浪费，第三，难以实现直径1米以上的石英管，进行清洗，导致清洗不彻底，影响清洗质量。
技术实现思路
[0003]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种大管径石英管清洗工艺及其装置，具备设计合理，使用方便，节省水资源的优点，进而解决了无法对管径较大的石英管进行清洗，以及清洗不彻底，影响清洗质量的问题。
[0004]为实现上述设计合理，使用方便，节省水资源的优点，本专利技术采用的具体技术方案如下：一种大管径石英管清洗工艺及其装置，包括石英管与箱体，所述箱体的一侧设置有用于清洗石英管的清洗机构，清洗机构延伸至箱体内，所述箱体设置有用于旋转石英管的导向机构，石英管的下方设置有超声波振子，所述导向机构包括滚轮、包胶轴、框架、链条、电机、齿轮，所述滚轮与包胶轴连接，分别对应在框架的两端，所述防腐电机设置在框架上，并通过链条与包胶轴上的齿轮连接，箱体上设置有加热器。
[0005]进一步的，所述清洗机构包括喷淋气缸、喷头、风吹气缸、喷嘴、移动架、连接管，所述喷淋气缸与风吹气缸设置有安装支架，并通过安装支架安装在移动架上，两组所述连接管的一端与喷淋气缸与风吹气缸连接，另一端上设置有清洗石英管的喷头与喷嘴。
[0006]进一步的，所述连接管为Y形管体，数组喷头与喷嘴分别相对设置在连接管的内侧，并与石英管的管体位置相对应。
[0007]进一步的，所述移动架的底部设置有滑销，并设置有与滑销相配合有滑槽。
[0008]进一步的，所述电机根据工艺需要为防腐电机。
[0009]进一步的，所述框架、链条与滚轮为非金属材质，优选铁氟龙或者尼龙材质。
[0010]进一步的，所述箱体整个装置为PVC或尼龙材质制作，骨架为不锈钢，外包PVC。
[0011]一种大管径石英管清洗工艺，操作流程如下：第一步、操作人员将石英管放入装置中，放置在装置滚轮上电机通过链条带动滚轮缓慢旋转；第二步、在箱体内加入纯水，淹过石英管三分之一，开启超声波，石英管5保持5分
钟一圈的速度，旋转6
‑
8圈后，排出纯水；第三步、加入酸液，SC
‑Ⅱ
酸洗溶液是由盐酸：双氧水：纯水配比组成，盐酸：双氧水：纯水为1:1:3~6。加热器1工作，酸洗温度控制在40℃，石英管5控制在5分钟一圈的速度，旋转3
‑
4圈后排出；第四步、喷淋气缸将喷头伸出，喷头倾斜，碰出方向与石英管旋转方向相反，冲出高压纯水，石英管保持2分钟一圈的速度，旋转2圈，将酸液冲洗掉；第五步、在箱体内加入纯水，开启超声波，石英管保持2分钟一圈的速度，旋转2圈；第六步、风吹气缸将喷嘴伸出，伸出让石英管保持2分钟一圈的速度，旋转2圈；最后、操作人员包上无尘薄膜，保持2分钟一圈的速度，旋转1.1圈，将石英管包装好。
[0012]与现有技术相比，本专利技术提供了一种大管径石英管清洗工艺及其装置，具备以下有益效果：它具有使用方便，节省水资源的优点，还可以对大口径石英管半导体级洗净，不存在清洗死角，在保证石英管的良好性能的前提下提高清洗质量。通过将两组连接管接通纯水与通气，喷淋气缸将喷头伸出，喷头倾斜，碰出方向与石英管旋转方向相反，冲出高压纯水，风吹气缸将喷嘴伸出，对石英管的表面进行吹气，从而使在清洗时不存在清洗死角，通过放置在装置滚轮上电机通过链条带动滚轮缓慢旋转；从而石英管旋转在滚轮上，底部超声波振子对石英管进行振动，适应不同尺寸的石英管进行清洗。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1是本专利技术的结构示意图之一；图2是本专利技术的结构示意图之二；图3是本专利技术的结构示意图之三；图4是本专利技术的整体结构示意图；图5是本专利技术中清洗机构2的结构示意图；图6是本专利技术中导向机构3的结构示意图。
[0015]图中：加热器1、清洗机构2、导向机构3、超声波振子4、石英管5、箱体6、滚轮31、包胶轴32、框架33、链条34、电机35、齿轮36、喷淋气缸21、喷头22、风吹气缸23、喷嘴24、移动架25、连接管26。
实施方式
[0016]为进一步说明各实施例，本专利技术提供有附图，这些附图为本专利技术揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理，配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本专利技术的优点，图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。
[0017]根据本专利技术的实施例，提供了一种大管径石英管清洗工艺及其装置。
[0018]现结合附图和具体实施方式对本专利技术进一步说明，如图1
‑
6所示，根据本专利技术实施例的一种大管径石英管清洗工艺及其装置，包括石英管5与箱体6，所述箱体6的一侧设置有用于清洗石英管5的清洗机构2，清洗机构2延伸至箱体6内，所述箱体6设置有用于旋转石英管5的导向机构3，石英管5的下方设置有超声波振子4，所述导向机构3包括滚轮31、包胶轴32、框架33、链条34、电机35、齿轮36，所述滚轮31与包胶轴32连接，分别对应在框架33的两端，所述防腐电机35设置在框架33上，并通过链条34与包胶轴32上的齿轮36连接，箱体6上设置有加热器1。放置在装置滚轮31上电机35通过链条34带动滚轮31缓慢旋转；从而石英管5旋转在滚轮31上，底部超声波振子4对石英管5进行振动，并配合清洗机构2对石英管5进行清洗。
[0019]在一个实施例中，清洗机构2包括喷淋气缸21、喷头22、风吹气缸23、喷嘴24、移动架25、连接管26，所述喷淋气缸21与风吹气缸23设置有安装支架，并通过安装支架安装在移动架25上，两组所述连接管26的一端与喷淋气缸21与风吹气缸23连接，另一端上设置有清洗石英管5的喷头22与喷嘴24。通过将两组连接管26接通纯水与通气，喷淋气缸21将喷头22伸出，喷头22倾斜，碰出方向与石英管5旋转方向相反，冲出高压纯水，风吹气缸23将喷嘴24伸出，对石英管5的表面进行吹气。
[0020]在一个实施例中，所述连接管26为Y形管体，数组喷头22与喷嘴24分别相对设置在连接管26的内侧，并与石英管5的管体位置相对应。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种大管径石英管清洗装置，其特征在于：包括石英管(5)与箱体(6)，所述箱体(6)的一侧设置有用于清洗石英管(5)的清洗机构(2)，清洗机构(2)延伸至箱体(6)内，所述箱体(6)设置有用于旋转石英管(5)的导向机构(3)，石英管(5)的下方设置有超声波振子(4)，所述导向机构(3)包括滚轮(31)、包胶轴(32)、框架(33)、链条(34)、电机(35)、齿轮(36)，所述滚轮(31)与包胶轴(32)连接，分别对应在框架(33)的两端，所述防腐电机(35)设置在框架(33)上，并通过链条(34)与包胶轴(32)上的齿轮(36)连接，箱体(6)上设置有加热器(1)。2.根据权利要求1所述一种大管径石英管清洗装置，其特征在于：所述清洗机构(2)包括喷淋气缸(21)、喷头(22)、风吹气缸(23)、喷嘴(24)、移动架(25)、连接管(26)，所述喷淋气缸(21)与风吹气缸(23)设置有安装支架，并通过安装支架安装在移动架(25)上，两组所述连接管(26)的一端与喷淋气缸(21)与风吹气缸(23)连接，另一端上设置有清洗石英管(5)的喷头(22)与喷嘴(24)。3.根据权利要求2所述一种大管径石英管清洗装置，其特征在于：所述连接管(26)为Y形管体，数组喷头(22)与喷嘴(24)分别相对设置在连接管(26)的内侧，并与石英管(5)的管体位置相对应。4.根据权利要求1所述一种大管径石英管清洗装置，其特征在于：所述移动架(25)的底部设置有滑销，并设置有与滑销相配合有滑槽。5.根据权利要求1所述一种大管径石英管清洗装置，其特征在于：所述电机(35)根据工艺需...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈海源，张月清，杨军，
申请(专利权)人：江苏富乐德石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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